[發明專利]用于襯底容器的閂鎖機構

有效

• 申請號: 201780031745.6
• 申請日: 2017-05-26
• 公開（公告）號: CN109463006B
• 公開（公告）日: 2023-07-04
• 發明（設計）人: R·V·拉施克;J·T·斯蒂芬斯
• 申請（專利權）人: 恩特格里斯公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 顧晨昕

1.一種襯底容器，其包括：

外殼，其包含圍繞中心軸界定開口的門架；

門，其經配置以安裝在所述門架的所述開口內且包含內部面板，當所述門被安裝到所述門架時，所述內部面板與所述外殼協作以界定所述襯底容器的內部腔室，所述內部面板界定周邊；及

閂鎖機構，其被容置在所述門內，其包含：

旋轉凸輪，其可圍繞凸輪軸旋轉；

閂鎖板，其包含凸輪隨動件及閂鎖尖端，所述凸輪隨動件耦合到所述旋轉凸輪；

搖臂連桿，其耦合到靠近所述閂鎖尖端的所述閂鎖板，所述搖臂連桿包含耦合到所述門的所述內部面板的第一樞軸及耦合到所述閂鎖板的第二樞軸，所述閂鎖機構可從其中所述閂鎖尖端從所述門架徑向插入的縮回配置延伸到其中所述閂鎖尖端延伸到所述門架中的延伸配置，所述搖臂連桿將所述閂鎖尖端以遠離所述內部面板且平行于所述中心軸的第一方向及以從所述凸輪軸徑向向外的第二方向旋轉，以將所述閂鎖尖端與所述外殼的所述門架接合。

2.根據權利要求1所述的襯底容器，其中：

所述閂鎖尖端在所述外殼的所述門架上施加平行于所述中心軸的軸向力以將所述門設置在所述門架內。

3.根據權利要求2所述的襯底容器，其中由所述閂鎖板施加在所述旋轉凸輪上的力小于由所述閂鎖尖端施加在所述外殼的所述門架上的所述軸向力的20％。

4.根據權利要求1所述的襯底容器，其中所述搖臂連桿界定穿過所述第一樞軸的中心及所述第二樞軸的中心的搖臂軸，當所述閂鎖機構在所述延伸配置中時，所述搖臂軸是在垂直于所述門面板的10度內。

5.根據權利要求4所述的襯底容器，其中當所述閂鎖機構在所述延伸配置中時，所述第二樞軸相對于所述第一樞軸朝所述內部面板的邊緣部分傾斜，所述邊緣部分是所述內部面板的所述周邊處的多個邊緣部分中的最靠近邊緣部分。

6.根據權利要求1所述的襯底容器，其包括有間隙地被安置在所述門與所述門架之間的密封部件，其中所述第一樞軸與所述密封部件的部分基本上是軸向對準。

7.根據權利要求1所述的襯底容器，其中所述中心軸與所述凸輪軸基本上是同心。

8.根據權利要求1所述的襯底容器，其中所述襯底容器是底部開口盒。

9.根據權利要求8所述的襯底容器，其中所述底部開口盒是光罩托架。

10.根據權利要求1所述的襯底容器，其中所述閂鎖板界定V形狀。

11.一種襯底容器，其包括：

外殼，其包含圍繞中心軸界定開口的門架；

門，其經配置以安裝在所述門架的所述開口內且包含內部面板，當所述門被安裝到所述門架時，所述內部面板與所述外殼協作以界定所述襯底容器的內部腔室，所述內部面板界定周邊；

第一線性凸輪，其包含第一斜部及第一保持部，所述第一線性凸輪在遠離所述內部腔室的方向上從所述內部面板延伸；及

閂鎖機構，其被容置在所述門內，其包含：

旋轉凸輪，其可圍繞凸輪軸旋轉；及

閂鎖板，其包含凸輪隨動件及閂鎖尖端，所述凸輪隨動件耦合到所述旋轉凸輪，所述閂鎖板包含具有第二斜部及第二保持部的第二線性凸輪，

所述閂鎖機構可從其中所述閂鎖尖端從所述門架徑向插入的縮回配置延伸到其中所述閂鎖尖端延伸到所述門架中的延伸配置，所述第一斜部滑動越過所述第二斜部，以將所述閂鎖尖端以遠離所述內部面板且平行于所述中心軸的第一方向及以從所述凸輪軸徑向向外的第二方向偏轉，以將所述閂鎖尖端與所述外殼的所述門架接合，

其中當處于所述延伸配置中時，所述第一線性凸輪的所述第一保持部與所述第二線性凸輪的所述第二保持部接合。

12.根據權利要求11所述的襯底容器，其中所述第一斜部界定第一斜坡斜率，且所述第一保持部界定第一保持斜率，所述第一斜坡斜率與所述第一保持斜率分開一個頂點。