[發(fā)明專利]使用雙側(cè)硅化的襯底觸點

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201780051404.5
• 申請日: 2017-07-18
• 公開（公告）號: CN109690756A
• 公開（公告）日: 2019-04-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: P·W·樓;S·格科特佩里
• 申請（專利權(quán)）人: 高通股份有限公司
• 主分類號: H01L21/768
• 分類號: H01L21/768;H01L23/48
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 王茂華;呂世磊

1.一種集成電路器件，包括：

前側(cè)觸點，被耦合到前側(cè)金屬化層；以及

第一背側(cè)觸點，被耦合到第一背側(cè)金屬化層，所述前側(cè)觸點直接耦合到所述第一背側(cè)觸點。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路器件，其中所述前側(cè)觸點位于擴散區(qū)域的前側(cè)上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路器件，其中所述第一背側(cè)觸點位于擴散區(qū)域的背側(cè)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路器件，進一步包括：第二背側(cè)觸點，被耦合到第二背側(cè)金屬化層，所述第二背側(cè)觸點直接耦合到所述前側(cè)觸點。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路器件，其中所述前側(cè)觸點包括前側(cè)硅化物，并且所述第一背側(cè)觸點包括背側(cè)硅化物。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路器件，其中所述前側(cè)金屬化層和所述第一背側(cè)金屬化層彼此直接相對。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路器件，其中所述前側(cè)金屬化層和所述第一背側(cè)金屬化層彼此偏移。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路器件，被集成到RF前端模塊中，所述RF前端模塊被并入到音樂播放器、視頻播放器、娛樂單元、導(dǎo)航設(shè)備、通信設(shè)備、個人數(shù)字助理(PDA)、固定位置數(shù)據(jù)單元、移動電話以及便攜式計算機中的至少一項中。

9.一種構(gòu)造集成電路的方法，包括：

制造由犧牲性襯底上的隔離層支撐的器件；

在所述隔離層上沉積前側(cè)接觸層；

在所述器件上的前側(cè)電介質(zhì)層中制造前側(cè)金屬化層，所述前側(cè)金屬化層被耦合到所述前側(cè)接觸層；

將處理襯底接合到所述器件上的所述前側(cè)電介質(zhì)層；

移除所述犧牲性襯底；

在所述器件的半導(dǎo)體層上沉積背側(cè)接觸層，所述背側(cè)接觸層與所述前側(cè)接觸層接觸；以及

在支撐所述隔離層的背側(cè)電介質(zhì)層中制造背側(cè)金屬化層，所述背側(cè)金屬化層與所述前側(cè)金屬化層遠離地被耦合到所述背側(cè)接觸層。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中沉積所述背側(cè)接觸層包括：

圖案化所述半導(dǎo)體層以暴露所述隔離層的預(yù)定部分；以及

在經(jīng)圖案化的半導(dǎo)體層內(nèi)和所述隔離層的所暴露的預(yù)定部分上沉積硅化物，以形成所述背側(cè)接觸層。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中制造所述背側(cè)金屬化層包括：

在所述背側(cè)接觸層上沉積第一背側(cè)金屬化材料，以形成至少一個背側(cè)金屬化插塞；

在所述至少一個背側(cè)金屬化插塞上沉積第二背側(cè)金屬化材料；以及

在所述半導(dǎo)體層和所述背側(cè)金屬化層上沉積所述背側(cè)電介質(zhì)層。

12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中制造所述前側(cè)金屬化層包括：

圖案化所述前側(cè)電介質(zhì)層，以暴露所述前側(cè)接觸層的預(yù)定部分；

在經(jīng)圖案化的前側(cè)電介質(zhì)層內(nèi)和所述前側(cè)接觸層的所暴露的預(yù)定部分上沉積第一前側(cè)金屬化材料，以形成至少一個前側(cè)金屬化插塞；以及

在所述至少一個前側(cè)金屬化插塞上沉積第二前側(cè)金屬化材料，以形成所述前側(cè)金屬化層。

13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中接合所述處理襯底進一步包括：

在所述前側(cè)電介質(zhì)層上沉積陷阱富集層；以及

將所述處理襯底接合到所述陷阱富集層。

14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，進一步包括將所述集成電路集成到RF前端模塊中，所述RF前端模塊被并入到音樂播放器、視頻播放器、娛樂單元、導(dǎo)航設(shè)備、通信設(shè)備、個人數(shù)字助理(PDA)、固定位置數(shù)據(jù)單元、移動電話以及便攜式計算機中的至少一項中。