[發(fā)明專利]半導(dǎo)體裝置的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201780021748.1
• 申請(qǐng)日: 2017-03-21
• 公開（公告）號(hào): CN109075050B
• 公開（公告）日: 2023-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 栗原宏嘉;福本英樹
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三井化學(xué)東賽璐株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L21/304
• 分類號(hào): H01L21/304
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 陳彥;李宏軒

1.一種半導(dǎo)體裝置的制造方法，至少具備下述工序：

工序(A)，準(zhǔn)備結(jié)構(gòu)體，所述結(jié)構(gòu)體具備具有電路形成面的半導(dǎo)體晶片、以及貼合于所述半導(dǎo)體晶片的所述電路形成面?zhèn)鹊恼持阅ぃ?/p>

工序(B)，將所述半導(dǎo)體晶片的與所述電路形成面?zhèn)认喾磦?cè)的面進(jìn)行背面研磨，

工序(C)，對(duì)所述粘著性膜照射紫外線之后，從所述半導(dǎo)體晶片除去所述粘著性膜，

作為所述粘著性膜，使用具備基材層、以及設(shè)置于所述基材層的一面?zhèn)鹊淖贤饩€固化型的粘著性樹脂層的粘著性膜，所述粘著性樹脂層包含紫外線固化型粘著性樹脂，

利用下述方法測(cè)定得到的紫外線固化后的所述粘著性樹脂層表面的飽和帶電壓V₁為2.0kV以下，

方法：

對(duì)于所述粘著性樹脂層，在25℃的環(huán)境下使用高壓水銀燈，以照射強(qiáng)度100mW/cm²照射紫外線量1080mJ/cm²的主波長(zhǎng)365nm的紫外線，使所述粘著性樹脂層光固化，然后在外加電壓10kV、試樣與電極的距離20mm、25℃、50％RH的條件下，對(duì)于所述粘著性樹脂層的表面外加電壓30秒，按照J(rèn)IS?L1094算出所述粘著性樹脂層的表面的飽和帶電壓(V₁)，

利用下述方法測(cè)定得到的紫外線固化后的所述粘著性樹脂層的表面的粘性力為0.1N/cm²以下，

方法：

對(duì)于所述粘著性樹脂層，在25℃的環(huán)境下使用高壓水銀燈，以照射強(qiáng)度100mW/cm²照射紫外線量1080mJ/cm²的主波長(zhǎng)365nm的紫外線，使所述粘著性樹脂層光固化，然后使用探針初粘力測(cè)試儀作為測(cè)定裝置，使直徑5mm的探針與所述粘著性樹脂層的表面以10mm/秒的速度進(jìn)行接觸，以0.98N/cm²的接觸載荷接觸10秒之后，以10mm/秒的速度將所述探針從所述粘著性樹脂層的表面沿垂直方向進(jìn)行剝離，以該方法測(cè)定所述粘著性樹脂層的表面的粘性力。

2.一種半導(dǎo)體裝置的制造方法，至少具備下述工序：

工序(A)，準(zhǔn)備結(jié)構(gòu)體，所述結(jié)構(gòu)體具備具有電路形成面的半導(dǎo)體晶片、以及貼合于所述半導(dǎo)體晶片的所述電路形成面?zhèn)鹊恼持阅ぃ?/p>

工序(B)，將所述半導(dǎo)體晶片的與所述電路形成面?zhèn)认喾磦?cè)的面進(jìn)行背面研磨，

工序(C)，對(duì)所述粘著性膜照射紫外線之后，從所述半導(dǎo)體晶片除去所述粘著性膜，

作為所述粘著性膜，使用具備基材層、以及設(shè)置于所述基材層的一面?zhèn)鹊淖贤饩€固化型的粘著性樹脂層的粘著性膜，所述粘著性樹脂層包含紫外線固化型粘著性樹脂，

利用下述方法測(cè)定得到的紫外線固化后的所述粘著性樹脂層表面的飽和帶電壓V₁為2.0kV以下，

方法：

對(duì)于所述粘著性樹脂層，在25℃的環(huán)境下使用高壓水銀燈，以照射強(qiáng)度100mW/cm²照射紫外線量1080mJ/cm²的主波長(zhǎng)365nm的紫外線，使所述粘著性樹脂層光固化，然后在外加電壓10kV、試樣與電極的距離20mm、25℃、50％RH的條件下，對(duì)于所述粘著性樹脂層的表面外加電壓30秒，按照J(rèn)IS?L1094算出所述粘著性樹脂層的表面的飽和帶電壓(V₁)，

將利用下述方法測(cè)定得到的紫外線固化后的所述粘著性樹脂層的表面的飽和帶電壓設(shè)為V₂時(shí)，V₁/V₂為5.0以下，

方法：

對(duì)于所述粘著性樹脂層，在25℃的環(huán)境下使用高壓水銀燈，以照射強(qiáng)度100mW/cm²照射紫外線量200mJ/cm²的主波長(zhǎng)365nm的紫外線，使所述粘著性樹脂層光固化，然后在外加電壓10kV、試樣與電極的距離20mm、25℃、50％RH的條件下，對(duì)于所述粘著性樹脂層的表面外加電壓30秒，按照J(rèn)IS?L1094算出所述粘著性樹脂層的表面的飽和帶電壓(V₂)。