[發(fā)明專利]MEMS致動系統(tǒng)和方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201780068620.0 | 申請日： | 2017-09-08 |
| 公開（公告）號： | CN110291434B | 公開（公告）日： | 2021-11-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | M·伍;劉曉蕾;王桂芹 | 申請（專利權(quán)）人： | 麥斯卓有限公司 |
| 主分類號： | G02B27/64 | 分類號： | G02B27/64;B81B7/02;B81B7/00;B81C1/00;H02N2/02;H01L41/09;H04N5/225 |
| 代理公司： | 北京高文律師事務(wù)所 11359 | 代理人： | 王冬;趙銳 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | mems 系統(tǒng) 方法 | ||
微機電系統(tǒng)(MEMS)器件包括一個或多個可滑動連接組件，用于可釋放地將微機電系統(tǒng)(MEMS)器件連接到制造微機電系統(tǒng)(MEMS)器件的晶片。
相關(guān)案件
本申請要求以下美國臨時申請的權(quán)益：2016年9月12日提交的第62/393,436號、2016年9月12日提交的第62/393,419號、2016年11月8日提交的第62/419,117號、2016年11月9日提交的第62/419,814號以及2016年11月11日提交的第62/420,960號；它們的內(nèi)容通過引用并入本申請。
技術(shù)領(lǐng)域
本公開通常涉及致動器，更具體地，涉及配置用于相機封裝內(nèi)的小型化MEMS致動器。
背景技術(shù)
如本領(lǐng)域所公知的，致動器可用于將電子信號轉(zhuǎn)換成機械運動。在諸如便攜式設(shè)備、成像相關(guān)設(shè)備、電信組件和醫(yī)療儀器的許多應(yīng)用中，對于微型致動器來說適配在小尺寸、低功率和成本有限的這些應(yīng)用內(nèi)可能是有益的。
微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)在其最一般的形式中可以定義為使用微加工技術(shù)制造的小型化機械和機電元件的技術(shù)。MEMS器件的關(guān)鍵尺寸可以從遠(yuǎn)低于1微米到幾毫米變化。通常，MEMS致動器比傳統(tǒng)致動器更緊湊，并且它們消耗更少的功率。
發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明#7
在一個實施方式中，微機電系統(tǒng)(MEMS)器件包括一個或多個可滑動連接組件，用于可釋放地將微機電系統(tǒng)(MEMS)器件連接到制造微機電系統(tǒng)(MEMS)器件的晶片。
以下特征可以包括其中一個或多個。所述一個或多個可滑動連接組件可包括晶片的一部分。晶片的所述部分可包括晶片上的支撐柱。微機電系統(tǒng)(MEMS)器件可包括MEMS致動芯和MEMS電連接器組件，所述MEMS電連接器組件電連接至MEMS致動芯且配置為電連接至印刷電路板。所述一個或多個可滑動連接組件可包括MEMS致動芯的一部分。所述一個或多個可滑動連接組件可包括MEMS電連接器的一部分。所述一個或多個可滑動連接組件可包括微機電系統(tǒng)(MEMS)器件上的一個或多個指狀物組件。所述一個或多個可滑動連接組件可包括晶片上的一個或多個插口組件，配置為接收所述一個或多個指狀物組件。晶片上的所述一個或多個插口組件可以包括一跨接結(jié)構(gòu)，配置為跨接晶片的至少兩個指狀物，從而在其間形成所述一個或多個插口組件。所述一個或多個可滑動連接組件可包括晶片上的一個或多個指狀物組件。所述一個或多個可滑動連接組件可包括微機電系統(tǒng)(MEMS)器件上的一個或多個插口組件，配置為接收所述一個或多個指狀物組件。微機電系統(tǒng)(MEMS)器件上的所述一個或多個插口組件可以包括一跨接結(jié)構(gòu)，配置為跨接微機電系統(tǒng)(MEMS)器件的至少兩個指狀物，從而在其間形成所述一個或多個插口組件。
在另一實施方式中，微機電系統(tǒng)(MEMS)器件包括MEMS致動芯，電連接至MEMS致動芯且配置為電連接至印刷電路板的MEMS電連接器組件，以及一個或多個可滑動連接組件，用于將微機電系統(tǒng)(MEMS)器件可釋放地連接到制造微機電系統(tǒng)(MEMS)器件的晶片。
以下特征可以包括其中一個或多個。所述一個或多個可滑動連接組件可包括晶片的一部分。晶片的所述部分可包括晶片上的支撐柱。所述一個或多個可滑動連接組件可包括MEMS致動芯的一部分。所述一個或多個可滑動連接組件可包括MEMS電連接器的一部分。
在另一實施方式中，微機電系統(tǒng)(MEMS)器件包括MEMS致動芯，電連接至MEMS致動芯且配置為電連接至印刷電路板的MEMS電連接器組件，以及一個或多個可滑動連接組件，用于將微機電系統(tǒng)(MEMS)器件可釋放地連接到制造微機電系統(tǒng)(MEMS)器件的晶片。
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