[發(fā)明專利]有機(jī)蒸氣噴射沉積裝置配置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201780064659.5
• 申請日: 2017-10-18
• 公開（公告）號: CN109906119B
• 公開（公告）日: 2021-12-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐欣;G·麥格勞;W·E·奎因
• 申請（專利權(quán)）人: 環(huán)球展覽公司
• 主分類號: B05B7/06
• 分類號: B05B7/06;B05B7/08;C23C14/12;H01L51/56
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 容春霞

提供了用于將材料沉積在襯底上，如用于制造OLED和用于OLED中的層的裝置和技術(shù)。沉積器塊包括一或多個遞送孔口、一或多個排氣孔口、和一或多個約束氣體通道。每個遞送孔口被布置成使得其在排氣孔口與約束氣體通道之間，由此通過減少材料的過噴來改進(jìn)沉積。

相關(guān)申請的交叉引用

本申請是2016年10月18日提交的美國臨時專利申請第62/409,466號的非臨時申請并且要求所述美國臨時專利申請的優(yōu)先權(quán)益，所述美國臨時專利申請的全部內(nèi)容以引用的方式并入本文中。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于沉積如用作有機(jī)發(fā)光二極管中的發(fā)射體的材料的布置；和包括其的裝置，如有機(jī)發(fā)光二極管。

背景技術(shù)

出于多種原因，利用有機(jī)材料的光電裝置變得越來越受歡迎。用于制造所述裝置的許多材料相對較為便宜，因此有機(jī)光電裝置具有優(yōu)于無機(jī)裝置的成本優(yōu)勢的潛力。另外，有機(jī)材料的固有性質(zhì)(例如其柔性)可以使其較適用于特定應(yīng)用，如在柔性襯底上的制造。有機(jī)光電裝置的實例包括有機(jī)發(fā)光二極管/裝置(OLED)、有機(jī)光電晶體管、有機(jī)光伏電池和有機(jī)光電檢測器。對于OLED，有機(jī)材料可以具有優(yōu)于常規(guī)材料的性能優(yōu)勢。舉例來說，有機(jī)發(fā)射層發(fā)射光的波長通常可以容易地用適當(dāng)?shù)膿诫s劑來調(diào)節(jié)。

OLED利用有機(jī)薄膜，其在電壓施加于裝置上時會發(fā)射光。OLED正成為用于如平板顯示器、照明和背光的應(yīng)用中的日益受關(guān)注的技術(shù)。美國專利第5,844,363號、第6,303,238號和第5,707,745號中描述若干OLED材料和配置，所述專利以全文引用的方式并入本文中。

磷光發(fā)射分子的一個應(yīng)用是全色顯示器。針對此類顯示器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)需要適合于發(fā)射特定顏色(稱為“飽和”色)的像素。具體來說，這些標(biāo)準(zhǔn)需要飽和紅色、綠色和藍(lán)色像素。或者，OLED可經(jīng)設(shè)計以發(fā)射白光。在常規(guī)液晶顯示器中，使用吸收濾光器過濾來自白色背光的發(fā)射以產(chǎn)生紅色、綠色和藍(lán)色發(fā)射。相同技術(shù)也可以用于OLED。白色OLED可以是單EML裝置或堆疊結(jié)構(gòu)。可以使用所屬領(lǐng)域中所熟知的CIE坐標(biāo)來測量色彩。

如本文所用，術(shù)語“有機(jī)”包括可以用于制造有機(jī)光電裝置的聚合材料和小分子有機(jī)材料。“小分子”是指并非聚合物的任何有機(jī)材料，并且“小分子”可能實際上相當(dāng)大。在一些情況下，小分子可以包括重復(fù)單元。舉例來說，使用長鏈烷基作為取代基并不會將某一分子從“小分子”類別中去除。小分子還可以并入聚合物中，例如作為聚合物主鏈上的側(cè)接基團(tuán)或作為主鏈的一部分。小分子還可以充當(dāng)樹枝狀聚合物的核心部分，所述樹枝狀聚合物由一系列構(gòu)建在核心部分上的化學(xué)殼層組成。樹枝狀聚合物的核心部分可以是熒光或磷光小分子發(fā)射體。樹枝狀聚合物可以是“小分子”，并且認(rèn)為當(dāng)前在OLED領(lǐng)域中使用的所有樹枝狀聚合物都是小分子。

如本文所用，“頂部”意指離襯底最遠(yuǎn)，而“底部”意指最靠近襯底。在第一層被描述為“安置于”第二層“上方”的情況下，第一層被安置于離基板較遠(yuǎn)處。除非規(guī)定第一層“與”第二層“接觸”，否則第一與第二層之間可以存在其它層。舉例來說，即使陰極和陽極之間存在各種有機(jī)層，仍可以將陰極描述為“安置于”陽極“上方”。

如本文所用，“溶液可處理”意指能夠以溶液或懸浮液的形式在液體介質(zhì)中溶解、分散或傳輸和/或從液體介質(zhì)沉積。

當(dāng)認(rèn)為配體直接促成發(fā)射材料的光敏性質(zhì)時，所述配體可以被稱為“光敏性的”。當(dāng)認(rèn)為配體并不促成發(fā)射材料的光敏性質(zhì)時，所述配體可以被稱為“輔助性的”，但輔助性配體可以改變光敏性配體的性質(zhì)。