[發明專利]純化方法及純化裝置

有效

• 申請號: 201780021917.1
• 申請日: 2017-03-30
• 公開（公告）號: CN109414629B
• 公開（公告）日: 2021-06-29
• 發明（設計）人: 川上祥子;北野靖;安部寬太
• 申請（專利權）人: 株式會社半導體能源研究所
• 主分類號: B01D7/00
• 分類號: B01D7/00;B01D1/00
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 賈成功

提供一種新穎的升華純化方法。此外，提供一種新穎的升華純化裝置。一種使用包括通過使物質氣化進行純化的純化部、溫度調節單元、氣體供應單元及氣體排出單元的純化裝置的純化方法。其中，使用氣體排出單元將純化部內設定為第一壓力，使用溫度調節單元設定純化部的溫度梯度來純化物質，然后，使用氣體供應單元將純化部內的壓力設定為第二壓力，使用溫度調節單元冷卻純化部。第二壓力高于第一壓力，并且，第二壓力為大氣壓以上。

技術領域

本發明的一個方式涉及一種用于物質的純化及回收的升華或蒸餾等純化方法及純化裝置，尤其涉及一種使物質氣化進行純化的方法及裝置。

此外，本發明的一個方式涉及一種使用該純化方法的發光元件或半導體元件的制造方法?；蛘?，涉及一種包括該發光元件或該半導體元件的顯示裝置、電子設備及照明裝置的制造方法。

注意，本發明的一個方式不局限于上述技術領域。本說明書等所公開的發明的一個方式的技術領域涉及一種物體、方法或制造方法。另外，本發明的一個方式涉及一種工序(process)、機器(machine)、產品(manufacture)或組合物(composition of matter)。因此，更具體而言，作為本說明書所公開的本發明的一個方式的技術領域的例子，可以舉出半導體裝置、顯示裝置、液晶顯示裝置、發光裝置、照明裝置、蓄電裝置、存儲裝置、這些裝置的驅動方法或這些裝置的制造方法。

背景技術

近年來，對利用電致發光(Electroluminescence：EL)的發光元件的研究開發日益增強。這些發光元件的基本結構是在一對電極之間夾有包含發光物質的層(EL層)。通過將電壓施加到該元件的電極間，可以獲得來自發光物質的發光。

因為上述發光元件是自發光型發光元件，所以使用該發光元件的顯示裝置具有如下優點：具有良好的可見度；不需要背光；以及功耗低等。并且，還具有如下優點：能夠被制造得薄且輕；以及響應速度快等。

當使用將有機化合物用作發光物質并在一對電極間設置有包含該發光有機化合物的EL層的發光元件(例如，有機EL元件)時，通過將電壓施加到一對電極間，電子和空穴分別從陰極和陽極注入到發光 EL層，由此電流流過。而且，注入的電子與空穴復合而使發光有機化合物成為激發態，而可以從該激發態有機化合物獲得發光。

這種發光元件的重要特性之一在于其發光效率及使用壽命，已知發光元件的發光效率及使用壽命等性能不僅取決于用于發光元件的物質的特性，該物質的純度也對發光元件的性能有很大的影響。因此，需要純度高的物質，作為提高有機化合物的純度的方法使用升華純化法(例如，參照專利文獻1)。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利申請公開第2003-88704號公報

發明內容

發明所要解決的技術問題

當使物質氣化進行純化時，有該物質從固體升華成氣體的情況和固體熔化成液體之后蒸發成氣體的情況，在前一種情況下，純化后的物質從氣體升華成固體，在后一種情況下，純化后的物質從氣體凝結成液體，然后從液體凝固成固體。在當回收純化過的物質時該物質的體積發生很大的變化的情況下，有時隨著該體積變化產生該物質擴散的問題以及純化裝置的一部分損壞的問題等。此外，為了提高生產率，加大純化裝置的尺寸是有效的，但是隨著純化裝置的大型化，上述問題會變得更加凸顯。

如果純化裝置的一部分發生損壞，不僅需要修理純化裝置或更換部件，而且發生凈化后回收物質擴散而使該物質的回收量減少的問題；以及因純化裝置的損壞產生雜質混入而導致該物質的純度降低的問題。