[發明專利]用于沉積的掩模和使用其的OLED面板

有效

• 申請號: 201780021805.6
• 申請日: 2017-03-23
• 公開（公告）號: CN109314192B
• 公開（公告）日: 2021-02-23
• 發明（設計）人: 孫曉源;樸宰奭
• 申請（專利權）人: LG伊諾特有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L51/00;C23C14/04
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 杜誠;劉敏

公開了用于沉積的掩模和使用其的有機發光二極管面板。沉積掩模包括金屬板。該金屬板包括：有效區域，該有效區域具有多個通孔和介于通孔之間的橋；以及設置在有效區域的外部處的非有效區域。通孔在連接部分中形成，在該連接部分中，形成在第一表面中的第一表面孔與形成在第二表面中的第二表面孔接觸，第二表面與第一表面相對，第一表面孔的寬度小于第二表面孔的寬度，第一表面孔的深度小于第二表面孔的深度，在等式1中計算的k值在從0.65或更大至小于1的范圍內。

技術領域

實施方式涉及沉積掩模。更具體地，可以使用根據實施方式的沉積掩模來制造有機發光二極管(OLED)面板。

背景技術

由于需要具有更高分辨率和表現更低功耗的顯示裝置，已經開發了各種顯示裝置，例如液晶顯示裝置或電致發光顯示裝置。

由于電致發光顯示裝置具有比液晶顯示裝置的特性更優異的特性，包括更低的發光、更低的功耗以及更高的分辨率，所以電致發光顯示裝置作為下一代顯示裝置已經受到關注。

電致發光顯示裝置包括有機和無機電致發光顯示裝置。換句話說，有機和無機電致發光顯示裝置可以根據發光層的材料來彼此區分。

其中，有機電致發光顯示裝置受到關注，原因是有機電致發光顯示裝置具有更寬的視角和更快的響應速度，并且需要更低的功率。

發光層的有機材料可以包括在圖案中，以通過精細金屬掩模方式在基板上形成像素。

在這種情況下，精細金屬掩模，即沉積掩模，可以具有與要在基板上形成的圖案相對應的通孔。因此，隨著在基板上對準精細金屬掩模之后沉積有機材料，可以形成紅色、綠色和藍色圖案以形成像素。

用作沉積掩模的金屬板可以通過蝕刻工藝形成為在其中具有通孔。

在這種情況下，如果在非蝕刻區域中測量的沉積掩模的厚度與蝕刻區域中測量的用以將通孔彼此連接并支撐通孔的沉積掩模的厚度之間存在顯著差異，則在沉積掩模被拉伸時，沉積掩模可能在蝕刻區域中扭曲。另外，在蝕刻工藝中防止蝕刻的光致抗蝕劑層或光敏膜抗蝕劑層可能剝離(delaminated)。因此，由于蝕刻均勻性可能劣化，所以通孔的均勻性可能劣化。

當通孔不均勻時，沉積均勻性可能劣化。因此，降低了圖案的沉積效率，使得工藝效率可能降低。

發明內容

技術問題

實施方式提供了具有均勻通孔的沉積掩模。

技術方案

根據實施方式，提供了包括金屬板的沉積掩模。該金屬板包括：有效區域，該有效區域具有多個通孔和介于通孔之間的橋；以及設置在有效區域的外部的非有效區域。通孔在連接部分中形成，在連接部分中，形成在第一表面中的第一表面孔與形成在第二表面中的第二表面孔接觸，第二表面與第一表面相對，第一表面孔的寬度小于第二表面孔的寬度，第一表面孔的深度小于第二表面孔的深度，在等式1中計算的k值在從0.65或更大至小于1的范圍內。

等式1

在上述等式中，T表示在非有效區域中測量的沉積掩模的厚度，H1表示在介于通孔之中的兩個相鄰通孔之間的橋具有最大厚度的點處從連接部分起在第一表面的方向上限定的厚度，以及H2表示在介于兩個相鄰通孔之間的橋具有最大厚度的點處從連接部分起在第二表面的方向上限定的厚度。

根據實施方式，提供了包括金屬板的沉積掩模。該金屬板包括：有效區域，所述有效區域包括多個通孔和介于通孔之間的橋；設置在有效區域的外部處的非有效區域；布置在非有效區域中且靠近金屬板的一個縱向端部的第一半蝕刻部分；以及靠近與所述一個縱向端部相對的另一個縱向端部的第二半蝕刻部分，其中，當在縱向方向上通過0.7kgf的力拉伸金屬板時，在等式2中計算的扭曲指數α在0.85至1.15的范圍內。