[發明專利]卷對卷方式的表面處理裝置及使用它的成膜方法及成膜裝置

有效

• 申請號: 201780051663.8
• 申請日: 2017-08-23
• 公開（公告）號: CN109661480B
• 公開（公告）日: 2021-08-03
• 發明（設計）人: 大上秀晴
• 申請（專利權）人: 住友金屬礦山股份有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C16/54;H05K3/00;H05K3/16
• 代理公司: 北京戈程知識產權代理有限公司 11314
• 代理人: 程偉;王錦陽

1.一種卷對卷方式的表面處理裝置，其具有：至少2個罐狀輥，其等將于真空室內以卷對卷方式搬送的長條基材卷繞至外周面并利用循環于內部的冷媒使其冷卻；及表面處理手段，其設置于與上述罐狀輥的外周面對向的位置；其特征在于：

上述至少2個罐狀輥中，除位于最上游側的罐狀輥以外的至少1個罐狀輥具備自外周面釋放氣體的氣體釋放機構，上述位于最上游側的罐狀輥與位于其緊鄰的下游側的罐狀輥之間設置有張力截止用的驅動輥。

2.根據權利要求1所述的卷對卷方式的表面處理裝置，其中，具有上述氣體釋放機構的罐狀輥于其外周厚壁部于圓周方向上隔開大致均等的間隔地遍及全周具有沿旋轉軸方向延伸的多個氣體導入路，所述多個氣體導入路的每一個具有沿該旋轉軸方向以大致均等的間隔向外周面側開口的多個氣體釋放孔，并且具備于位于罐狀輥的外周面中未卷繞有上述長條基材的非包覆部時使氣體停止的機構。

3.一種卷對卷方式的成膜裝置，其中，根據權利要求1或2所述的表面處理手段為干式成膜手段。

4.根據權利要求3所述的卷對卷方式的成膜裝置，其中，上述干式成膜手段為濺鍍陰極。

5.一種卷對卷方式的表面處理方法，是一面于真空室內以卷對卷方式搬送長條基材，并將該長條基材卷繞至內部循環有冷媒的2個以上的罐狀輥的外周面使其冷卻，一面通過設置于與該外周面對向的位置的表面處理手段對該長條基材實施表面處理，其特征在于：

于上述2個以上的罐狀輥中除位于最上游側的罐狀輥以外的至少1個罐狀輥，一面自外周面釋放氣體一面實施該表面處理；及通過設置于上述位于最上游側的罐狀輥與位于其緊鄰的下游側的罐狀輥之間的驅動輥進行張力截止。

6.根據權利要求5所述的卷對卷方式的表面處理方法，其中，上述表面處理為產生熱負荷的處理，上述自外周面釋放氣體的罐狀輥于其外周厚壁部于圓周方向上隔開大致均等的間隔地遍及全周具有沿旋轉軸方向延伸的多個氣體導入路，所述多個氣體導入路的每一個具有沿該旋轉軸方向以大致均等的間隔向外周面側開口的多個氣體釋放孔，并且具備于位于罐狀輥的外周面中未卷繞有上述長條基材的非包覆部時使氣體停止的機構。

7.一種卷對卷方式的成膜方法，其中，根據權利要求5或6所述的表面處理為干式成膜處理。

8.根據權利要求7所述的卷對卷方式的成膜方法，其中，上述干式成膜處理為濺鍍成膜。