[發明專利]固態成像裝置及其制造方法和電子設備

在審

• 申請號: 201780051732.5
• 申請日: 2017-08-31
• 公開（公告）號: CN109661727A
• 公開（公告）日: 2019-04-19
• 發明（設計）人: 中食慎太郎;狹山征博
• 申請（專利權）人: 索尼半導體解決方案公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146;G02B5/20;G02B5/22;H04N9/07
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 姚鵬;曹正建

1.一種固態成像裝置，其包括布置在像素區域中的多個像素，其中，

每個所述像素都具有：

配置在光電轉換單元上的第一光學濾波層；

配置在所述第一光學濾波層上的第二光學濾波層；和

用于針對各所述像素分隔所述第一光學濾波層的至少一部分的分隔壁，并且

至少一個所述像素中的所述第一光學濾波層和所述第二光學濾波層中的一者由紅外截止濾波器形成，而另一者由濾色器形成。

2.根據權利要求1所述的固態成像裝置，其中，

所述紅外截止濾波器由添加了有機或無機顏色材料的有機材料形成。

3.根據權利要求2所述的固態成像裝置，其中，

所述紅外截止濾波器具有如下光譜特性：透光率在700nm或以上的波長區域中為20％或以下。

4.根據權利要求3所述的固態成像裝置，其中，

所述紅外截止濾波器具有如下光譜特性：700nm或以上的波長區域中存在最大吸收波長。

5.根據權利要求1所述的固態成像裝置，其中，

所述紅外截止濾波器也形成在所述像素區域以外的區域中。

6.根據權利要求1所述的固態成像裝置，其中，

所述分隔壁由金屬膜和Si氧化物膜中的至少一者形成。

7.根據權利要求6所述的固態成像裝置，其中，

所述分隔壁包括折射率等于或低于所述濾色器的折射率的有機樹脂。

8.根據權利要求6所述的固態成像裝置，其中，

所述分隔壁包括含有填充物的有機樹脂。

9.根據權利要求6所述的固態成像裝置，其中，

所述分隔壁的高度至少為100nm或以上。

10.根據權利要求1所述的固態成像裝置，其中，

所述像素還包括用于針對各所述像素分隔所述光電轉換單元的其它分隔壁。

11.根據權利要求10所述的固態成像裝置，其中，

所述其它分隔壁與所述分隔壁一體化地形成。

12.根據權利要求1所述的固態成像裝置，所述固態成像裝置僅包括可見光像素作為多個所述像素。

13.根據權利要求1所述的固態成像裝置，所述固態成像裝置包括可見光像素和紅外光像素作為多個所述像素，其中，

所述可見光像素的所述第一光學濾波層和所述第二光學濾波層中的一者由紅外截止濾波器形成，而另一者由濾色器形成。

14.根據權利要求13所述的固態成像裝置，其中，

所述紅外光像素的所述第一光學濾波層和所述第二光學濾波層均由透過紅外光的濾色器形成。

15.根據權利要求14所述的固態成像裝置，其中，

所述紅外光像素中的兩層所述濾色器具有如下光譜特性：透光率在400至700nm的波長區域中為20％或以下，且透光率在700nm或以上的波長區域中為80％。

16.根據權利要求15所述的固態成像裝置，其中，

所述第一光學濾波層和所述第二光學濾波層是同一類型的濾色器。

17.根據權利要求15所述的固態成像裝置，其中，

所述第一光學濾波層和所述第二光學濾波層是不同類型的濾色器。