[發明專利]網式過濾器的制造方法及網式過濾器

在審

• 申請號: 201780052516.2
• 申請日: 2017-08-07
• 公開（公告）號: CN109642336A
• 公開（公告）日: 2019-04-16
• 發明（設計）人: 重田龍男
• 申請（專利權）人: 株式會社新克
• 主分類號: C25D1/08
• 分類號: C25D1/08;C25D1/10
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 曹陽

本發明提供一種網式過濾器的制造方法及網式過濾器，所述網式過濾器的制造方法可形成比沖孔加工更細微的孔，在同一基材上形成網眼不同的網，由此，可根據各種的網眼尺寸任意變更流量、光量。一種網式過濾器的制造方法，包括使用附帶DLC圖案的輥、通過對可鍍敷的金屬進行連續鍍敷而制作網式過濾器的工序，上述網式過濾器狀抗蝕劑圖案是將網眼不同的兩個以上的網式過濾器狀抗蝕劑圖案形成于同一上述圓筒狀金屬基材而成的網式過濾器狀抗蝕劑圖案。

技術領域

本發明涉及使用表面設有DLC圖案的附帶DLC圖案的輥通過連續鍍敷而制作的金屬制的網式過濾器的制造方法及網式過濾器。

背景技術

以往，以金屬制作的網式過濾器已為人熟知。金屬制網式過濾器例如使用于過濾等的用途。

這樣的金屬制網式過濾器有：使用金屬線材形成網狀的金屬制網式過濾器、在板狀的金屬基材上通過沖孔加工而開穿孔的金屬制網式過濾器等。

就以往的通過沖孔加工對金屬基材制作的網式過濾器而言，難以開設μ單位的細微的孔。另外，就以往的用沖孔金屬制作的網式過濾器而言，在同一基材上，僅能形成相同網眼的網，因此在改變流量時，需要準備網眼不同的各種各樣的網式過濾器。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開平9-131506號公報

發明內容

發明所要解決的課題

本發明的目的在于，提供一種網式過濾器的制造方法及網式過濾器，所述網式過濾器的制造方法可形成比沖孔加工更細微的孔，在同一基材上形成網眼不同的網，由此，可通過各種網眼尺寸任意變更流量、光量。

用于解決課題的手段

為解決上述課題，本發明的網式過濾器的制造方法，包括：準備可鍍敷的圓筒狀金屬基材的工序；在上述圓筒狀金屬基材的表面涂布光抗蝕劑，使其曝光、顯影而形成網式過濾器狀抗蝕劑圖案的工序；在上述圓筒狀金屬基材及網式過濾器狀抗蝕劑圖案的表面形成DLC覆膜的工序；將形成在上述網式過濾器狀抗蝕劑圖案上的DLC覆膜、與上述網式過濾器狀抗蝕劑圖案一起剝離，在上述圓筒狀金屬基材的表面形成DLC圖案，制作附帶DLC圖案的輥的工序；及使用上述附帶DLC圖案的輥，對可鍍敷的金屬進行連續鍍敷，由此制作網式過濾器的工序，上述網式過濾器狀抗蝕劑圖案是將網眼不同的兩個以上的網式過濾器狀抗蝕劑圖案形成于同一上述圓筒狀金屬基材而成的網式過濾器狀抗蝕劑圖案。

優選的是：涂布上述光抗蝕劑的金屬基材由從鎳、鎢、鉻、鈦、金、銀、鉑、不銹鋼、鐵、銅、鋁組成的組中選擇的至少一種的材料構成。

優選的是：上述DLC覆膜的厚度為0.1μm～20μm。

優選的是：上述網眼不同的兩個以上的網式過濾器狀抗蝕劑圖案是網眼以無級方式變化的無級漸變圖案。

本發明的網式過濾器是通過如下方式制造而成的網式過濾器：在可鍍敷的圓筒狀金屬基材的表面涂布光抗蝕劑，使其曝光、顯影而形成網式過濾器狀抗蝕劑圖案，在上述圓筒狀金屬基材及網式過濾器狀抗蝕劑圖案的表面形成DLC覆膜，將形成在上述網式過濾器狀抗蝕劑圖案上的DLC覆膜與上述網式過濾器狀抗蝕劑圖案一起剝離，使用在上述圓筒狀金屬基材的表面形成DLC圖案而制造的附帶DLC圖案的輥，對可鍍敷的金屬進行連續鍍敷，上述網式過濾器狀抗蝕劑圖案是將網眼不同的兩個以上的網式過濾器狀抗蝕劑圖案形成于同一上述圓筒狀金屬基材而成的網式過濾器狀抗蝕劑圖案，上述網式過濾器具備網眼不同的兩個以上的網式過濾部。

優選的是：涂布有上述光抗蝕劑的金屬基材由從鎳、鎢、鉻、鈦、金、銀、鉑、不銹鋼、鐵、銅、鋁組成的組中選擇的至少一種的材料構成。

優選的是：上述DLC覆膜的厚度為0.1μm～20μm。