[發明專利]用于設施監測及控制的實時移動載體系統

有效

• 申請號: 201780026661.3
• 申請日: 2017-04-26
• 公開（公告）號: CN109074615B
• 公開（公告）日: 2023-06-13
• 發明（設計）人: 蔡適安;王禮鵬;宗冠·A·周
• 申請（專利權）人: 創控生技股份有限公司
• 主分類號: G06F17/00
• 分類號: G06F17/00;G06Q50/10;G06Q50/04;G05B23/02
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 蔣林清

本發明揭示一種移動載體監測裝置的實施例。所述裝置包含一或多個移動載體，所述一或多個移動載體經配置以在其內部接收所制造物品且經配置以通過運送系統移動到制造設施內的多個位置。移動載體控制系統經定位于每一移動載體的所述內部中或外部上，經耦合到所述移動載體控制系統的一或多個傳感器也如此。通信系統經定位于每一移動載體的所述內部中或所述外部上且通信耦合到所述至少一個傳感器及所述移動載體控制系統，且電力系統經定位于每一移動載體的所述內部中或所述外部上且經耦合以將電力遞送到所述移動載體控制系統、所述一或多個傳感器及所述通信系統。揭示及主張其它實施例。

相關申請案的交叉參考

本申請案根據專利合作條約(PCT)第8條的規定主張2016年4月29日申請的第62/329,810號美國臨時申請案及2017年4月25日申請的第15/496,461號美國申請案的優先權，所述案的全部內容以引用的方式并入本文中。

技術領域

所揭示的實施例大體涉及設施監測，且特定來但非排它地涉及一種用于設施監測及控制的實時移動載體系統。

背景技術

企業或工廠內部監測系統一般是大型且固定的機器及檢測系統，這限制了它們對緊緊圍繞它們位置的區域的檢測范圍。充分覆蓋大型設施將需要許多這種檢測器，但這將是昂貴的且將占據可為其它設備所需要或更好地用于其它設備的占地面積。

附圖說明

下文中參考以下圖描述非限制性及非排它性實施例，其中除非另有指定，否則貫穿各種視圖的相似元件符號是指相似零件。

圖1A到1B是用于監測半導體制造設施的移動載體系統的實施例的圖式。

圖2是使用移動載體的監測系統的實施例的圖式。

圖3是沒有傳感器或收集系統的裸移動載體的實施例的三維圖。

圖4A到4C是包含一或多個溫度監測傳感器的移動載體的實施例的框圖。

圖5是包含一或多個氣流監測傳感器的移動載體的實施例的框圖。

圖6是包含一或多個濕度、氧氣、水及/或溫度監測傳感器的移動載體的實施例的框圖。

圖7是包含一或多個振動監測傳感器的移動載體的實施例的框圖。

圖8是包含一或多個粒子監測傳感器的移動載體的實施例的框圖。

圖9是包含一或多個監測相機的移動載體的實施例的框圖。

圖10是包含用于監測物理特性的一或多個傳感器的移動載體的實施例的框圖。

圖11是包含一或多個位置監測傳感器的移動載體的實施例的框圖。

圖12A到12B是包含一或多個內部位置監測傳感器的移動載體的實施例的框圖。

圖13是包含樣本收集系統的移動載體的實施例的框圖。

圖14是包含樣本收集系統的移動載體的另一實施例的框圖。

圖15是使用用于監測的多個移動載體系統的實施例的圖式。

具體實施方式

描述一種用于使用移動載體的實時設施監測及控制的裝置、系統及方法的實施例。描述具體細節以提供對實施例的理解，但是所屬領域的技術人員將認識到，本發明可在沒有一或多個所描述細節或具有其它方法、組件、材料等的情況下實踐。在一些例子中，熟知的結構、材料或操作未詳細展示或描述，但仍然涵蓋于本發明的范圍內。