[發(fā)明專利]彎曲的后掃描電極

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201780064062.0
• 申請日: 2017-08-28
• 公開（公告）號: CN109863572A
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 法蘭克·辛克萊;丹尼爾·泰格爾;艾德沃·W·比爾;羅伯特·林德柏格
• 申請（專利權(quán)）人: 瓦里安半導(dǎo)體設(shè)備公司
• 主分類號: H01J37/04
• 分類號: H01J37/04;H01J37/317
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 馬爽;臧建明

1.一種設(shè)備，包括：

離子束產(chǎn)生器，提供離子束；

掃描系統(tǒng)，接收所述離子束，所述掃描系統(tǒng)包括第一掃描板與第二掃描板，位于所述離子束的相對兩側(cè)上，所述第一掃描板與所述第二掃描板從所述離子束產(chǎn)生經(jīng)掃描束，所述經(jīng)掃描束具有掃描原點及視在掃描原點；以及

電極，接收所述經(jīng)掃描束，所述電極的至少一部分具有彎曲形狀以實質(zhì)上維持所述視在掃描原點的位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述電極位于所述掃描系統(tǒng)的下游且位置緊鄰所述掃描系統(tǒng)的所述第一掃描板及所述第二掃描板。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述電極位于所述掃描系統(tǒng)的下游。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述第一掃描板及所述第二掃描板包括平行部分及位于所述平行部分下游的分叉部分。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，進一步包括位于所述電極上游的前掃描電極。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述經(jīng)掃描束具有扇形束包絡(luò)線，所述扇形束包絡(luò)線起始于所述掃描原點且被所述電極接收，且其中所述視在掃描原點與所述掃描原點重疊。

7.一種方法，包括：

產(chǎn)生離子束；

接收所述離子束且從所述離子束提供經(jīng)掃描束，所述經(jīng)掃描束具有掃描原點及視在掃描原點；以及

由彎曲的電極接收所述經(jīng)掃描束，當(dāng)所述經(jīng)掃描束穿過所述彎曲的電極時，所述經(jīng)掃描束的所述視在掃描原點的位置實質(zhì)上得到維持。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中掃描系統(tǒng)接收所述離子束并從所述離子束提供所述經(jīng)掃描束，所述掃描系統(tǒng)包括位于所述離子束的相對兩側(cè)上的第一掃描板與第二掃描板。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中所述第一掃描板及所述第二掃描板包括平行部分及位于所述平行部分下游的分叉部分。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中所述經(jīng)掃描束的所述掃描原點與所述視在掃描原點位于所述第一掃描板與所述第二掃描板之間。

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中所述經(jīng)掃描束具有扇形束包絡(luò)線，所述扇形束包絡(luò)線起始于所述掃描原點，且其中所述視在掃描原點與所述掃描原點重疊。

12.一種設(shè)備，包括：

離子束產(chǎn)生器，提供離子束；

掃描系統(tǒng)，接收所述離子束，所述掃描系統(tǒng)包括：

第一掃描板與第二掃描板，位于所述離子束的相對兩側(cè)上，所述第一掃描板與所述第二掃描板從所述離子束產(chǎn)生經(jīng)掃描束，所述經(jīng)掃描束具有掃描原點及視在掃描原點；

減速透鏡，設(shè)置在所述第一掃描板及所述第二掃描板的上游，所述減速透鏡使所述離子束減速；以及

電極，接收所述經(jīng)掃描束，所述電極的至少一部分具有彎曲形狀以實質(zhì)上維持所述視在掃描原點的位置。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的設(shè)備，其中所述電極位于所述掃描系統(tǒng)的下游且位置緊鄰所述掃描系統(tǒng)的所述第一掃描板及所述第二掃描板。

14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的設(shè)備，進一步包括設(shè)置在所述電極上游的前掃描電極。