[發(fā)明專利]圓盤(pán)狀玻璃及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201780030929.0
• 申請(qǐng)日: 2017-06-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109153594B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-01-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 簑口裕正;寺井秀孝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日本電氣硝子株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C03B32/00
• 分類號(hào): C03B32/00
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 雒運(yùn)樸

1.一種圓盤(pán)狀玻璃的制造方法，該圓盤(pán)狀玻璃用于加工基板的支承，其特征在于，

所述圓盤(pán)狀玻璃的制造方法包括：

熱處理工序，在該熱處理工序中，在將玻璃板從室溫加熱至在退火點(diǎn)-50℃～退火點(diǎn)+80℃的范圍內(nèi)預(yù)先設(shè)定的峰值溫度之后對(duì)該玻璃板進(jìn)行冷卻；

圓形切斷工序，在該圓形切斷工序中，從所述玻璃板切出圓盤(pán)狀玻璃；以及

切口形成工序，在該切口形成工序中，在所述圓盤(pán)狀玻璃板的端部形成切口部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圓盤(pán)狀玻璃的制造方法，其特征在于，

所述熱處理工序包括：

升溫步驟，在該升溫步驟中，以+1℃/min～+16℃/min的速度從室溫升溫至所述峰值溫度；

保持步驟，在該保持步驟中，在所述升溫步驟之后，以所述峰值溫度-10℃～所述峰值溫度的范圍內(nèi)的保持溫度保持0～120分鐘；以及

降溫步驟，在該降溫步驟中，在所述保持步驟之后，在從所述保持溫度至所述玻璃板的應(yīng)變點(diǎn)-50℃為止的溫度區(qū)域內(nèi)以-6.0℃/min～-0.3℃/min的速度進(jìn)行降溫。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圓盤(pán)狀玻璃的制造方法，其特征在于，

所述降溫步驟包括：

第一降溫步驟，在該第一降溫步驟中，在從所述保持溫度至所述玻璃板的應(yīng)變點(diǎn)-50℃為止的溫度區(qū)域內(nèi)以-3.0℃/min～-0.3℃/min的速度進(jìn)行降溫；以及

第二降溫步驟，在該第二降溫步驟中，在應(yīng)變點(diǎn)-50℃以下的溫度區(qū)域內(nèi)以-5.8℃/min～-1.1℃/min的速度進(jìn)行降溫。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的圓盤(pán)狀玻璃的制造方法，其特征在于，

在所述熱處理工序中，在沿所述玻璃板的板厚方向施加負(fù)載的狀態(tài)下進(jìn)行熱處理。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的圓盤(pán)狀玻璃的制造方法，其特征在于，

將多個(gè)所述玻璃板以相互間夾有脫模件的方式層疊，

在最上層載置有擠壓構(gòu)件的狀態(tài)下進(jìn)行所述熱處理工序的所述熱處理。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的圓盤(pán)狀玻璃的制造方法，其特征在于，

在多個(gè)所述玻璃板的最下層還配置支承構(gòu)件，

使所述擠壓構(gòu)件以及所述支承構(gòu)件各自的與所述玻璃板接觸的接觸面大于所述玻璃板的主表面。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的圓盤(pán)狀玻璃的制造方法，其特征在于，

在所述熱處理工序之后且在所述切斷工序之前以及之后中的任一者，還具備對(duì)所述玻璃板的兩個(gè)主表面進(jìn)行研磨的研磨工序，

在所述研磨中，另一方主表面的研磨量相對(duì)于一方主表面的研磨量處于0.8倍～1.2倍的范圍內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的圓盤(pán)狀玻璃的制造方法，其特征在于，

在所述熱處理工序后進(jìn)行所述圓形切斷工序，

在所述圓形切斷工序后進(jìn)行所述切口形成工序。

9.一種通過(guò)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的圓盤(pán)狀玻璃的制造方法制造的圓盤(pán)狀玻璃，其特征在于，

彎度為200μm以下，并且主表面的中心處的應(yīng)力和與端面相距100mm的位置處的主表面的應(yīng)力之差為0～10MPa。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的圓盤(pán)狀玻璃，其特征在于，

在將半徑設(shè)為r的情況下，在與中心相距0.8r以內(nèi)的區(qū)域中呈碗形狀，其中，r的單位為mm。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的圓盤(pán)狀玻璃，其特征在于，

在使用時(shí)成為上表面的主表面具有識(shí)別標(biāo)識(shí)，

在形成有所述識(shí)別標(biāo)識(shí)的主表面?zhèn)染哂邪枷莸乃鐾胄螤睢?/p>

12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的圓盤(pán)狀玻璃，其特征在于，所述圓盤(pán)狀玻璃呈鞍形狀。