[發明專利]發光二極管的保護膜的沉積方法

有效

• 申請號: 201780025729.6
• 申請日: 2017-05-16
• 公開（公告）號: CN109075263B
• 公開（公告）日: 2020-06-23
• 發明（設計）人: 李洪宰;金宗煥;沈愚泌;李愚嗔;尹星然;李敦熙
• 申請（專利權）人: TES股份有限公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L21/02;H01L51/56
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 楊文娟;臧建明

本發明涉及一種發光二極管的保護膜的沉積方法，于發光二極管的保護膜沉積方法中，上述保護膜沉積方法包含如下工序：于基板的發光二極管的上部沉積第一無機保護膜的工序；以及將內部應力比上述第一無機保護膜相對小的第二無機保護膜沉積于上述第一無機保護膜的上部的工序。

技術領域

本發明涉及一種保護膜沉積方法，更詳細而言，涉及一種發光二極管的保護膜沉積方法，其可通過于以原子層沉積制造于發光二極管的表面沉積多層構造的無機保護膜的情形時，于一個腔室連續執行沉積作業，而比現有技術更提高生產效率。

背景技術

最近隨著信息化時代的發達，對于顯示二極管的研究逐漸活躍，特別是，發光二極管(Light emitting diode，LED)顯示或有機發光二極管(Organic Light emittingdiode，OLED)顯示備受關注。

上述有機發光二極管利用本身發散光的有機物質，具有與現有的液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)、等離子顯示板(Plasma Display Panel，PDP)等截然不同的特性。特別是，利用有機發光二極管的顯示裝置作為下一代顯示裝置，作為可實現所謂可撓性顯示的裝置而被人們所熟知，最近經常活用于如手機、智能手機及平板電腦的各種便攜式裝置的顯示。

有機發光二極管是電子與空穴于半導體里產生電子-空穴對并通過上述電子-空穴對的再結合過程發光的二極管。如此的有機發光二極管于相對低的驅動電壓，可將光的三原色皆表現出來，進而于實現高分辨率及天然色之處展現優秀性。并且，以低價可產生大面積的顯示裝置，且存在具有可撓性的特性與迅速的回應速度的優點。

然而，如上述的有機發光二極管包含有機薄膜與電極的構造，當發生外部的水分或氧氣等向內部侵透的情形時，會產生快速退化 (degradation)的問題。為了解決此種問題，有機發光二極管必需具備用于隔絕水分與氧氣的保護膜(passivation film)。

最近開發了利用原子層沉積制造(Atomic Layer Deposition， ALD)或等離子體增強化學氣相沉積(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，PECVD)而形成多層的有機材料與無機材料的保護膜的方法。

原子層沉積制造具有低WVTR(Water Vapor Transmission Rate：每單位面積及時間的水分通過量)的優點，但仍存在難以實現大面積化，特別是于沉積多層構造的保護膜的情形時，生產率顯著降低的問題。并且，于利用等離子體增強化學氣相沉積的保護膜的情形時，因相對非常厚的厚度而降低可撓性的特性的問題。

進而，因有機材料與無機材料的多層構造的各層皆具有不同的沉積方法而應另外設置沉積腔室，因此需要較多的設置費用及設置空間，特別是，生產率(throughput)會大幅降低。

發明內容

發明欲解決的課題

本發明是為了解決如上述的問題，提供一種保護膜沉積方法，其于利用原子層沉積制造沉積保護膜的情形時，具有比現有技術薄的厚度并可發揮與現有技術相似的效果。

進而，提供一種于保護膜沉積方法，其于沉積以多層所構成的保護膜的情形時，可于一個裝置沉積保護膜。

解決課題的手段

于如上述的本發明中，一種發光二極管的保護膜的沉積方法包含如下工序：于基板的發光二極管的上部沉積第一無機保護膜的工序；以及將內部應力比上述第一無機保護膜相對小的第二無機保護膜沉積于上述第一無機保護膜的上部的工序。

于此，于沉積上述第一無機保護膜的工序與沉積上述第二無機保護膜的工序中，以原子層沉積制造沉積氧化鋁(AlOx)膜。