[發(fā)明專利]物體保持裝置、曝光裝置、平板顯示器之制造方法、元件制造方法、以及物體保持方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201780060669.1
• 申請日: 2017-09-29
• 公開（公告）號: CN109791369B
• 公開（公告）日: 2022-01-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 青木保夫
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01L21/68
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 韓嫚嫚;湯在彥

一種物體保持裝置，其中，保持基板(P)的基板保持具部(70)具有：多個(gè)夾具部(74)，分別具備保持基板(P)的保持面、以及設(shè)于保持面的背面?zhèn)鹊奈讲糠峙c非吸附部分；底座部(72)，吸附夾具部(74)的吸附部分；定盤部(50)；以及管路部(62)，設(shè)于定盤部(50)與底座部(72)之間，具有經(jīng)由夾具部(74)的非吸附部分使氣體通過的管路，夾具部(74)，在使用通過非吸附部分的氣體保持基板(P)，且解除吸附部分對底座部(72)的吸附后，從所述底座構(gòu)件卸除第1構(gòu)件。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明，是關(guān)于物體保持裝置、曝光裝置、平板顯示器的制造方法、元件制造方法、以及物體保持方法，更詳言之，是關(guān)于保持物體的物體保持裝置及方法、具備所述物體保持裝置的曝光裝置、以及使用所述曝光裝置的平板顯示器或元件制造方法。

背景技術(shù)

以往，在制造液晶顯示元件、半導(dǎo)體元件(集成電路等)等的電子元件(微元件)的微影制程中，使用將形成于光罩或標(biāo)線片(以下總稱為「光罩」)的圖案，使用能量束轉(zhuǎn)印至玻璃板或晶圓(以下總稱為「基板」)的曝光裝置。

此種曝光裝置中，已知有一種基板載臺裝置所具有的基板保持具以例如真空吸附來保持基板的基板保持裝置(例如參照專利文獻(xiàn)1)。

基板保持裝置，被要求以高平面度保持基板。

先行技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：美國專利申請公開第2010/0266961號說明書

發(fā)明概要

用于解決殼體的手段

本發(fā)明在上述情事下所完成，根據(jù)第1態(tài)樣，提供一種物體保持裝置，保持物體，其具有：多個(gè)第1構(gòu)件，分別具備保持所述物體的第1保持面、以及設(shè)于所述第1保持面的背面?zhèn)鹊谋舜瞬煌恢玫牡?部分及第2部分；第2構(gòu)件，具備保持所述第1構(gòu)件的第2保持面，所述第1部分與所述第2部分中的所述第2部分固接于所述第2保持面；底座部；以及管路部，設(shè)于所述底座部與所述第2構(gòu)件之間，具有經(jīng)由所述第2構(gòu)件而與所述第1構(gòu)件的所述第1部分連通并使氣體通過的管路；所述第1構(gòu)件，在使用通過所述第1部分的所述氣體保持所述物體，且解除所述第2部分對所述第2保持面的固接后，被從所述第2構(gòu)件卸除。

根據(jù)第2態(tài)樣，提供一種曝光裝置，其具備：本發(fā)明的物體保持裝置；以及圖案形成裝置，使用能量束對保持于所述物體保持裝置的所述物體形成既定圖案。

根據(jù)第3態(tài)樣，提供一種平板顯示器的制造方法，其包含：使用本發(fā)明的曝光裝置使所述基板曝光的動作；以及使曝光后的所述基板顯影的動作。

根據(jù)第4態(tài)樣，提供一種元件制造方法，其包含：使用本發(fā)明的曝光裝置使所述基板曝光的動作；以及使曝光后的所述物體顯影的動作。

根據(jù)第5態(tài)樣，提供一種物體保持方法，保持物體，其包含：使用多個(gè)第1構(gòu)件保持所述物體的動作，該多個(gè)第1構(gòu)件，分別具備保持所述物體的第1保持面、以及設(shè)于所述第1保持面的背面?zhèn)鹊谋舜瞬煌恢玫牡?部分及第2部分；使用第2構(gòu)件保持所述第1構(gòu)件的動作，該第2構(gòu)件，具備保持所述第1構(gòu)件的第2保持面，所述第1部分與所述第2部分中的所述第2部分固接于所述第2保持面；以及使用管路部使所述氣體通過的動作，該管路部，設(shè)于底座部與所述第2構(gòu)件之間，具有經(jīng)由所述第2構(gòu)件而與所述第1構(gòu)件的所述第1部分連通并使氣體通過的管路；使用所述多個(gè)第1構(gòu)件保持所述物體的動作，包含使用通過所述第1部分的所述氣體保持所述物體的動作；且包含：解除所述第2部分對所述第2保持面的固接，以從所述第2構(gòu)件卸除所述第1構(gòu)件的動作。

附圖說明

圖1為概略顯示一實(shí)施形態(tài)的液晶曝光裝置構(gòu)成的圖。

圖2為顯示圖1的液晶曝光裝置所具備的微動載臺(省略上面的一部分)的圖。

圖3為圖2的微動載臺的分解圖。