[發明專利]液體材料吐出裝置、其涂布裝置及涂布方法

有效

• 申請號: 201780034025.5
• 申請日: 2017-05-25
• 公開（公告）號: CN109311043B
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發明（設計）人: 生島和正
• 申請（專利權）人: 武藏工業株式會社
• 主分類號: B05C5/00
• 分類號: B05C5/00;B05C11/10;B05D1/26
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

本發明提供一種液體材料吐出裝置及方法，其可在負壓環境下，抑制因桿的上升動作而引起的氣泡的產生。提供一種液體材料吐出裝置及方法，其解決因閥桿前端或閥座的磨損造成利用閥桿前端的關閉變得不充分而產生的液體材料的泄漏的問題。一種液體材料吐出裝置，具備：貯存容器；壓縮氣體供給源，其對貯存容器進行加壓；噴嘴，其具備吐出流路；進行往返動作的閥桿；致動器，其驅動閥桿；閥座，其具有與吐出流路連通的連通孔；及吐出控制裝置，其控制致動器并以閥桿的前端開閉連通孔；且在負壓空間內使用，上述吐出控制裝置通過將利用上述致動器的閥桿的上升時的加速時間(Au)控制在2～300[ms]的范圍內，從而防止伴隨著閥桿的上升的氣泡的產生。

技術領域

本發明涉及一種在負壓環境下吐出液體材料的裝置及方法。本說明書中的“負壓環境”包含真空環境。

背景技術

在對安裝有半導體部件等的基板涂布液狀的樹脂(液體材料)的工序(例如，封裝(potting)或底部填充(underfill)等)中，若液體材料中存在有氣泡，則帶來吐出量不均勻、涂布形狀或涂布位置不一定(描繪線散亂)、氣泡與吐出同時地被排出并使液體材料飛濺的、多余的液體附著于噴嘴的吐出口周邊等、各種不良影響。

作為用于消除這些氣泡的不良影響的方法，具有將液體材料放置于真空環境下進行脫氣等的方法。進行脫氣的最普通的方法是在進行作業之前，將用于實際作業的貯存有液體材料的容器(注射器)直接放入其它的密閉容器之中，通過對密閉容器內進行真空抽吸而進行液體材料的脫氣的方法。此外，作為其他的方法，提出了一種涂布裝置，其將進行涂布的空間本身作為密閉空間，且通過對內部進行真空吸引而進行液體材料的脫氣。

例如，專利文獻1是如下涂布裝置：在具備收納液體材料并自吐出口吐出液體材料的收納吐出部，且對涂布對象物涂布液體材料的液體材料涂布裝置中，具備：涂布空間，其至少包圍收納吐出部及涂布對象物；及排氣系統，其將涂布空間設為負壓狀態，將涂布空間設為負壓狀態而自收納吐出部對涂布對象物吐出液體材料。

此外，專利文獻2是如下涂布裝置：是將供給液狀樹脂的被涂布品配置于真空室內，且在真空下自供給液狀樹脂的分配器朝被涂布品的規定位置供給液狀樹脂的真空涂布裝置，由容納且支撐被涂布品的第1容器部分、及安裝分配器的噴嘴的第2容器部分構成容納被涂布品的真空腔室，且將第1容器部分及第2容器部分設為不破壞真空腔室的氣密狀態且在X-Y平面內相對地可動，且在真空腔室的外部設置X-Y驅動部，該X-Y驅動部使第1及第2容器部分的至少一者在X-Y平面內移動且使被涂布品與噴嘴的相對的平面位置為可變。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2005-211874號公報

專利文獻2：日本特開2007-111862號公報

發明內容

發明所要解決的技術問題

在負壓空間內配置吐出裝置進行涂布作業的情況下，在具備往返動作的閥桿(柱塞)的吐出裝置中，由于閥桿的上升動作，桿前端附近的液體壓力降低，從而產生了會產生氣泡這樣的問題。若在閥桿前端附近產生氣泡，則產生因上述氣泡而引起的描繪線的散亂或吐出時的液體材料的飛濺等問題。

因此，本發明的目的在于，提供一種液體材料吐出裝置及方法，其可在負壓環境下，抑制因桿的上升動作而引起的氣泡的產生。

此外，本發明的目的在于，提供一種液體材料吐出裝置及方法，其解決因閥桿前端或閥座的磨損造成利用閥桿前端的關閉變得不充分而產生的液體材料的泄漏的問題。

解決問題的技術手段