[發明專利]用于設施監測及控制的實時移動載體系統

有效

• 申請號: 201780026661.3
• 申請日: 2017-04-26
• 公開（公告）號: CN109074615B
• 公開（公告）日: 2023-06-13
• 發明（設計）人: 蔡適安;王禮鵬;宗冠·A·周
• 申請（專利權）人: 創控生技股份有限公司
• 主分類號: G06F17/00
• 分類號: G06F17/00;G06Q50/10;G06Q50/04;G05B23/02
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 蔣林清

1.一種移動載體監測裝置，其包括：

一或多個移動載體，其經配置以在其內部接收所制造物品且經配置以通過運送系統移動到制造設施內的多個位置；

移動載體控制系統，其經定位于每一移動載體的所述內部中或外部上；

一或多個傳感器，其經定位于每一移動載體的所述內部中或所述外部上，所述一或多個傳感器經耦合到所述移動載體控制系統；

通信系統，其經定位于每一移動載體的所述內部中或所述外部上且經通信耦合到所述至少一個傳感器及所述移動載體控制系統，其中所述通信系統可將來自所述一或多個傳感器的數據傳輸到與所述移動載體分離的位置；及

電力系統，其經定位于每一移動載體的所述內部中或所述外部上且經耦合以將電力遞送到所述移動載體控制系統、所述一或多個傳感器及所述通信系統；以及

經定位于每一移動載體的所述內部中或所述外部上的取樣系統，所述取樣系統包括一或多個取樣管，其經流體耦合到所述移動載體的所述內部及所述移動載體的所述外部中的至少一者；

內部監測系統，其經定位于所述移動載體的所述內部，經配置以偵測晶片的位置以防止受損，包括：

光源，其沿著背壁定位于所述移動載體的地板上；

檢測器，其沿著所述背壁定位在所述移動載體的天花板上；

其中所述光源經配置以將光引導到所述檢測器，所述檢測器經配置以檢測所述光以判斷所述晶片是否正確定位；

以及

泵，其經配置以將空氣吸到所述取樣系統中。

2.根據權利要求1所述的移動載體監測裝置，其進一步包括經定位于每一移動載體中或其上的模塊化耦合系統，所述模塊化耦合系統經耦合到所述電力系統、所述通信系統及所述移動載體控制系統。

3.根據權利要求2所述的移動載體監測裝置，其中所述模塊化耦合系統可包含電耦合件、流體耦合件、通信耦合件或機械耦合件。

4.根據權利要求1所述的移動載體監測裝置，其中所述一或多個傳感器可包含：

空中分子污染分析器；

溫度傳感器，其包含一或多個溫度探針；

氣流傳感器；

傳感器，其測量水(H₂O)、氧氣、溫度及濕度中的一或多者；

振動傳感器；

粒子傳感器；

相機；

傳感器，其用于測量物理或化學特性；

位置傳感器；或

內部位置傳感器。

5.根據權利要求1所述的移動載體監測裝置，其中所述通信系統可無線或有線地與從所述移動載體分離的所述位置通信。

6.根據權利要求1所述的移動載體監測裝置，其中所述取樣系統進一步包括：

罐，其經流體耦合到所述一或多個取樣管。

7.根據權利要求6所述的移動載體監測裝置，其中所述取樣系統進一步包括流體耦合到所述罐的所述內部的泵。

8.根據權利要求1所述的移動載體監測裝置，其中所述取樣系統進一步包括：

捕集取樣器，其中包含吸附劑，所述捕集取樣器經流體耦合至所述一或多個取樣管。

9.根據權利要求8所述的移動載體監測裝置，其中所述取樣系統進一步包括以下中的至少一者：

泵，其經流體耦合到所述捕集取樣器的內部；及

加熱器，其經熱耦合到所述捕集取樣器以加熱所述捕集取樣器內部的所述吸附劑。