[發明專利]用于基板的傳輸系統和加工系統

在審

• 申請號: 201780048605.X
• 申請日: 2017-08-01
• 公開（公告）號: CN109689541A
• 公開（公告）日: 2019-04-26
• 發明（設計）人: 弗洛里安·瓦姆斯勒;阿希姆·阿諾德;克勞斯·奧佩爾特
• 申請（專利權）人: 亞席斯自動化系統有限公司
• 主分類號: B65G47/64
• 分類號: B65G47/64;B65G47/52;B65G47/91;H01L21/683;B65G21/20;B65G47/14;H01L21/677;H01L21/67;B65G51/02
• 代理公司: 北京市磐華律師事務所 11336
• 代理人: 董巍;時永紅

本發明涉及一種用于基板(19)，尤其是晶片、太陽能電池、電路板等的傳輸系統(1)，具有：用于保持和傳輸基板(19)的第一裝置(4)，其具有抓取頭(6)，抓取頭在其下側(10)上具有至少一個用于放置基板的第一支承面(11)和至少一個將基板相對于該支承面吸附的抽吸裝置(8)；用于保持和傳輸基板的第二裝置(5)，其具有至少一個第二支承面(18)，基板置于第二支承面上；以及用于將基板從第二支承面移動至第一支承面的機構(20)。該機構具有至少一個設置在第二支承面下方的壓縮空氣噴嘴(21)，使得由壓縮空氣噴嘴產生的/可產生的壓縮空氣流朝向位于第二支承面上的基板的方向流動，以將基板朝向第一支承面的方向升高。

技術領域

本發明涉及一種用于基板的，尤其是晶片、太陽能電池、電路板等的傳輸系統，所述傳輸系統具有：用于保持和傳輸所述基板的第一裝置，該第一裝置具有抓取頭(Greifkopf)，所述抓取頭在其下側上具有用于放置基板的至少一個第一支承面和至少一個抽吸裝置，以用于將所述基板相對于支承面吸附；和用于保持和傳輸所述基板的第二裝置，所述第二裝置具有至少一個第二支承面，所述基板置于所述第二支承面上；以及用于將所放置的基板從第二支承面移動至第一支承面的機構。

此外，本發明涉及一種用于基板，尤其是晶片、太陽能電池、電路板等的加工系統，所述加工系統具有：用于處理或加工所述基板的至少一個工作站或加工站；和至少一個上述類型的傳輸系統，所述傳輸系統例如用于將基板從一個加工站帶到另一加工站。

背景技術

本文開始所述類型的傳輸系統在現有技術中是已知的。在批量生產的情況下，基板不是手動地從一個加工站運送到下一加工站，而是自動化地運送。因此，要可靠地確保在制造工藝中對清潔和保養的要求。為了在傳輸時不損壞基板，尤其需要能夠實現傳輸基板的裝置，通過該裝置不會損壞基板。因此，為了進行傳輸例如常見的是，使能夠放置基板的支承面構成為可移動的，以將基板從加工位置移動到傳輸位置或轉移位置。在此通常使用傳輸帶或傳送帶，可將基板置于其上并運送穿過加工站。由于基板簡單地放置在傳輸帶上，避免了可能會損壞基板的保持力。為了防止基板脫離傳送帶，還已知的是，在需要時設定負壓，所述負壓使基板吸附在支承面上。通過負壓避免了對基板施加機械力并且仍能確保保持。

以負壓進行工作也在下述裝置中得到證實，所述裝置從上方抓取基板，其方式為：所述裝置將基板吸附在抓取頭的支承面上。如果抓取頭隨后移動，則基板能夠以簡單的方從一個加工站移動到下一加工站。為了將基板從一個裝置轉移到另一裝置，已知的是，將抓取頭位移或放置在基板上，以抓取基板。如果所描述的裝置一起工作，那么能夠以簡單的方式提供傳輸系統，該傳輸系統使得能夠可靠地通過具有多個加工站的加工系統對基板進行加工并進行傳輸。

發明內容

本發明的目的是，對本文開始提及類型的傳輸系統進行改進，使得能夠安全且低成本地將基板從第一裝置轉移到第二裝置。