[發明專利]借助于真空固定物體的設備

有效

• 申請號: 201780022829.3
• 申請日: 2017-03-30
• 公開（公告）號: CN108885390B
• 公開（公告）日: 2021-01-26
• 發明（設計）人: 烏爾班·肖爾茨-格拉赫;烏韋·克洛斯基;京特·弗萊明
• 申請（專利權）人: 激光影像系統有限責任公司
• 主分類號: G03B27/60
• 分類號: G03B27/60;H01L21/683;B23K37/04;B25B11/00;G03F7/20;B41F15/20
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 黃剛;車文

本發明涉及借助于真空固定物體的設備。本發明的目的是使得能夠以精細的增量改變真空臺的有效表面積，從而能夠可靠地捕獲底部區域大小不同的物體。通過借助于真空固定物體的設備實現該目的，在于除了第一真空室(11)之外，在臺(1)上布置有第二真空室(12)和第三真空室(13)，第三真空室(13)將第一真空室(11)和第二真空室(12)延伸到在x方向上的整個延伸長度，其中第二真空室(12)包括由在x方向上延伸的多個平行的行形成溝槽(15)組成的結構，行形成溝槽(15)通過第一連接通道(22)在y方向上彼此連接，且能夠借助于行切換設備(2)相對于第一真空室(11)順次地釋放或關閉，第三真空室(13)包括由在y方向上延伸的多個平行的列形成溝槽(16)組成的結構，列形成溝槽(16)經由第二連接通道(42)在x方向上彼此連接，且能夠借助于列切換設備(4)相對于第一真空室(11)順次釋放或關閉，且能夠借助于行切換設備(2)以同時分段的方式并根據與第二真空室(12)相對應的行形成溝槽(15)的數目和位置在y方向上順次釋放或關閉第三真空室(13)。

技術領域

本發明涉及一種借助于真空固定物體的設備。

背景技術

在一些情況下，只有通過使用真空臺，才使機器加工、完成或檢查特別是非常精密的物體成為可能。特別地，在諸如例如印刷電路板、平面屏幕基板、半導體晶片或印刷材料的非常薄且平坦的物體的情況下，使用其它主要是局部動作的夾緊設備來進行牢固而無損的固定是幾乎不可能的。固定在真空臺上對于敏感物體來說是一種非常溫和的方法，因為固定所需的力能夠被分配在大的表面上，并且均勻分配在物體的底部區域上。此外，與其它夾緊手段相比，借助于真空固定是一種非常快速且容易的操作。

為了形成真空以將物體牢固固定在真空臺上，首先需要物體的底部區域終止于相對靠近真空臺的表面處。這防止真空抽吸吸入大量環境空氣，吸入大量環境空氣將不允許產生負壓用于真空。此外，特別是對于非常薄的物體，需要一直進行固定到物體的底部區域的邊緣。為此，真空臺的有效表面積通常根據物體的底部區域來定尺寸，從而真空臺總是覆蓋直到邊緣的整個底部區域。在這種情況下，對于具有不同底部區域的不同尺寸的物體，將需要為每一個物體準備有一個適配的真空臺。這是昂貴且不切實際的。

使用通用真空臺更有意義。通用真空臺被定尺寸使得：如果可能的話，所有不同的物體都能夠被固定在其上。如果物體小于真空臺的有效表面積，則沒有被物體覆蓋的任何表面都必須被密封以維持真空。該問題的解決方案已經從現有技術獲知。

已公布的專利申請JP H04-159043A中公開了一種用于旋轉對稱底部區域的解決方案。它描述了一種圓形真空臺，該真空臺大致由具有臺頂的臺組成，臺頂和臺彼此同軸地上下疊置。在臺的一個端面中，臺包括徑向延伸的真空室，該真空室從臺的中央線性延伸到邊緣區域。在臺的中間，真空室比邊緣區域中寬得多。真空室具有到真空抽取裝置的連接，并被臺頂覆蓋。優選具有圓形底部區域的物體被居中放置在臺頂上，并借助于真空固定。為此，臺頂的表面設有多個同心環形溝槽。這些環形溝槽每一個都具有通道孔，這些通道孔通向臺頂的下側，并沿著徑向延伸的直線布置。臺頂能夠相對于臺繞公共旋轉軸線旋轉，其中通道孔相對于真空室移動。取決于通道孔相對于真空室的位置，可行的是：從最外的通道孔開始，將單獨通道孔放置在真空室的區域的外側，使得位于真空室的外側的通道孔被臺關閉。從外側開始，單獨環形溝槽能夠因此一個接一個地與真空源分離。真空臺的有效表面積能夠因此環形地調節到不同直徑的物體，所述直徑的調節增量取決于被形成在臺頂中的環形溝槽的數目。

然而，應用這種解決方案僅對具有旋轉對稱或等邊底部區域的物體有意義。這種解決方案不適合于具有不相等的縱橫比的矩形底部區域。