[發明專利]玻璃基板及層疊基板有效
| 申請號： | 201780056935.3 | 申請日： | 2017-09-12 |
| 公開（公告）號： | CN109715572B | 公開（公告）日： | 2022-06-14 |
| 發明（設計）人： | 澤村茂輝;小野和孝 | 申請（專利權）人： | AGC株式會社 |
| 主分類號： | C03C3/085 | 分類號： | C03C3/085;B32B17/06;C03C3/087;C03C3/091;C03C17/06;H01L23/15 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 李書慧;趙青 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 玻璃 層疊 | ||
1.一種玻璃基板，作為母組成，以氧化物基準的摩爾百分率計含有SiO2：50～70％、Al2O3：2～8％、B2O3：0％、MgO：0～5％、CaO：0～6％、SrO：7～14％、BaO：16～35％、MgO+CaO+SrO+BaO：25～40％，
Y2O3、La2O3和TiO2的合計含量為0.5％以下，
堿金屬氧化物的含量以氧化物基準的摩爾百分率計為0～0.1％，
失透溫度粘性為103.2dPa·s以上，
30℃～220℃下的平均熱膨脹系數α為8.00～9.00ppm/℃。
2.根據權利要求1所述的玻璃基板，用于半導體封裝用的支撐基板。
3.根據權利要求1或2所述的玻璃基板，其中，光彈性常數C為10～26nm/cm/MPa。
4.一種玻璃基板，用于半導體封裝用的支撐基板，
作為母組成，以氧化物基準的摩爾百分率計含有SiO2：50～70％、Al2O3：2～8％、B2O3：0％、MgO：0～5％、CaO：0～6％、SrO：7～14％、BaO：16～35％、MgO+CaO+SrO+BaO：25～40％，
Y2O3、La2O3和TiO2的合計含量為0.5％以下，
堿金屬氧化物的含量以氧化物基準的摩爾百分率計為0～0.1％，
30℃～220℃下的平均熱膨脹系數α為8.00～9.00ppm/℃，
光彈性常數C為10～26nm/cm/MPa。
5.根據權利要求1、2、4中任一項所述的玻璃基板，其中，通過下述式(1)求出的值為81～93，該式(1)表示以氧化物基準的摩爾百分率計的各氧化物的含量的比例的關系，
0.174×(SiO2的含量)－0.012×(Al2O3的含量)+0.317×(B2O3的含量)+0.988×(MgO的含量)+1.715×(CaO的含量)+2.011×(SrO的含量)+2.251×(BaO的含量)+0.076(1)。
6.根據權利要求1、2、4中任一項所述的玻璃基板，其中，以氧化物基準的摩爾百分率計，SiO2和Al2O3的合計含量為60％以上。
7.根據權利要求1、2、4中任一項所述的玻璃基板，其中，在厚度1mm時波長360nm的光的透射率為15％以上。
8.根據權利要求1、2、4中任一項所述的玻璃基板，其中，失透溫度為1250℃以下。
9.根據權利要求1、2、4中任一項所述的玻璃基板，其中，楊氏模量為65GPa以上。
10.根據權利要求1、2、4中任一項所述的玻璃基板，其中，厚度為2.0mm以下。
11.根據權利要求1、2、4中任一項所述的玻璃基板，其中，所述玻璃基板的一個主表面的面積為70～7000cm2。
12.根據權利要求1、2、4中任一項所述的玻璃基板，其中，所述玻璃基板的主表面的形狀為圓形。
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