[發明專利]用于合成氧化鋅(ZnO)的方法和/或系統

有效

• 申請號: 201780031214.7
• 申請日: 2017-04-13
• 公開（公告）號: CN109415809B
• 公開（公告）日: 2022-06-17
• 發明（設計）人: 雅各布·J·理查森;埃萬·C·奧哈拉
• 申請（專利權）人: 首爾半導體股份有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C23C18/06;C23C14/08;H01L21/02;H01L21/673
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 章蕾

簡要地描述了用于合成氧化鋅的系統和/或方法的實施例，包含腔室外殼、晶片襯底固持器、流體處理系統和用于實施的序列。所述腔室外殼具有類圓柱形形狀和大小被設定為收納和包封所述晶片襯底固持器的腔，加熱氧化鋅形成生長溶液。

相關申請

本PCT申請主張以下的權益和優先權：于2016年4月14日提交的題為“METHOD AND/OR SYSTEM FOR SYNTHESIS OF ZINC OXIDE(ZnO)(用于合成氧化鋅(ZnO)的方法和/或系統)”的美國非臨時專利申請序列號15/099,573；于2016年4月14日提交的題為“METHODAND/OR SYSTEM FOR SYNTHESIS OF ZINC OXIDE(ZnO)(用于合成氧化鋅(ZnO)的方法和/或系統)”的美國非臨時專利申請序列號15/099,575；于2016年4月14日提交的題為“METHODAND/OR SYSTEM FOR SYNTHESIS OF ZINC OXIDE(ZnO)(用于合成氧化鋅(ZnO)的方法和/或系統)”的美國非臨時專利申請序列號15/099,580，所述美國非臨時專利申請通過引用以其全文結合在本文中。

技術領域

本公開涉及氧化鋅(ZnO)的合成，如經由生長和/或沉積工藝。

背景技術

在實驗室中，ZnO可以如經由涉及相對低溫水溶液來合成。合成ZnO的能力可以是有用的，如作為一個非限制性實例用于制造氮化鎵(GaN)型發光二極管(LED)的透明導電接觸。然而，用在工業情形下如用于更高批量生產的更經濟的合成工藝仍有待開發。

附圖說明

本說明書的結論部分中特別指出并明確主張了所主張主題。然而，關于操作組織和/或方法以及其目標、特征和/或優點，在與附圖一起閱讀時可以通過參考下面的詳細描述來最佳地理解，在附圖中：

圖1是腔室外殼和晶片襯底固持器的實施例的側視圖圖示；

圖2是圖1的實施例的等距視圖圖示；

圖3是包含腔室外殼的能夠用于合成氧化鋅的流體處理系統(FHS)的實施例的示意圖；

圖4是高位示出用于合成氧化鋅的工藝的實施例的流程圖；

圖5到13是更加詳細地示出圖4的實施例的特定操作的特定實施例的流程圖；

圖14是示出如可以用于控制系統如以便引導用于合成氧化鋅的工藝的實施例的計算裝置的實施例的示意圖。

下面的詳細描述中參考了形成其一部分的附圖，其中自始至終相似標號可以指代相應和/或類似的相似部分。應了解，如為了說明的簡明和/或清楚，附圖不一定按比例繪制。例如，一些方面的尺寸可能相對于其它方面被放大。進一步地，應理解，可以利用其它實施例。此外，可以在不脫離所主張主題的情況下做出結構和/或其它改變。貫穿本說明書，提及“所主張主題”是指旨在一或多個權利要求或其任何部分所涵蓋的主題，并且不一定旨在是指完整的權利要求組、權利要求組的特定組合(例如，方法權利要求書、設備權利要求書等等)或特定權利要求。還應注意，例如，如上、下、頂部、底部等等方向和/或參考可以用于促進討論附圖并且不旨在限制所主張主題的應用。因此，下面的詳細說明不應被視為限制所主張主題和/或等同物。

具體實施方式