[發明專利]作業裝置和作業方法

有效

• 申請號: 201780060071.2
• 申請日: 2017-09-29
• 公開（公告）號: CN109789434B
• 公開（公告）日: 2022-04-29
• 發明（設計）人: 生島和正
• 申請（專利權）人: 武藏工業株式會社
• 主分類號: B05C11/00
• 分類號: B05C11/00;B05D1/00;G01B11/00;B05C5/00;B05D1/26
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;徐飛躍

技術問題：提供一種可在具有機械差異的多個作業頭之間獲得無差異的作業的作業裝置和使用其的作業方法。技術方案：一種作業裝置和使用其的作業方法，包括執行同一作業的n個(n為2以上的自然數)作業頭、保持作業對象物的載置臺、使載置臺和作業頭相對移動的第1方向驅動裝置、使載置臺和作業頭相對移動的第2方向驅動裝置、使載置臺和作業頭相對移動的第3方向驅動裝置、測量各作業頭的作業量的作業量測量裝置、控制裝置，第1方向驅動裝置能夠使n個作業頭在第1方向分別獨立地移動，第2方向驅動裝置包括使n個作業頭在第2方向同時移動的第2方向主驅動裝置和使n個作業頭中的n－1個作業頭在第2方向分別獨立地移動的第2方向副驅動裝置。

技術領域

本發明涉及一種具有多個作業頭的作業裝置和作業方法，尤其是涉及一種使用多個排出裝置的液體材料涂敷裝置和涂敷方法。本發明中的“排出”包括液體材料從排出口離開之前與涂敷對象物接觸的類型的排出方式、和液體材料從排出口離開之后與涂敷對象物接觸的類型的排出方式。

背景技術

在半導體器件等的制造中，以下情況正在增多，即，在較大的基板例如一邊為500mm左右的矩形基板中，以矩陣狀形成多個相同半導體器件之后，對各個半導體器件進行切開的“多倒角”加工。為了制造大量半導體器件，始終要求生產性的提高。另外，在本說明書中，生產性主要是指每單位時間的處理數。

為了提高生產性，排列多臺相同的制造裝置來執行并行處理最為容易，且較為普遍。然而，如此會導致制造裝置的大型化或成本的增大。

因此，保持制造裝置的尺寸大體不變，通過安裝多個作業頭，使其同時進行相同的動作，來實現生產性的提高。例如，公開有在液體材料涂敷裝置中安裝多個作業頭即排出裝置的如下技術。

專利文獻1公開有一種涂敷裝置，其通過從涂敷單元的噴嘴將涂敷物排出至涂敷對象物上，而在涂敷對象物上進行期望的圖案的描繪，其具有：多個涂敷單元；使涂敷對象物與涂敷物的描繪圖案相對應地移動的移動機構；和單獨控制多個涂敷單元的涂敷量的控制單元。

另外，專利文獻2公開有一種漿料涂敷裝置，其包括：涂敷頭，其通過螺槳的旋轉而從噴嘴向涂敷對象物排出與螺槳的旋轉速度相應的量的漿料；移動機構，其使涂敷對象物與涂敷頭相對移動；檢測部，其檢測涂敷在涂敷對象物上的漿料的涂敷量；和控制單元，其基于檢測出的涂敷量，調整涂敷對象物與涂敷頭的相對移動速度或螺槳的旋轉速度，以獲得目標涂敷量，并基于調整后的相對移動速度或調整后的旋轉速度來控制涂敷頭和移動機構。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2004-290885號公報

專利文獻2：日本專利特開2009-50828號公報

發明內容

發明要解決的技術問題

然而，使多個排出裝置各自的狀態，尤其是排出裝置的構成部件或動作等的狀態、所排出的液體材料的溫度或粘度等狀態完全相同，且使多個排出裝置之間的液體材料的排出量完全相同較為困難。此外，即便容許某程度的誤差，在微細化、高精度化不斷推進的當今，所被容許的誤差也極小，使排出量相同越發困難。即便在該狀態下使排出裝置同時進行相同的動作，排出量也存在差異，因此，排出裝置伴隨動作而向涂敷對象物排出液體材料的結果即涂敷量也會產生差異。這樣的問題在具有多個具有機械差異的作業頭的作業裝置中可謂普遍存在。

因此，本發明的目的在于提供一種可在具有機械差異的多個作業頭之間獲得無差異的作業的作業裝置和作業方法。本發明的目的尤其在于提供一種即便使用排出量存在差異的多個排出裝置形成同一涂敷圖案，也可在多個排出裝置之間獲得無差異的涂敷量的液體材料涂敷裝置和涂敷方法。

用于解決問題的技術手段

[第1技術思想]