[發明專利]固態成像裝置及其制造方法和電子設備

在審

• 申請號: 201780051732.5
• 申請日: 2017-08-31
• 公開（公告）號: CN109661727A
• 公開（公告）日: 2019-04-19
• 發明（設計）人: 中食慎太郎;狹山征博
• 申請（專利權）人: 索尼半導體解決方案公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146;G02B5/20;G02B5/22;H04N9/07
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 姚鵬;曹正建

本發明涉及能夠抑制混色發生的固態成像裝置、固態成像裝置的制造方法和電子設備。所述固態成像裝置設置有布置在像素區域中的多個像素。每個像素都具有：設置在光電轉換單元上的第一光學濾波層；配置在第一光學濾波層上的第二光學濾波層；和用于針對各像素分隔第一光學濾波層的至少一部分的分隔壁。與至少一個所述像素對應的第一光學濾波層和第二光學濾波層中的一者由紅外截止濾波器形成，而另一者由濾色器形成。本發明能夠應用于設置有可見光像素的CMOS圖像傳感器。

技術領域

本發明涉及固態成像裝置、固態成像裝置的制造方法和電子設備，特別地，涉及能夠抑制混色發生的固態成像裝置、固態成像裝置的制造方法和電子設備。

背景技術

常規地，使用可見光進行成像和使用紅外光進行成像的固態成像裝置是已知的。

在這樣的固態成像裝置中，紅外光像素例如能夠通過疊加紅色(R)和藍色(B)濾色器而形成。在這種情況下，所有像素(可見光像素和紅外光像素)在波長為700nm或以上的紅外光區域中具有大致相同的透光率。因此，可見光像素和紅外光像素之間發生混色，從而顏色分離和S/N(信噪比)劣化。

同時，例如，專利文獻1公開了將紅外截止濾波器形成在可見光像素的濾色器的下方。該紅外截止濾波器由通過交替層疊具有高折射率的物質和具有低折射率的物質而獲得的多層干涉膜形成。

引用列表

專利文獻

專利文獻1：特開號為2009-158944的日本專利申請

發明內容

本發明要解決的技術問題

然而，在專利文獻1的紅外截止濾波器中，紅外光的透射分布依賴于入射角，或者步驟的數量增加從而提高工藝的難度。

鑒于上述情況做出本發明，本發明能夠在紅外光的透射分布不依賴于入射角的同時抑制像素之間發生混色，且步驟的數量不會提高導致工藝的難度增加。

技術問題的解決方案

本發明的固態成像裝置包括布置在像素區域中的多個像素。每個像素都具有：配置在光電轉換單元上的第一光學濾波層；配置在第一光學濾波層上的第二光學濾波層；和用于針對各像素分隔第一光學濾波層的至少一部分隔離的分隔壁。至少一個所述像素中的第一光學濾波層和第二光學濾波層中的一者由紅外截止濾波器形成，而另一者由濾色器形成。

根據本發明的固態成像裝置的制造方法是用于制造如下固態成像裝置的制造方法：所述固態成像裝置包括布置在像素區域中的多個像素，每個像素都具有：配置在光電轉換單元上的第一光學濾波層；配置在第一光學濾波層上的第二光學濾波層；和用于針對各像素分隔第一光學濾波層的至少一部分的分隔壁，所述方法包括：形成所述分隔壁；形成所述第一光學濾波層；以及形成所述第二光學濾波層，其中，至少一個所述像素中的第一光學濾波層和第二光學濾波層中的一者由紅外截止濾波器形成，而另一者由濾色器形成。

本發明的電子設備包括固態成像裝置，該固態成像裝置包括布置在像素區域中的多個像素，其中，每個像素都具有：配置在光電轉換單元上的第一光學濾波層；配置在第一光學濾波層上的第二光學濾波層；和用于針對各像素分離第一光學濾波層的至少一部分的分隔壁，且至少一個所述像素中的第一光學濾波層和第二光學濾波層中的一者由紅外截止濾波器形成，而另一者由濾色器形成。

本發明包括布置在像素區域中的多個像素。每個像素都具有：配置在光電轉換單元上的第一光學濾波層；配置在第一光學濾波層上的第二光學濾波層；和用于針對各像素分隔第一光學濾波層的至少一部分的分隔壁。至少一個所述像素中的第一光學濾波層和第二光學濾波層中的一者由紅外截止濾波器形成，而另一者由濾色器形成。

本發明的技術效果