[發(fā)明專(zhuān)利]控制用于半導(dǎo)體基板的傳送和大氣存儲(chǔ)的運(yùn)送盒的密封性的裝置和方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201780068496.8
• 申請(qǐng)日: 2017-11-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109937473A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: B·貝萊;J·布努阿爾;N·沙佩爾
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 普發(fā)真空公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/673
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/673;G01M3/00
• 代理公司: 北京市中咨律師事務(wù)所 11247
• 代理人: 雷明;吳鵬

1.用于控制至少一個(gè)用于半導(dǎo)體基板(3)的傳送和大氣存儲(chǔ)的運(yùn)送盒(2)的密封性的裝置(1)，所述運(yùn)送盒(2)包括至少兩個(gè)通氣端口(8、9)，其特征在于，所述控制裝置(1)包括至少一個(gè)接口(20)，該至少一個(gè)接口構(gòu)造成聯(lián)接到所述運(yùn)送盒(2)，該接口(20)包括：

-至少兩個(gè)連接頭(23、24)，其中至少一個(gè)連接頭由測(cè)量頭(23)構(gòu)成，該測(cè)量頭構(gòu)造成接合在所述運(yùn)送盒(2)的通氣端口(8)中，該測(cè)量頭(23)包括：

-突出的端部件(29)，該端部件通過(guò)至少一個(gè)孔(30)打開(kāi)，和

-圍繞該端部件(29)的周向密封元件(31)，

-該運(yùn)送盒(2)的所有通氣端口(8、9)聯(lián)接到所述接口(20)的連接頭(23、24)。

2.根據(jù)前一權(quán)利要求所述的控制裝置(1)，其特征在于，至少一個(gè)連接頭由阻塞頭(24)構(gòu)成，所述阻塞頭包括盲密封元件(32)，該盲密封元件構(gòu)造成關(guān)閉所述運(yùn)送盒(2)的通氣端口(9)，該運(yùn)送盒(2)的所有通氣端口(8、9)由測(cè)量頭(23)接合或由阻塞頭(24)關(guān)閉。

3.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的控制裝置(1)，其特征在于，所述測(cè)量頭(23)構(gòu)造成接合在所述運(yùn)送盒(2)的通氣端口(8)中，并且如果所述通氣端口(8)裝備有入口止回閥(11)，則推回所述入口止回閥(11)。

4.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的控制裝置(1)，其特征在于，所述至少一個(gè)周向密封元件(31)是彈性的，并且當(dāng)所述運(yùn)送盒(2)聯(lián)接到所述接口(20)時(shí)至少部分地被壓縮或變形。

5.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的控制裝置(1)，其特征在于，所述接口(20)包括構(gòu)造用于固定所述運(yùn)送盒(2)的至少一個(gè)固定裝置(22、26)。

6.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的控制裝置(1)，其特征在于，所述測(cè)量頭(23、24)可移動(dòng)，所述接口(20)還包括至少一個(gè)頭致動(dòng)器(33)，該頭致動(dòng)器構(gòu)造成使所述連接頭(23、24)在縮回位置和用于控制密封性的突出位置之間移動(dòng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的控制裝置(1)，其特征在于，所述連接頭(23、24)是固定的并且從所述接口(20)突出。

8.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的控制裝置(1)，其特征在于，所述周向密封元件(31)包括吸盤(pán)。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的控制裝置(1)，其特征在于，所述接口(20)包括兩個(gè)測(cè)量頭(23)和兩個(gè)堵塞頭(24)。

10.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的控制裝置(1)，其特征在于，它包括與測(cè)量頭(23)的端部件(29)相連的至少一個(gè)測(cè)量線(xiàn)(40)，該測(cè)量線(xiàn)(40)包括流量控制裝置(41)和/或壓力傳感器(42)。

11.根據(jù)前一權(quán)利要求所述的控制裝置(1)，其特征在于，所述測(cè)量線(xiàn)(40)包括至少一個(gè)校準(zhǔn)的自控孔(46)和三通閥(47)，該校準(zhǔn)的自控孔作為所述測(cè)量頭(23)的分支安裝，該三通閥用于使所述測(cè)量線(xiàn)(40)的所述流量控制裝置(41)和所述壓力傳感器(42)與所述至少一個(gè)校準(zhǔn)的自控孔(46)連通，同時(shí)使它們與所述測(cè)量頭(23)隔離。

12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的控制裝置(1)，其特征在于，它包括與測(cè)量頭(23)的端部件(29)相連的采樣線(xiàn)(49)，該采樣線(xiàn)(49)包括采樣泵(44)。

13.根據(jù)權(quán)利要求10至12中任一項(xiàng)所述的控制裝置(1)，其特征在于，它包括與測(cè)量頭(23)的端部件(29)相連的校準(zhǔn)線(xiàn)(50)，該校準(zhǔn)線(xiàn)(50)包括至少一個(gè)校準(zhǔn)的校準(zhǔn)孔(48)。