[發明專利]借助于真空固定物體的設備

有效

• 申請號: 201780022829.3
• 申請日: 2017-03-30
• 公開（公告）號: CN108885390B
• 公開（公告）日: 2021-01-26
• 發明（設計）人: 烏爾班·肖爾茨-格拉赫;烏韋·克洛斯基;京特·弗萊明
• 申請（專利權）人: 激光影像系統有限責任公司
• 主分類號: G03B27/60
• 分類號: G03B27/60;H01L21/683;B23K37/04;B25B11/00;G03F7/20;B41F15/20
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 黃剛;車文

1.一種借助于真空固定物體的設備，所述設備包括臺(1)，所述臺(1)在x和y方向上延伸且包括多個真空室，所述多個真空室在z方向上形成在所述臺(1)中，以便均勻地分配被連接到所述臺(1)的真空，并且所述設備包括臺頂(10)，所述臺頂(10)被布置成覆蓋所述臺(1)和所述真空室，并且所述臺頂(10)具有以網格狀方式布置的多個穿孔(14)，其中第一真空室(11)被布置在所述臺頂(10)的正下方，所述第一真空室(11)限定所述臺(1)的在x和y方向上的有效表面積(W)的最小格式(M)，并且所述第一真空室(11)接觸所述臺(1)的兩個相鄰的側表面并永久地連接到真空抽取裝置(5)，所述真空抽取裝置(5)被連接到所述臺(1)，并且其中使得所述有效表面積(W)能夠延伸超過所述最小格式(M)的另外的真空室被布置成接觸所述第一真空室(11)的至少一側和/或所述另外的真空室的側中的至少一個，并且所有另外的真空室都具有到所述真空抽取裝置(5)的可切換連接，其特征在于：

在所述臺(1)處布置分配器殼體(3)，所述真空抽取裝置(5)借助于所述分配器殼體(3)連接到所述臺(1)，

除了所述第一真空室(11)之外，在所述臺(1)上布置有第二真空室(12)和第三真空室(13)，所述第二真空室(12)將所述第一真空室(11)延伸到在y方向上的整個延伸長度，所述第三真空室(13)將所述第一真空室(11)和所述第二真空室(12)延伸到在x方向上的整個延伸長度，

所述第二真空室(12)包括由在x方向上延伸的多個平行的行形成溝槽(15)組成的結構，所述行形成溝槽(15)通過第一連接通道(22)在y方向上彼此連接，并且能夠借助于行切換設備(2)相對于所述第一真空室(11)順次地釋放或關閉所述行形成溝槽(15)，

所述第三真空室(13)包括由在y方向上延伸的多個平行的列形成溝槽(16)組成的結構，所述列形成溝槽(16)經由第二連接通道(42)在x方向上彼此連接，并且能夠借助于列切換設備(4)相對于所述第一真空室(11)順次釋放或關閉所述列形成溝槽(16)，其中所述列切換設備(4)是旋轉葉片(40)，所述旋轉葉片(40)被支撐在所述分配器殼體(3)中，以便能夠借助于旋轉驅動器(45)定位，并且

能夠借助于所述行切換設備(2)以同時分段的方式并根據與所述第二真空室(12)相對應的所述行形成溝槽(15)的數目和位置而在y方向上順次釋放或關閉所述第三真空室(13)，以便實現所述臺(1)的所述有效表面積(W)的在x和/或y方向上的逐列和逐行的大小調整。

2.根據權利要求1所述的設備，其特征在于所述分配器殼體(3)中布置有所述列切換設備(4)和所述第三真空室(13)的所述第二連接通道(42)，所述第二連接通道(42)將所述列形成溝槽(16)彼此連接。

3.根據權利要求1所述的設備，其特征在于所述第一真空室(11)和所述第三真空室(13)包括用于連接到所述分配器殼體(3)的入口孔(18)。

4.根據權利要求1所述的設備，其特征在于所述第二連接通道(42)包括入口(44)，所述入口(44)相對于所述旋轉葉片(40)的旋轉軸線(41)沿徑向布置。

5.根據權利要求1所述的設備，其特征在于所述第二真空室(12)的所述第一連接通道(22)被布置成平行于所述第二真空室(12)的與所述第三真空室(13)面對的一側。

6.根據權利要求1所述的設備，其特征在于通過相對于所述第一真空室(11)在x軸上成鏡像的所述第二真空室(12)和所述行切換設備(2)的布置，且/或通過在y軸上成鏡像的所述第三真空室(13)和所述列切換設備(4)的布置，能夠實現所述有效表面積(W)在所述第一真空室(11)的在x和/或y方向上的兩側上的延伸。