[發(fā)明專利]MEMS致動系統(tǒng)和方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201780068620.0
• 申請日: 2017-09-08
• 公開（公告）號: CN110291434B
• 公開（公告）日: 2021-11-05
• 發(fā)明（設計）人: M·伍;劉曉蕾;王桂芹
• 申請（專利權）人: 麥斯卓有限公司
• 主分類號: G02B27/64
• 分類號: G02B27/64;B81B7/02;B81B7/00;B81C1/00;H02N2/02;H01L41/09;H04N5/225
• 代理公司: 北京高文律師事務所 11359
• 代理人: 王冬;趙銳

1.一種微機電系統(tǒng)(MEMS)器件，包括：

一個或多個可滑動連接組件，用于可釋放地將微機電系統(tǒng)(MEMS)器件連接到制造所述微機電系統(tǒng)(MEMS)器件的晶片；

其中，所述一個或多個可滑動連接組件包括：

所述微機電系統(tǒng)(MEMS)器件上的一個或多個指狀物組件；以及

所述晶片上的一個或多個插口組件，配置為接收所述一個或多個指狀物組件。

2.根據(jù)權利要求1所述的微機電系統(tǒng)(MEMS)器件，其中，所述一個或多個可滑動連接組件包括所述晶片的一部分。

3.根據(jù)權利要求2所述的微機電系統(tǒng)(MEMS)器件，其中，晶片的所述部分包括在所述晶片上的支撐柱。

4.根據(jù)權利要求1所述的微機電系統(tǒng)(MEMS)器件，其中，所述微機電系統(tǒng)(MEMS)器件包括：

MEMS致動芯；和

MEMS電連接器組件，其電連接至MEMS致動芯且配置為電連接至一印刷電路板。

5.根據(jù)權利要求4所述的微機電系統(tǒng)(MEMS)器件，其中，所述一個或多個可滑動連接組件包括所述MEMS致動芯的一部分。

6.根據(jù)權利要求4所述的微機電系統(tǒng)(MEMS)器件，其中，所述一個或多個可滑動連接組件包括所述MEMS電連接器組件的一部分。

7.根據(jù)權利要求1所述的微機電系統(tǒng)(MEMS)器件，其中，所述晶片上的所述一個或多個插口組件包括：

一跨接結構，配置為跨接晶片的至少兩個指狀物，從而在其間形成所述一個或多個插口組件。

8.根據(jù)權利要求1所述的微機電系統(tǒng)(MEMS)器件，其中，所述一個或多個可滑動連接組件包括：

晶片上的一個或多個指狀物組件。

9.根據(jù)權利要求8所述的微機電系統(tǒng)(MEMS)器件，其中，所述一個或多個可滑動連接組件包括：

微機電系統(tǒng)(MEMS)器件上的一個或多個插口組件，配置為接收所述一個或多個指狀物組件。

10.根據(jù)權利要求9所述的微機電系統(tǒng)(MEMS)器件，其中，所述微機電系統(tǒng)(MEMS)器件上的所述一個或多個插口組件包括：

一跨接結構，配置為跨接所述微機電系統(tǒng)(MEMS)器件的至少兩個指狀物，從而在其間形成所述一個或多個插口組件。

11.一種微機電系統(tǒng)(MEMS)器件，包括：

MEMS致動芯；

MEMS電連接器組件，其電連接至所述MEMS致動芯且配置為電連接至一印刷電路板；以及

一個或多個可滑動連接組件，用于可釋放地將微機電系統(tǒng)(MEMS)器件連接到制造所述微機電系統(tǒng)(MEMS)器件的晶片；

其中，所述一個或多個可滑動連接組件包括：

所述微機電系統(tǒng)(MEMS)器件上的一個或多個指狀物組件；以及

所述晶片上的一個或多個插口組件，配置為接收所述一個或多個指狀物組件。

12.根據(jù)權利要求11所述的微機電系統(tǒng)(MEMS)器件，其中，所述一個或多個可滑動連接組件包括所述晶片的一部分。

13.根據(jù)權利要求12所述的微機電系統(tǒng)(MEMS)器件，其中，晶片的所述部分包括在所述晶片上的支撐柱。

14.根據(jù)權利要求11所述的微機電系統(tǒng)(MEMS)器件，其中，所述一個或多個可滑動連接組件包括所述MEMS致動芯的一部分。

15.根據(jù)權利要求11所述的微機電系統(tǒng)(MEMS)器件，其中，所述一個或多個可滑動連接組件包括所述MEMS電連接器組件的一部分。