[發(fā)明專利]用于抓取和運輸基底的裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201780047504.0
• 申請日: 2017-07-28
• 公開（公告）號: CN109690754A
• 公開（公告）日: 2019-04-26
• 發(fā)明（設計）人: 弗洛里安·瓦姆斯勒;阿希姆·阿諾德;克勞斯·奧佩爾特
• 申請（專利權(quán)）人: 亞席斯自動化系統(tǒng)有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/677;B65G21/20;B65G17/32;B65H5/22;H01L21/67
• 代理公司: 北京市磐華律師事務所 11336
• 代理人: 董巍;時永紅

1.一種用于抓取和運輸基底，尤其晶片、太陽能電池、電路板等的裝置(1)，所述裝置具有抓取頭(2)，所述抓取頭具有形成用于放置到基底上的支承面(29)的至少一個運輸帶(16)，其中，所述運輸帶(16)在所述抓取頭(2)的下側(cè)上沿著滑動面(15)被引導，以及其中，所述抓取頭(2)具有用于將所述基底吸附到所述支承面(29)上的抽吸裝置，其特征在于，所述滑動面(15)構(gòu)造成向下彎曲的。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述彎曲在整個滑動面(15)上延伸。

3.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的裝置，其特征在于，如此構(gòu)造所述彎曲，所述彎曲使所述運輸帶(16)在所述滑動面(15)的整個長度上相對于所述滑動面(15)預緊。

4.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的裝置，其特征在于，所述滑動面(15)在所述抓取頭(2)的支承結(jié)構(gòu)(3)的整個下側(cè)上延伸。

5.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的裝置，其特征在于，所述運輸帶(16)在至少兩個轉(zhuǎn)向滾輪(18、19)上被引導，所述至少兩個轉(zhuǎn)向滾輪分別對應所述滑動面(15)的一個端部。

6.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的裝置，其特征在于，為所述轉(zhuǎn)向滾輪(18、19)中的至少一個配備驅(qū)動機構(gòu)(20)。

7.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的裝置，其特征在于，所述支承結(jié)構(gòu)(3)具有至少一個真空腔(10、11、12)，所述真空腔在流動技術上在一端與所述抽吸裝置的至少一個文丘里噴嘴(6)的抽吸接頭連接并且在另一端與為所述運輸帶(16)配備的多個抽吸口(22)連接。

8.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的裝置，其特征在于，所述抽吸口(22)構(gòu)造在所述運輸帶(16)上，其中，所述支承結(jié)構(gòu)(3)具有通道開口(14)，所述通道開口從所述滑動面(15)引至所述真空腔(10、11、12)。

9.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的裝置，其特征在于，所述通道開口(14)通入所述滑動面(15)中的縱向槽(21)中，所述縱向槽位于所述運輸帶(16)之下，其中，所述抽吸口(22)構(gòu)造在所述運輸帶(16)中在縱向槽(21)的區(qū)域中。

10.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的裝置，其特征在于，所述運輸裝置(16)具有至少兩個、尤其是剛好兩個運輸帶(16)，所述運輸帶彼此平行且彼此間隔開地布置在所述抓取頭(2)上。