[發明專利]激光加工裝置及動作確認方法

有效

• 申請號: 201780062905.3
• 申請日: 2017-10-11
• 公開（公告）號: CN109843497B
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發明（設計）人: 伊崎泰則
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: B23K26/00
• 分類號: B23K26/00;B23K26/0622;B23K26/064;B23K26/08
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

一種激光加工裝置，具備：輸出激光的激光光源；將自上述激光光源輸出的上述激光對應于相位圖案進行調制并出射的空間光調制器；將自上述空間光調制器所出射的上述激光聚光于對象物的物鏡；控制顯示于上述空間光調制器的相位圖案的控制部；及進行上述空間光調制器的動作是否正常的判定的判定部，上述控制部進行用于切換顯示于上述空間光調制器的上述相位圖案的切換控制，上述判定部基于自上述空間光調制器所出射的上述激光的上述切換控制之前與上述切換控制之后之間的強度的變化進行上述判定。

技術領域

本發明的一個方面涉及激光加工裝置及動作確認方法。

背景技術

在專利文獻1中記載有通過對加工對象物照射激光，進行加工對象物的激光加工的激光加工裝置。在這種的激光加工中，自激光光源所輸出的輸出激光在通過空間光調制器進行調制后，通過物鏡聚光至加工對象物。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2011-51011號公報

發明內容

發明所要解決的技術問題

在上述那樣的激光加工裝置中，在空間光調制器的動作不正常的情況下，會有無法對加工對象物進行適當的激光的照射的擔憂。因此，需要在任意的時機進行空間光調制器的動作確認。相對于此，本發明人們得到了如下見解：作為空間光調制器的動作確認的時機，優選激光加工時以外的時機。

因此，本發明的一個方面的目的在于，提供能夠在加工時以外的時機進行空間光調制器的動作確認的激光加工裝置及動作確認方法。

解決問題的技術手段

本發明的一個方面所涉及的激光加工裝置，其特征在于，是至少具有將激光照射于對象物并進行激光加工的第1模式和與第1模式不同的第2模式的激光加工裝置，具備：輸出激光的激光光源；將自激光光源輸出的激光對應于相位圖案進行調制并出射的空間光調制器；將自空間光調制器所出射的激光聚光于對象物的聚光透鏡；控制顯示于空間光調制器的相位圖案的控制部；及當執行第2模式時，進行空間光調制器的動作是否正常的判定的判定部，控制部在執行第2模式時，進行用于切換顯示于空間光調制器的相位圖案的切換控制，判定部基于自空間光調制器所出射的激光的切換控制前與切換控制后之間的強度的變化進行判定。

本發明的一個方面所涉及的動作確認方法，其特征在于，是具備輸出激光的激光光源、將自激光光源輸出的激光對應于相位圖案進行調制并出射的空間光調制器、將自空間光調制器所出射的激光聚光于對象物的聚光透鏡的激光加工裝置的空間光調制器的動作確認方法，包含：在激光加工裝置中，在執行與對對象物照射激光來進行激光加工的第1模式不同的第2模式時，進行用于切換顯示于空間光調制器的相位圖案的切換控制的第1步驟；及當執行第2模式時，基于自空間光調制器所出射的激光的切換控制前與切換控制后之間的強度的變化，進行空間光調制器的動作是否正常的判定的第2步驟。

在該激光加工裝置及動作確認方法中，當執行與進行激光加工的第1模式不同的第2模式時，進行顯示于空間光調制器的相位圖案的切換控制。若空間光調制器的動作正常的話，則通過在切換控制的前后不同的相位圖案，使激光被調制，產生激光的強度變化。另一方面，在空間光調制器的動作不正常的情況下，在切換控制的前后相位圖案未被適當地切換，其結果，會有未產生激光的強度變化的情況。因此，當執行第2模式時，通過基于切換控制的前后的激光的強度變化，進行空間光調制器的動作是否正常的判定，可在加工時以外的時機進行空間光調制器的動作確認。

在本發明的一個方面所涉及的激光加工裝置中，也可以是控制部在執行第2模式時，進行用于將顯示于空間光調制器的相位圖案從第1圖案切換成包含衍射光柵圖案的第2圖案的切換控制，判定部從切換控制前的激光的強度減去切換控制后的激光的強度并計算強度差，并且基于上述強度差是否較閾值大，進行判定。