[發明專利]用于真空腔室的門密封件

有效

• 申請號: 201780051762.6
• 申請日: 2017-08-18
• 公開（公告）號: CN109643629B
• 公開（公告）日: 2021-07-02
• 發明（設計）人: 約翰·M·懷特
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

本文描述具有可充氣狹縫閥開口密封件的真空腔室。在一個示例中，一種真空腔室包括腔室主體、第一可充氣密封件和第一狹縫閥門。所述腔室主體具有頂部、底部和側壁。第一狹縫閥開口形成在所述側壁中。所述第一可充氣密封件密封地耦接至所述側壁并包圍所述第一狹縫閥開口。所述第一可充氣密封件具有耦接至所述側壁的基部和可相對于所述基部側向地移動的中空管狀部分。所述第一狹縫閥門可在接觸所述第一可充氣密封件以在所述第一狹縫閥門與所述腔室主體之間提供真空密封的關閉狀態與使所述第一狹縫閥門脫離所述第一狹縫閥開口的打開狀態之間移動。

技術領域

本文描述的實施方式大體涉及用于真空腔室的門密封件，并且更具體地涉及具有門密封件的真空腔室。

背景技術

等離子體顯示面板、液晶顯示器、太陽能面板、有機發光二極管(OLED)顯示器經常用于顯示器和太陽能面板。在顯示器和太陽能面板的制造期間，必須將大面積基板從工廠接口(factory interface)的大氣環境傳送到處理基板的處理系統的真空環境。裝載鎖定腔室用于從大氣環境接收基板，泵吸到真空狀態，然后將基板引入處理系統的真空環境。使用狹縫閥完成裝載鎖定腔室與大氣環境和真空環境的選擇性隔離。

狹縫閥一般包括接觸狹縫閥門的密封表面的密封件和附連到裝載鎖定腔室或其部分的狹縫閥密封板。由于當裝載鎖定腔室被泵吸到真空狀態、通風到大氣并再次泵吸到真空狀態時的壓力差，腔室主體和門可能略微彎曲，由此導致狹縫閥門和狹縫閥密封板相對于彼此移動。當門和密封板相對于彼此移動時，用于在門與密封板之間提供真空密封的密封件，諸如O形環或密封墊圈，可相對于這些表面中的一個摩擦或滑動，由此不期望地產生不想要的顆粒，不想要的顆粒可能變為處理污染物。此外，摩擦會縮短密封件的壽命，從而必需更頻繁地更換密封件。

因此，需要一種用于真空腔室的改善的狹縫閥門密封件。

發明內容

本文描述的實施方式包括具有可充氣狹縫閥密封件的真空腔室。在一個示例中，一種真空腔室包括腔室主體、第一可充氣密封件和第一狹縫閥門。所述腔室主體具有頂部、底部和側壁。第一狹縫閥開口形成在所述側壁中。所述第一可充氣密封件密封地耦接至所述側壁并包圍所述第一狹縫閥開口。所述第一狹縫閥門可在接觸所述第一可充氣密封件以在所述第一狹縫閥門與所述腔室主體之間提供真空密封的關閉狀態與使所述第一狹縫閥門脫離所述第一狹縫閥開口的打開狀態之間移動。所述第一可充氣密封件具有耦接至所述側壁的基部和在所述狹縫閥門處于所述關閉狀態時可相對于所述基部側向地移動的中空管狀部分。

在另一個示例中，所述真空腔室進一步包括：第二狹縫閥開口，所述第二狹縫閥開口穿過所述側壁形成；第二狹縫閥門，所述第二狹縫閥門可在關閉位置與打開位置之間移動；和第二可充氣密封件。在所述打開位置，所述第二狹縫閥門脫離所述第二狹縫閥開口以允許基板通過。當所述第二狹縫閥門處于所述關閉位置(例如，關閉狀態)時，所述第二可充氣密封件經定位以密封所述第二狹縫閥開口。

在又一個示例中，提供了一種真空腔室，所述真空腔室包括腔室主體、第一狹縫閥門、第一可充氣密封件和密封夾(seal clamp)。所述腔室主體具有頂部、底部和側壁。所述側壁具有至少形成在其中的第一狹縫閥開口。所述第一狹縫閥門可在關閉狀態與打開狀態之間移動。當處于所述打開狀態時，所述第一狹縫閥門脫離所述第一狹縫閥開口。所述第一可充氣密封件設置在所述第一狹縫閥門與所述腔室主體之間，并且包圍所述第一狹縫閥開口。所述第一可充氣密封件具有基部，所述基部通過頸部耦接至中空管狀部分。當所述第一狹縫閥門處于所述關閉狀態時，所述中空管狀部分在所述第一狹縫閥門與所述腔室主體之間提供密封。所述第一可充氣密封件的所述中空管狀部分具有小于約90肖氏A的硬度。所述密封夾具有凹部，所述凹部具有比所述中空管狀部分的寬度寬至少5％的寬度。所述凹部具有孔隙，所述頸部延伸穿過孔隙到可相對于所述基部側向地移動的中空管狀部分，當所述第一狹縫閥門處于所述關閉狀態時，所述凹部的寬度足以允許所述中空管狀部分在所述第一狹縫閥門相對于所述基部側向地移動時相對于所述基部滾動。

附圖說明