[發明專利]用于襯底容器的閂鎖機構

有效

• 申請號: 201780031745.6
• 申請日: 2017-05-26
• 公開（公告）號: CN109463006B
• 公開（公告）日: 2023-07-04
• 發明（設計）人: R·V·拉施克;J·T·斯蒂芬斯
• 申請（專利權）人: 恩特格里斯公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 顧晨昕

本發明揭示一種襯底容器，其利用閂鎖機構中由旋轉凸輪致動的搖臂連桿或線性凸輪布置。所述搖臂連桿或線性凸輪被安裝到所述襯底容器的門的內部面板，且可被安置靠近所述內部面板的邊緣部分。所述搖臂連桿或線性凸輪可經配置以在所述襯底容器的外殼上施加軸向力分量，以將所述門設置抵靠密封部件。所述搖臂連桿或線性凸輪還將所述軸向閂鎖力傳遞到所述門以減少力到所述凸輪的傳遞。所述搖臂連桿或線性凸輪可經布置以當接合所述閂鎖機構時，在徑向向外方向上傳遞軸向力，以防止回推于所述旋轉凸輪上。

技術領域

本申請案大體上涉及襯底容器，且更具體地涉及用于襯底容器的閂鎖機構。

背景技術

襯底容器(例如標準機械接口(SMIF)盒、前開式運輸盒(FOSB)及前開式晶片傳送盒(FOUP))通常包含安裝到容器或殼體以使容器封閉的門。所述門通常配備有凸輪致動閂鎖機構，其致動安置在所述門中的閂鎖以接合所述容器上的門架。密封件安置在所述門與所述容器之間、通常安裝到所述門或所述容器，以隔離界定在封閉容器內的微觀環境。

由密封部件提供的密封特別是在運輸及搬運期間且最特別是在沖擊事件期間(例如，當襯底容器意外掉落或以其它方式震動時)遭遇裂損。阻止密封件在運輸及搬運期間裂損的襯底容器將是受歡迎的。

發明內容

本發明揭示了一種具有凸輪致動的凸輪機構的襯底容器，當所述襯底容器的門閂鎖到所述襯底容器的外殼時，所述凸輪機構在所述門與所述外殼之間施加密封力，并同時將力傳遞遠離所述凸輪。因此，減少歸因于運輸及搬運期間誘發的意外力引起的密封件裂損及閂鎖機構意外打開。

所述閂鎖機構包含完成所述力傳遞的搖臂連桿。所述搖臂連桿安裝到所述襯底容器的門的內部面板且可安置靠近所述內部面板的邊緣部分。所述搖臂連桿經配置以在所述襯底容器的外殼上施加軸向力分量以將所述門設置抵靠密封部件。所述搖臂連桿還將軸向閂鎖力(包含所述門上在運輸及搬運期間所遭遇的軸向力)傳遞到所述門以減少力到所述凸輪的傳遞。

在結構上，揭示了根據本發明的各個實施例的襯底容器，其包含具有圍繞中心軸界定開口的框架的外殼。門經配置以安裝在所述門架的所述開口內且包含內部面板，當所述門安裝到所述門架時所述內部面板與所述外殼協作以界定所述襯底容器的內部腔室，所述內部面板界定周邊。閂鎖機構容置在所述門內且包含可圍繞凸輪軸旋轉的旋轉凸輪；包含凸輪從動件及閂鎖尖端的閂鎖板，所述凸輪從動件耦合到所述旋轉凸輪；耦合到所述閂鎖板靠近所述閂鎖尖端的搖臂連桿，所述搖臂連桿包含耦合到所述門的所述內部面板的第一樞軸及耦合到所述閂鎖板的第二樞軸。所述閂鎖機構可從其中所述閂鎖尖端從所述門架徑向插入的縮回配置延伸到其中所述閂鎖尖端延伸到所述門架中的延伸配置。所述搖臂連桿將所述閂鎖尖端在第一方向及第二方向上旋轉以將所述閂鎖尖端與所述外殼的所述門架接合的構件，所述第一方向遠離所述內部面板且平行于所述中心軸，所述第二方向從所述凸輪軸徑向向外。

在一些實施例中，所述閂鎖尖端在所述外殼的所述框架上施加平行于所述中心軸的軸向力以將所述門設置在所述框架內。在一個實施例中，平行于所述中心軸的所述力的至少80％經由所述搖臂連桿傳遞到所述門的所述內部面板。在一些實施例中，平行于所述中心軸的所述力的至少90％經由所述搖臂連桿傳遞到所述門的所述內部面板。在一些實施例中，所述搖臂連桿界定穿過所述第一樞軸的中心及所述第二樞軸的中心的搖臂軸，當所述閂鎖機構在所述延伸配置中時所述搖臂軸是在垂直于所述門面板的10度內。當所述閂鎖機構在所述延伸配置中時所述第二樞軸可相對于所述第一樞軸朝所述內部面板的邊緣部分傾斜，所述邊緣部分是所述內部面板的所述周邊處的多個邊緣部分中的最靠近邊緣部分。在一些實施例中，所述門開口的中心軸與所述凸輪軸基本上同心。在一些實施例中，所述襯底容器是底部開口盒，例如光罩托架。在一些實施例中，所述襯底容器是前開式容器。

附圖說明

圖1是處于縮回配置中的常規閂鎖機構的截面圖。

圖2是處于延伸配置中的圖1的常規閂鎖機構的截面圖。