[發(fā)明專利]網(wǎng)式過濾器的制造方法及網(wǎng)式過濾器在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201780052516.2 | 申請日： | 2017-08-07 |
| 公開（公告）號： | CN109642336A | 公開（公告）日： | 2019-04-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 重田龍男 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會(huì)社新克 |
| 主分類號： | C25D1/08 | 分類號： | C25D1/08;C25D1/10 |
| 代理公司： | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人： | 曹陽 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 網(wǎng)式過濾器 抗蝕劑圖案 網(wǎng)眼 基材 制造 圓筒狀金屬 連續(xù)鍍 沖孔 鍍敷 光量 附帶 變更 金屬 圖案 加工 制作 | ||
1.一種網(wǎng)式過濾器的制造方法，包括：
準(zhǔn)備可鍍敷的圓筒狀金屬基材的工序；
在所述圓筒狀金屬基材的表面涂布光抗蝕劑，使其曝光、顯影而形成網(wǎng)式過濾器狀抗蝕劑圖案的工序；
在所述圓筒狀金屬基材及網(wǎng)式過濾器狀抗蝕劑圖案的表面形成DLC覆膜的工序；
將形成在所述網(wǎng)式過濾器狀抗蝕劑圖案上的DLC覆膜、與所述網(wǎng)式過濾器狀抗蝕劑圖案一起剝離，在所述圓筒狀金屬基材的表面形成DLC圖案，制作附帶DLC圖案的輥的工序；及
使用所述附帶DLC圖案的輥，對可鍍敷的金屬進(jìn)行連續(xù)鍍敷，由此制作網(wǎng)式過濾器的工序，
所述網(wǎng)式過濾器狀抗蝕劑圖案是將網(wǎng)眼不同的兩個(gè)以上的網(wǎng)式過濾器狀抗蝕劑圖案形成于同一所述圓筒狀金屬基材而成的網(wǎng)式過濾器狀抗蝕劑圖案。
2.如權(quán)利要求1所述的網(wǎng)式過濾器的制造方法，其中，涂布所述光抗蝕劑的金屬基材由從鎳、鎢、鉻、鈦、金、銀、鉑、不銹鋼、鐵、銅、鋁組成的組中選擇的至少一種的材料構(gòu)成。
3.如權(quán)利要求1或2所述的網(wǎng)式過濾器的制造方法，其中，所述DLC覆膜的厚度為0.1μm～20μm。
4.如權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的網(wǎng)式過濾器的制造方法，其中，所述網(wǎng)眼不同的兩個(gè)以上的網(wǎng)式過濾器狀抗蝕劑圖案是網(wǎng)眼以無級方式變化的無級漸變圖案。
5.一種網(wǎng)式過濾器，是通過如下方式制造而成的網(wǎng)式過濾器：在可鍍敷的圓筒狀金屬基材的表面涂布光抗蝕劑，使其曝光、顯影而形成網(wǎng)式過濾器狀抗蝕劑圖案，在所述圓筒狀金屬基材及網(wǎng)式過濾器狀抗蝕劑圖案的表面形成DLC覆膜，將形成在所述網(wǎng)式過濾器狀抗蝕劑圖案上的DLC覆膜與所述網(wǎng)式過濾器狀抗蝕劑圖案一起剝離，使用在所述圓筒狀金屬基材的表面形成DLC圖案而制造的附帶DLC圖案的輥，對可鍍敷的金屬進(jìn)行連續(xù)鍍敷，
所述網(wǎng)式過濾器狀抗蝕劑圖案是將網(wǎng)眼不同的兩個(gè)以上的網(wǎng)式過濾器狀抗蝕劑圖案形成于同一所述圓筒狀金屬基材而成的網(wǎng)式過濾器狀抗蝕劑圖案，
所述網(wǎng)式過濾器具備網(wǎng)眼不同的兩個(gè)以上的網(wǎng)式過濾部。
6.如權(quán)利要求5所述的網(wǎng)式過濾器，其中，涂布有所述光抗蝕劑的金屬基材由從鎳、鎢、鉻、鈦、金、銀、鉑、不銹鋼、鐵、銅、鋁組成的組中選擇的至少一種的材料構(gòu)成。
7.如權(quán)利要求5或6所述的網(wǎng)式過濾器，其中，所述DLC覆膜的厚度為0.1μm～20μm。
8.如權(quán)利要求5～7中任一項(xiàng)所述的網(wǎng)式過濾器，其中，所述網(wǎng)眼不同的兩個(gè)以上的網(wǎng)式過濾器狀抗蝕劑圖案是網(wǎng)眼以無級方式變化的無級漸變圖案。
9.一種流體流量調(diào)整機(jī)構(gòu)，具有：
權(quán)利要求5～8中任一項(xiàng)所述的、具備網(wǎng)眼不同的兩個(gè)以上的網(wǎng)式過濾部的網(wǎng)式過濾器；及
使所述網(wǎng)式過濾器滑動(dòng)的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，
所述流體流量調(diào)整機(jī)構(gòu)通過使所述網(wǎng)式過濾器滑動(dòng)，從而能夠以任意的網(wǎng)眼的網(wǎng)式過濾部進(jìn)行流體流量的調(diào)整。
10.一種光量調(diào)整機(jī)構(gòu)，具有：
權(quán)利要求第5～8中任一項(xiàng)所述的、具備網(wǎng)眼不同的兩個(gè)以上的網(wǎng)式過濾部的網(wǎng)式過濾器；及
使所述網(wǎng)式過濾器滑動(dòng)的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，
所述光量調(diào)整機(jī)構(gòu)通過使所述網(wǎng)式過濾器滑動(dòng)，從而能夠以任意的網(wǎng)眼的網(wǎng)式過濾部進(jìn)行光量的調(diào)整。
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