[發(fā)明專利]對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)、卡盤裝置及貼合裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201780066813.2
• 申請(qǐng)日: 2017-11-14
• 公開（公告）號(hào): CN110024101B
• 公開（公告）日: 2023-05-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田邊雅明;才野耕作
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 龍?jiān)浦晔綍?huì)社
• 主分類號(hào): H01L21/68
• 分類號(hào): H01L21/68;H01L21/02;H01L21/683
• 代理公司: 北京鴻元知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11327
• 代理人: 溫劍;陳英俊

1.一種卡盤裝置，具備：

卡盤部，具有吸附卡盤對(duì)象的吸附面；

基部，支承所述卡盤部；以及

對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，進(jìn)行使卡盤對(duì)象吸附于所述卡盤部的吸附面時(shí)的該卡盤對(duì)象的位置調(diào)整，

所述對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)具備：

旋轉(zhuǎn)部，具有第一旋轉(zhuǎn)軸；

三個(gè)動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)，分別軸支承于所述旋轉(zhuǎn)部中偏離所述第一旋轉(zhuǎn)軸的三個(gè)不同的位置；以及

三個(gè)對(duì)準(zhǔn)作用部，通過所述三個(gè)動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)分別被傳遞所述旋轉(zhuǎn)部的旋轉(zhuǎn)從而進(jìn)行動(dòng)作，

所述三個(gè)動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)各自具備：

第一臂，具有軸支承于所述三個(gè)不同的位置中的對(duì)應(yīng)的位置的第一端部、以及位于該第一端部的相反側(cè)的第二端部；

第二臂，具有第二旋轉(zhuǎn)軸，并且在與該第二旋轉(zhuǎn)軸不同的位置軸支承于所述第一臂的第二端部；

軸部，所述軸部以使所述軸部的中心線與所述第二旋轉(zhuǎn)軸一致的方式連接到所述第二臂，并且所述軸部與該第二臂聯(lián)動(dòng)地圍繞所述第二旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)；以及

第三臂，所述第三臂連接到所述軸部的與所述第二臂的連接端部的相反側(cè)的端部，

所述三個(gè)對(duì)準(zhǔn)作用部設(shè)置在所述三個(gè)動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)所具備的所述第三臂各自的頂端部，

所述三個(gè)動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)各自所具備的所述軸部在以所述第一旋轉(zhuǎn)軸為中心的不同的三個(gè)方向上離開所述旋轉(zhuǎn)部的三個(gè)位置在貫穿所述基部的狀態(tài)下軸支承于該基部，所述旋轉(zhuǎn)部相對(duì)于所述基部配置在所述卡盤部的相反側(cè)，且所述三個(gè)對(duì)準(zhǔn)作用部配置在所述卡盤部的吸附面的周圍。

2.一種貼合裝置，具備：

第一卡盤部與第二卡盤部，所述第一卡盤部與所述第二卡盤部是分別具有吸附貼合對(duì)象的吸附面的一對(duì)卡盤部，并且使彼此的所述吸附面對(duì)置地配置；

第一基部與第二基部，分別支承所述第一卡盤部以及第二卡盤部；以及

對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，進(jìn)行使貼合對(duì)象吸附于所述第一卡盤部的吸附面時(shí)的該貼合對(duì)象的位置調(diào)整，

所述對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)具備：

旋轉(zhuǎn)部，具有第一旋轉(zhuǎn)軸；

三個(gè)動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)，分別軸支承于所述旋轉(zhuǎn)部中偏離所述第一旋轉(zhuǎn)軸的三個(gè)不同的位置；以及

三個(gè)對(duì)準(zhǔn)作用部，通過所述三個(gè)動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)分別被傳遞所述旋轉(zhuǎn)部的旋轉(zhuǎn)從而進(jìn)行動(dòng)作，

所述三個(gè)動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)各自具備：

第一臂，具有軸支承于所述三個(gè)不同的位置中的對(duì)應(yīng)的位置的第一端部、以及位于該第一端部的相反側(cè)的第二端部；

第二臂，具有第二旋轉(zhuǎn)軸，并且在與該第二旋轉(zhuǎn)軸不同的位置軸支承于所述第一臂的第二端部；

軸部，所述軸部以使所述軸部的中心線與所述第二旋轉(zhuǎn)軸一致的方式連接到所述第二臂，并且所述軸部與該第二臂聯(lián)動(dòng)地圍繞所述第二旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)；以及

第三臂，所述第三臂連接到所述軸部的與所述第二臂的連接端部的相反側(cè)的端部，

所述三個(gè)對(duì)準(zhǔn)作用部設(shè)置在所述三個(gè)動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)所具備的所述第三臂各自的頂端部，

所述三個(gè)動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)各自所具備的所述軸部在以所述第一旋轉(zhuǎn)軸為中心的不同的三個(gè)方向上離開所述旋轉(zhuǎn)部的三個(gè)位置在貫穿所述第一基部的狀態(tài)下軸支承于該第一基部，所述旋轉(zhuǎn)部相對(duì)于所述第一基部配置在所述第一卡盤部的相反側(cè)，且所述三個(gè)對(duì)準(zhǔn)作用部配置在所述第一卡盤部的吸附面的周圍。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的貼合裝置，其中，

進(jìn)一步具備驅(qū)動(dòng)部，所述驅(qū)動(dòng)部能夠在與所述吸附面垂直的方向上使所述第一基部相對(duì)于所述第二基部相對(duì)地移動(dòng)，

通過使所述第一基部與所述第二基部彼此靠近，所述對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)還被應(yīng)用于使貼合對(duì)象吸附于所述第二卡盤部的吸附面時(shí)的該貼合對(duì)象的位置調(diào)整，

所述三個(gè)對(duì)準(zhǔn)作用部各自具有：

第一抵接部，在吸附于所述第一卡盤部的吸附面上的貼合對(duì)象的位置調(diào)整時(shí)，與該貼合對(duì)象的邊緣抵接；以及

第二抵接部，在吸附于所述第二卡盤部的吸附面上的貼合對(duì)象的位置調(diào)整時(shí)，與該貼合對(duì)象的邊緣抵接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的貼合裝置，其中，

在所述三個(gè)對(duì)準(zhǔn)作用部各自中，所述第一抵接部以及第二抵接部中的任一者比另一者更向內(nèi)側(cè)突出。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的貼合裝置，其中，

進(jìn)一步具備旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)具有沿著所述吸附面的方向上的旋轉(zhuǎn)軸，并且所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)能夠使所述第一基部以及所述第二基部整體圍繞該旋轉(zhuǎn)軸翻轉(zhuǎn)，從而交換所述第一基部與所述第二基部的位置。