[發明專利]晶片缺陷檢查及審查系統

有效

• 申請號: 201780020550.1
• 申請日: 2017-01-30
• 公開（公告）號: CN109073565B
• 公開（公告）日: 2022-03-15
• 發明（設計）人: 張時雨
• 申請（專利權）人: 科磊股份有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01N21/88;G01N21/47
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 張世俊

1.一種成像物鏡，其包括：

前物鏡，其經配置以產生設置在樣品固持件上的半導體晶片的一部分的受衍射限制的中間圖像，其中所述中間圖像由設置在所述樣品固持件上的所述半導體晶片的所述部分反射的來自激光誘導等離子體源的照明形成，其中所述前物鏡包括：

透鏡，其具有充當反射表面的平面側；

凹凸透鏡；

凹面鏡；及

一系列折射熔融硅石及氟化鈣透鏡；及

中繼器，其經配置以接收由所述前物鏡產生的所述中間圖像，所述中繼器包括三個球面鏡，所述球面鏡經定位以將所述中間圖像的投影傳遞到固定圖像平面。

2.根據權利要求1所述的成像物鏡，其中所述中繼器是三鏡中繼器。

3.根據權利要求1所述的成像物鏡，其中所述三個球面鏡均是基本上不遮光的反射鏡。

4.根據權利要求1所述的成像物鏡，其中所述三個球面鏡具有不同曲率。

5.根據權利要求1所述的成像物鏡，其中所述三個球面鏡是至少可軸向或垂直移動，同時仍維持所述中間圖像到所述固定圖像平面的所述投影。

6.根據權利要求1所述的成像物鏡，其中所述前物鏡經進一步配置以放大所述中間圖像，以減小所述前物鏡與所述中繼器之間的界面處的所述中間圖像的數值孔徑。

7.根據權利要求1所述的成像物鏡，其中在界面處的所述中間圖像的數值孔徑是0.2或更小。

8.根據權利要求1所述的成像物鏡，其中由所述前物鏡產生的所述中間圖像是遠心的。

9.根據權利要求1所述的成像物鏡，其進一步包括：

至少一個額外中繼器，其經配置以接收由所述前物鏡產生的所述中間圖像，所述至少一個額外中繼器包括三個球面鏡，所述球面鏡經定位以將所述中間圖像的第二投影傳遞到所述固定圖像平面，其中所述至少一個額外中繼器具有與所述第一個提到的中繼器的變焦范圍不同的變焦范圍。

10.一種檢查系統，其包括：

照明源，其中所述照明源包括激光誘導等離子體源；

樣品固持件，其經配置以固持半導體晶片；

檢測器，其經定位在所述檢查系統內的固定位置處；

及

成像物鏡，其經配置以將所述半導體晶片成像到所述檢測器上，其中所述成像物鏡包括前物鏡和中繼器，

其中所述前物鏡經配置以產生所述半導體晶片的一部分的受衍射限制的中間圖像，

其中所述中繼器經配置以接收由所述前物鏡產生的所述中間圖像，所述中繼器包括三個球面鏡，所述球面鏡經定位以將所述中間圖像的投影傳遞到經定位在所述固定位置處的所述檢測器。

11.根據權利要求10所述的檢查系統，其中所述三個球面鏡均是基本上不遮光的反射鏡。

12.根據權利要求10所述的檢查系統，其中所述三個球面鏡具有不同曲率。

13.根據權利要求10所述的檢查系統，其中所述三個球面鏡是至少可軸向或垂直移動，同時仍維持所述中間圖像到所述檢測器的所述投影。

14.根據權利要求10所述的檢查系統，其中所述前物鏡經進一步配置以放大所述中間圖像，以減小在所述前物鏡與所述中繼器之間的界面處的所述中間圖像的數值孔徑。

15.根據權利要求10所述的檢查系統，其中在界面處的所述中間圖像的數值孔徑是0.2或更小。

16.根據權利要求10所述的檢查系統，其中由所述前物鏡產生的所述中間圖像是遠心的。