[發(fā)明專利]微機械的壓力傳感器裝置和用于制造微機械的壓力傳感器裝置的相應(yīng)的方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201780063438.6 | 申請日： | 2017-09-29 |
| 公開（公告）號： | CN109843789A | 公開（公告）日： | 2019-06-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | A.庫格勒;A.盧克斯 | 申請（專利權(quán)）人： | 羅伯特·博世有限公司 |
| 主分類號： | B81C1/00 | 分類號： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 宣力偉;李雪瑩 |
| 地址： | 德國斯*** | 國省代碼： | 德國;DE |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 微機械 壓力傳感器裝置 電路載體 彎曲結(jié)構(gòu) 壓力敏感 構(gòu)件布置 時效硬化 微電子 薄膜 噴射 制造 包圍 暴露 | ||
1.微機械的壓力傳感器裝置（100），其帶有：
電路載體（10）；以及
微機械的構(gòu)件（20），其中，該微機械的構(gòu)件（20）布置在該電路載體（10）的安裝面（11）上并且在該微機械的構(gòu)件（20）上構(gòu)造有至少一個對壓力敏感的彎曲結(jié)構(gòu)（15）；并且
其中，微電子的構(gòu)件（20）和/或所述電路載體（10）至少部分地用至少一種經(jīng)時效硬化的噴射物質(zhì)（30）包圍，并且其中，
至少所述至少一個對壓力敏感的彎曲結(jié)構(gòu)（15）至少部分地暴露并且所述電路載體（10）柔性地構(gòu)造。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機械的壓力傳感器裝置（100），其中，所述電路載體（10）是帶有集成的導電圖結(jié)構(gòu)的膜。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機械的壓力傳感器裝置（100），其中，所述電路載體（10）包括專用集成電路（17）。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微機械的壓力傳感器裝置（100），其中，所述專用集成電路（17）布置在所述電路載體（10）和所述微機械的構(gòu)件（20）之間。
5.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的微機械的壓力傳感器裝置（100），其中，能借助于粘接安裝技術(shù)、釬焊安裝技術(shù)、倒封裝安裝技術(shù)或引線接合安裝技術(shù)執(zhí)行所述微機械的構(gòu)件（20）在所述電路載體（10）上和/或內(nèi)的電接觸。
6.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的微機械的壓力傳感器裝置（100），其中，所述經(jīng)時效硬化的噴射物質(zhì)（30）能歸因于注塑成型工藝。
7.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的微機械的壓力傳感器裝置（100），其中，所述經(jīng)時效硬化的噴射物質(zhì)（30）是熱固性塑料。
8.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的微機械的壓力傳感器裝置（100），其中，能通過注塑成型模具實現(xiàn)所述微機械的壓力傳感器裝置（100）到殼體上的成型。
9.一種用于制造微機械的壓力傳感器裝置（100）的方法，該方法帶有下列步驟：
A）將帶有至少一個對壓力敏感的彎曲結(jié)構(gòu)（15）的微機械的構(gòu)件（20）布置到電路載體（10）的安裝面（11）上；
B）利用至少一種噴射物質(zhì)（30）在將所述微機械的構(gòu)件（20）布置到所述電路載體（10）的安裝面（11）上之前或之后至少部分地包圍所述微電子的構(gòu)件（20）和/或所述電路載體（10），并且其中，
所述至少一個對壓力敏感的彎曲結(jié)構(gòu)（15）被所述至少一種噴射物質(zhì)（30）至少部分地保持留空并且所述微機械的構(gòu)件（20）布置在柔性地構(gòu)造的電路載體（10）上。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中，在布置所述微機械的構(gòu)件（20）之前或之后，通過注塑成型利用所述至少一種噴射物質(zhì)（30）部分地包圍所述微電子的構(gòu)件（20）和/或所述電路載體（10）。
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