[發明專利]檢查系統的調節方法及其使用的輔助器件

有效

• 申請號: 201780054613.5
• 申請日: 2017-07-25
• 公開（公告）號: CN109729737B
• 公開（公告）日: 2023-08-25
• 發明（設計）人: 內田稔
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;G01R31/26
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種檢查系統的調節方法，在所述檢查系統出貨前進行規定的調節，所述檢查系統由對被檢查體進行檢查的多個檢查模塊和用于將被檢查體搬運到所述多個檢查模塊的搬運模塊組裝而構成，利用所述搬運模塊將被檢查體搬運到各檢查模塊，對多個被檢查體依次進行檢查，所述調節方法的特征在于，包括：

準備具有所述檢查模塊的規定的功能或所述搬運模塊的規定的功能的輔助器件的步驟；和

對于需要將所述檢查模塊與所述搬運模塊組裝成所述檢查系統再進行調節的調節項目，不組裝所述檢查系統，通過將所述輔助器件連接到所述搬運模塊或所述檢查模塊，來按單個所述搬運模塊進行調節，或對所述多個檢查模塊按單個檢查模塊進行調節，或將所述多個檢查模塊作為一個系統進行調節的步驟。

2.如權利要求1所述的檢查系統的調節方法，其特征在于：

所述輔助器件包括搬運模塊模擬器，該搬運模塊模擬器是軟件上的假擬的搬運模塊，其能夠與所述檢查模塊連接，并能夠對所述檢查模塊進行與所述搬運模塊同樣的控制信號的發送接收。

3.如權利要求1所述的檢查系統的調節方法，其特征在于：

所述輔助器件包括檢查模塊模擬器，該檢查模塊模擬器是軟件上的假擬的檢查模塊，其能夠與所述搬運模塊連接，并能夠對所述搬運模塊進行與所述檢查模塊同樣的控制信號的發送接收。

4.如權利要求2所述的檢查系統的調節方法，其特征在于：

所述輔助器件包括檢查模塊模擬器，該檢查模塊模擬器是軟件上的假擬的檢查模塊，其能夠與所述搬運模塊連接，并能夠對所述搬運模塊進行與所述檢查模塊同樣的控制信號的發送接收。

5.如權利要求3所述的檢查系統的調節方法，其特征在于：

在利用所述檢查模塊模擬器進行所述搬運模塊的調節時使用被檢查體的假擬放置治具，該假擬放置治具用于在基于來自所述檢查模塊模擬器的控制信號利用所述搬運模塊進行被檢查體的搬運來進行所述搬運模塊的調節時，模擬所述檢查模塊的被檢查體的載置臺。

6.如權利要求4所述的檢查系統的調節方法，其特征在于：

在利用所述檢查模塊模擬器進行所述搬運模塊的調節時使用被檢查體的假擬放置治具，該假擬放置治具用于在基于來自所述檢查模塊模擬器的控制信號利用所述搬運模塊進行被檢查體的搬運來進行所述搬運模塊的調節時，模擬所述檢查模塊的被檢查體的載置臺。

7.如權利要求1～6中任一項所述的檢查系統的調節方法，其特征在于：

所述輔助器件包括假擬搬運模塊治具，其能夠與所述檢查模塊連接，并能夠對所述檢查模塊發送與能夠從所述搬運模塊發送的電信號同樣的電信號。

8.如權利要求1～6中任一項所述的檢查系統的調節方法，其特征在于：

所述輔助器件包括假擬檢查模塊治具，其能夠與所述搬運模塊連接，并能夠對所述搬運模塊發送與能夠從所述檢查模塊發送的電信號同樣的電信號。

9.如權利要求1～6中任一項所述的檢查系統的調節方法，其特征在于，還包括以下操作：

使用檢查模塊調節自診斷軟件進行規定的動作的調節，其中所述檢查模塊調節自診斷軟件用于按單個所述檢查模塊假擬地進行規定的動作。

10.如權利要求1～6中任一項所述的檢查系統的調節方法，其特征在于，還包括以下操作：

在所述檢查系統的框架上安裝用于使所述檢查模塊的定位塊的間隔與規定間隔一致的定位治具。