[發明專利]掩模保持裝置

有效

• 申請號: 201780041192.2
• 申請日: 2017-07-12
• 公開（公告）號: CN109417046B
• 公開（公告）日: 2022-11-25
• 發明（設計）人: 米澤良
• 申請（專利權）人: 株式會社V技術
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 肖茂深

1.一種掩模保持裝置，其特征在于，具備：

平臺；

掩模保持部，其具有沿鉛垂方向保持作為被檢查對象的掩模的框狀的框架、及使所述框架旋轉的旋轉機構；以及

移動部，其載置于所述平臺，并且載置有所述掩模保持部，該移動部設置為能夠沿所述平臺的長度方向移動，

所述旋轉機構具有在所述框架的位于下側的框部分的兩端附近設置的第一螺母構件及第二螺母構件、與所述第一螺母構件及所述第二螺母構件分別螺合的第一螺釘構件及第二螺釘構件、以及使所述第一螺釘構件與所述第二螺釘構件旋轉不同的量的旋轉驅動部，

在所述移動部沿鉛垂方向設置有第一銷及第二銷，

所述第一螺釘構件在所述第一銷的上方設置在俯視觀察時與所述第一銷重疊的位置，

所述第二螺釘構件在所述第二銷的上方設置在俯視觀察時與所述第二銷重疊的位置。

2.根據權利要求1所述的掩模保持裝置，其特征在于，

在所述框架的側面設置有用于使光向入射方向返回的反射鏡，

所述旋轉驅動部具有致動器、與所述第一螺釘構件同軸地設置且使所述第一螺釘構件旋轉的第一鏈輪、與所述第二螺釘構件同軸地設置且使所述第二螺釘構件旋轉的第二鏈輪、致動器的驅動軸、以及將所述第一鏈輪及所述第二鏈輪連結的動力傳遞部，

在俯視觀察時，在將所述反射鏡與所述第二螺釘構件的距離設為距離A，將所述反射鏡與所述第一螺釘構件的距離設為距離B時，所述第一鏈輪的齒數α與所述第二鏈輪的齒數β具有齒數α：齒數β＝距離A：距離B的關系。

3.根據權利要求1或2所述的掩模保持裝置，其特征在于，

在所述平臺的上表面形成有沿著所述平臺的長度方向的槽，

所述移動部具有朝向所述槽的底面噴出空氣的下面氣囊、朝向所述槽的側面噴出空氣的側面氣囊、以及供所述下面氣囊及所述側面氣囊設置的移動構件主體，

所述第一銷及所述第二銷的下端設置于所述下面氣囊，且上端設置于所述移動構件主體，

所述第一螺釘構件及所述第二螺釘構件的下端設置于所述移動構件主體，

所述移動構件主體沿所述槽移動。

4.根據權利要求3所述的掩模保持裝置，其特征在于，

所述下面氣囊具有在所述移動構件主體的第一端附近設置的第一下面氣囊、以及在所述移動構件主體的與所述第一端相反一側的第二端附近設置的第二下面氣囊，

在所述第一下面氣囊的底面中央部形成有噴出空氣的第一開口部，

在所述第二下面氣囊的底面中央部形成有噴出空氣的第二開口部，

所述第一螺釘構件及所述第一銷設置在俯視觀察時與所述第一開口部重疊的位置，

所述第二螺釘構件及所述第二銷設置在俯視觀察時與所述第二開口部重疊的位置。

5.根據權利要求3所述的掩模保持裝置，其特征在于，

在所述移動構件主體的上表面側分別設置有第一角接觸球軸承和第二角接觸球軸承，所述第一角接觸球軸承設置在其中心軸與所述第一銷一致的位置，所述第二角接觸球軸承設置在其中心軸與所述第二銷一致的位置，

所述第一螺釘構件的下端被軸支承于所述第一角接觸球軸承，所述第二螺釘構件的下端被軸支承于所述第二角接觸球軸承。

6.根據權利要求1或2所述的掩模保持裝置，其特征在于，

所述掩模保持裝置具有使所述移動部沿所述平臺的長度方向移動的第一直線電動機、以及追隨所述第一直線電動機而驅動的第二直線電動機，

在所述移動部設置有所述第一直線電動機的可動件，

在所述框架的上側以相對于水平方向傾斜的方式設置有引導構件，

在所述引導構件以能夠沿所述引導構件移動的方式設置有所述第二直線電動機的可動件，并且設置有使所述第二直線電動機的可動件相對于所述引導構件固定的固定構件。