[發明專利]設置在基板處理設備中的基板放置部

在審

• 申請號: 201780061456.0
• 申請日: 2017-10-11
• 公開（公告）號: CN109791902A
• 公開（公告）日: 2019-05-21
• 發明（設計）人: 康豪哲;黃喆周
• 申請（專利權）人: 周星工程股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683;H01L21/324
• 代理公司: 蘭州中科華西專利代理有限公司 62002
• 代理人: 李艷華

1.一種設置在基板處理設備中的基座，

其中基座被分成多個內部區域和外部區域，每一個內部區域具有內部加熱線和外部加熱線，外部區域被提供在基座邊緣以包圍內部區域且具有外部加熱線，

其中內部加熱線的至少一些部分被以第一距離設置在相同內部區域中，

其中設置在不同內部區域中的相應內部加熱線的平行部分被以第二距離設置，

其中內部加熱線和外部加熱線的平行部分被以第三距離設置，

其中第一距離小于第二距離。

2.如權利要求1所述的基座，其中第一距離等于第三距離或者小于第三距離。

3.如權利要求1所述的基座，其中第二距離等于第三距離或者大于第三距離。

4.如權利要求1所述的基座，其中外部加熱線的位于內部區域中的部分不被加熱。

5.如權利要求1所述的基座，其中外部加熱線的位于至少一個外部區域中的部分被定位在基板的外部框架中以便不與基板交疊，從而補償基板的外部框架中的溫度。

6.如權利要求1所述的基座，其中外部加熱線的位于至少一個外部區域中的部分的溫度保持為高于內部區域中的外部加熱線的溫度。

7.如權利要求1所述的基座，其中外部加熱線的位于至少一個內部區域中的部分的溫度保持為低于內部區域中的內部加熱線的溫度。

8.如權利要求1所述的基座，其中外部區域包括被單獨加熱的多個外部區域。

9.如權利要求1所述的基座，其中內部區域包括四象限。

10.如權利要求1所述的基座，其中外部區域被分成四象限。

11.一種設置在基板處理設備中的基座，

其中基座被分成多個內部區域和外部區域，每一個內部區域具有內部加熱線和外部加熱線，外部區域被提供在基座邊緣以包圍內部區域且具有外部加熱線，

其中內部加熱線的至少一些部分被以第一距離設置在相同內部區域中，

其中設置在不同內部區域中的相應內部加熱線的平行部分被以第二距離設置，

其中內部加熱線和外部加熱線的平行部分被以第三距離設置，

其中第一距離等于第三距離或者小于第三距離。

12.一種設置在基板處理設備中的基座，

其中基座被分成多個內部區域和外部區域，每一個內部區域具有內部加熱線和外部加熱線，外部區域被提供在基座邊緣以包圍內部區域且具有外部加熱線，

其中內部加熱線的至少一些部分被以第一距離設置在相同內部區域中，

其中設置在不同內部區域中的相應內部加熱線的平行部分被以第二距離設置，

其中內部加熱線和外部加熱線的平行部分被以第三距離設置，

其中第二距離等于第三距離或者大于第三距離。