[發(fā)明專(zhuān)利]超聲波檢查裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201780066138.3
• 申請(qǐng)日: 2017-09-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109863394A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-06-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 松本徹
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 浜松光子學(xué)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): G01N29/265
• 分類(lèi)號(hào): G01N29/265;G01N29/28;G01R31/26;G01R31/28
• 代理公司: 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

1.一種超聲波檢查裝置，其中，

是以被封裝化的半導(dǎo)體設(shè)備為檢查對(duì)象的超聲波檢查裝置，

具備：

超聲波振動(dòng)器，其與所述半導(dǎo)體設(shè)備相對(duì)地配置；

介質(zhì)保持部，其設(shè)置于所述超聲波振動(dòng)器中與所述半導(dǎo)體設(shè)備相對(duì)的端部，并保持傳播所述超聲波的介質(zhì)；

平臺(tái)，其使所述半導(dǎo)體設(shè)備與所述超聲波振動(dòng)器的相對(duì)位置移動(dòng)；及

解析部，其解析與利用所述超聲波振動(dòng)器的超聲波的輸入對(duì)應(yīng)的所述半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)。

2.如權(quán)利要求1所述的超聲波檢查裝置，其中，

所述介質(zhì)保持部由設(shè)置于所述超聲波振動(dòng)器的所述端部的筒狀構(gòu)件構(gòu)成。

3.如權(quán)利要求1或2所述的超聲波檢查裝置，其中，

所述介質(zhì)保持部滑動(dòng)自如地嵌合于所述超聲波振動(dòng)器的所述端部。

4.如權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的超聲波檢查裝置，其中，

所述介質(zhì)保持部包含調(diào)整所述介質(zhì)的保持量的介質(zhì)流通口。

5.如權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的超聲波檢查裝置，其中，

所述介質(zhì)保持部包含檢測(cè)所述介質(zhì)的保持量的保持量檢測(cè)部。

6.如權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的超聲波檢查裝置，其中，

還具備：

電源裝置，其對(duì)所述半導(dǎo)體設(shè)備施加恒定電壓或恒定電流；及

反應(yīng)檢測(cè)部，其在所述恒定電壓或所述恒定電流的施加狀態(tài)下，檢測(cè)與所述超聲波的輸入對(duì)應(yīng)的所述半導(dǎo)體設(shè)備的電流或電壓，

所述解析部基于來(lái)自所述反應(yīng)檢測(cè)部的檢測(cè)信號(hào)而生成解析圖像。

7.如權(quán)利要求6所述的超聲波檢查裝置，其中，

還包含：信號(hào)產(chǎn)生部，其對(duì)所述超聲波振動(dòng)器輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)，且輸出與所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)對(duì)應(yīng)的參考信號(hào)，

所述解析部基于所述檢測(cè)信號(hào)與所述參考信號(hào)而生成所述解析圖像。

8.如權(quán)利要求6或7所述的超聲波檢查裝置，其中，

還包含：反射檢測(cè)部，其檢測(cè)由所述半導(dǎo)體設(shè)備反射的所述超聲波的反射波，

所述解析部基于來(lái)自所述反射檢測(cè)部的檢測(cè)信號(hào)而生成反射圖像。

9.如權(quán)利要求8所述的超聲波檢查裝置，其中，

所述解析部生成將所述解析圖像與所述反射圖像重疊后的重疊圖像。