[發明專利]物體保持裝置、曝光裝置、平板顯示器之制造方法、元件制造方法、以及物體保持方法有效
| 申請號： | 201780060669.1 | 申請日： | 2017-09-29 |
| 公開（公告）號： | CN109791369B | 公開（公告）日： | 2022-01-14 |
| 發明（設計）人： | 青木保夫 | 申請（專利權）人： | 株式會社尼康 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 韓嫚嫚;湯在彥 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 物體 保持 裝置 曝光 平板 顯示器 制造 方法 元件 以及 | ||
1.一種物體保持裝置，保持物體，其具有：
多個第1構件，分別具備保持所述物體的第1保持面、以及設于所述第1保持面的背面側的彼此不同位置的第1部分及第2部分；
第2構件，具備保持所述第1構件的第2保持面，所述第1部分與所述第2部分中的所述第2部分固接于所述第2保持面；
底座部；以及
管路部，于所述底座部與所述第2構件之間，且在所述底座部上排列設有多個，具有經由所述第2構件與所述第1構件的所述第1部分連通以使氣體通過的管路；
所述管路部具有第1管路及第2管路；
所述多個第1構件，在使用通過所述第1管路及所述第1部分的所述氣體，以第1保持力來保持所述物體的第1位置，并使用通過所述第2管路及所述第1部分的所述氣體，以與所述第1保持力不同的第2保持力來保持所述物體的第2位置，且解除所述第2部分對所述第2保持面的固接后，被從所述第2構件卸除。
2.如權利要求1所述的物體保持裝置，其特征在于，所述第2部分被吸附于所述第2保持面。
3.如權利要求2所述的物體保持裝置，其特征在于，所述第2部分具備被真空吸引的構造。
4.如權利要求2或3所述的物體保持裝置，其特征在于，所述第2部分，具有能以多個點保持所述物體下面的多個銷部、包圍所述多個銷部的壁部、以及形成于所述壁部內側的孔部，借由經由所述孔部吸引所述壁部內的氣體以吸附保持所述物體。
5.如權利要求2或3所述的物體保持裝置，其特征在于，所述管路部，具備使保持所述物體的氣體通過的第3管路、以及使將所述第2部分吸附于所述第2保持面的氣體通過的第4管路。
6.如權利要求1至3中任一項所述的物體保持裝置，其特征在于，所述第2部分的至少一部分，借由接著劑接著于所述第2保持面。
7.如權利要求1至3中任一項所述的物體保持裝置，其特征在于，所述第1構件以多孔質材形成。
8.如權利要求2所述的物體保持裝置，其特征在于，所述第2部分與所述第2保持面中的一方具備磁石，另一方具備磁性材料。
9.如權利要求1至3中任一項所述的物體保持裝置，其特征在于，所述第2構件能分割成多個部分構件，
所述第1構件的面積小于所述部分構件的面積。
10.如權利要求1至3中任一項所述的物體保持裝置，其特征在于，所述第1構件，從所述第1保持面吸引氣體，以在所述第1保持面上吸引保持所述物體。
11.如權利要求1至3中任一項所述的物體保持裝置，其特征在于，所述第1構件，從所述第1保持面噴出氣體，以在所述第1保持面上懸浮支承所述物體。
12.一種曝光裝置，其具備：
權利要求1至11中任一項所述的物體保持裝置；以及
圖案形成裝置，使用能量束對保持于所述物體保持裝置的所述物體形成既定圖案。
13.如權利要求12所述的曝光裝置，其特征在于，所述物體是用于平板顯示器的基板。
14.如權利要求13所述的曝光裝置，其特征在于，所述基板的至少一邊的長度或對角長為500mm以上。
15.一種平板顯示器的制造方法，其包含：
使用權利要求12或13所述的曝光裝置使基板曝光的動作；以及
使曝光后的所述基板顯影的動作。
16.一種元件制造方法，其包含：
使用權利要求14所述的曝光裝置使所述物體曝光的動作；以及
使曝光后的所述物體顯影的動作。
17.一種物體保持方法，保持物體，其包含：
使用多個第1構件保持所述物體的動作，該多個第1構件，分別具備保持所述物體的第1保持面、以及設于所述第1保持面的背面側的彼此不同位置的第1部分及第2部分；
使用第2構件保持所述第1構件的動作，該第2構件，具備保持所述第1構件的第2保持面，所述第1部分與所述第2部分中的所述第2部分固接于所述第2保持面；以及
使用管路部使氣體通過的動作，該管路部，于底座部與所述第2構件之間，且在所述底座部上排列設有多個，具有經由所述第2構件與所述第1構件的所述第1部分連通以使氣體通過的管路；
所述管路部具有第1管路及第2管路；
使用所述多個第1構件保持所述物體的動作，包含使用通過所述第1管路及所述第1部分的所述氣體，以第1保持力來保持所述物體的第1位置的動作，與使用通過所述第2管路及所述第1部分的所述氣體，以與所述第1保持力不同的第2保持力來保持所述物體的第2位置的動作；
且包含：解除所述第2部分對所述第2保持面的固接，以從所述第2構件卸除所述第1構件的動作。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于株式會社尼康，未經株式會社尼康許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201780060669.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
