[發(fā)明專利]晶片缺陷檢查及審查系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201780020550.1
• 申請(qǐng)日: 2017-01-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109073565B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-03-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張時(shí)雨
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 科磊股份有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/95
• 分類號(hào): G01N21/95;G01N21/88;G01N21/47
• 代理公司: 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 張世俊

本發(fā)明揭示成像物鏡及配備有此類成像物鏡的檢查系統(tǒng)。所述成像物鏡可包含前物鏡，所述前物鏡經(jīng)配置以產(chǎn)生受衍射限制的中間圖像。所述成像物鏡還可包含中繼器，所述中繼器經(jīng)配置以接收由所述前物鏡產(chǎn)生的所述中間圖像。所述中繼器可包含三個(gè)球面鏡，所述球面鏡經(jīng)定位以將所述中間圖像的投影傳遞到固定圖像平面。

相關(guān)申請(qǐng)的交叉參考

本申請(qǐng)根據(jù)35 U.S.C.§119(e)規(guī)定要求2016年2月3日申請(qǐng)的第62/290,586號(hào)美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)的權(quán)利。所述第62/290,586號(hào)美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)的全文以引用的方式并入本文中。

本申請(qǐng)涉及2016年2月26日申請(qǐng)的共同待審的第15/055,292號(hào)美國(guó)專利申請(qǐng)。所述第15/055,292號(hào)美國(guó)專利申請(qǐng)的全文以引用的方式并入本文中。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明大體上涉及檢查的領(lǐng)域，且特定來(lái)說(shuō)涉及半導(dǎo)體裝置的檢查。

背景技術(shù)

薄拋光板(例如硅晶片及類似物)是現(xiàn)代技術(shù)非常重要的一部分。例如，晶片可指用于制造集成電路及其它裝置的半導(dǎo)體材料的薄片。薄拋光板的其它實(shí)例可包含磁盤(pán)襯底、塊規(guī)及類似物。盡管此處所描述的技術(shù)主要指晶片，但應(yīng)了解，本技術(shù)還適用于其它類型的拋光板。術(shù)語(yǔ)晶片及術(shù)語(yǔ)薄拋光板在本發(fā)明中可互換使用。

晶片經(jīng)受缺陷檢查。預(yù)期用于執(zhí)行此類檢查的工具是高效且有效的。然而，應(yīng)注意，大規(guī)模電路集成及尺寸縮減的最近發(fā)展已向這種期望提出挑戰(zhàn)。即，隨著缺陷變得越來(lái)越小，既有檢查工具在檢測(cè)缺陷時(shí)變得不那么高效及有效。

就此來(lái)說(shuō)，需要沒(méi)有前述缺點(diǎn)的改進(jìn)檢查系統(tǒng)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明涉及一種成像物鏡。所述成像物鏡可包含前物鏡，所述前物鏡經(jīng)配置以產(chǎn)生中間圖像。所述成像物鏡還可包含中繼器，所述中繼器經(jīng)配置以接收由所述前物鏡產(chǎn)生的所述中間圖像。所述中繼器可包含三個(gè)球面鏡，所述球面鏡經(jīng)定位以將所述中間圖像的投影傳遞到固定圖像平面。

本發(fā)明的進(jìn)一步實(shí)施例涉及一種檢查系統(tǒng)。所述檢查系統(tǒng)可包含檢測(cè)器，所述檢測(cè)器定位于所述檢查系統(tǒng)內(nèi)的固定位置。所述檢查系統(tǒng)還可包含前物鏡，所述前物鏡經(jīng)配置以產(chǎn)生受衍射限制的中間圖像。所述檢查系統(tǒng)可進(jìn)一步包含中繼器，所述中繼器經(jīng)配置以接收由所述前物鏡產(chǎn)生的所述中間圖像。所述中繼器可包含三個(gè)球面鏡，所述球面鏡經(jīng)定位以將所述中間圖像的投影傳遞到經(jīng)定位在所述固定位置的所述檢測(cè)器。

本發(fā)明的額外實(shí)施例涉及一種成像物鏡。所述成像物鏡可包含前物鏡，所述前物鏡經(jīng)配置以產(chǎn)生受衍射限制的中間圖像。所述成像物鏡還可包含中繼器，所述中繼器經(jīng)配置以接收由所述前物鏡產(chǎn)生的所述中間圖像。所述中繼器可包含三個(gè)球面鏡，所述球面鏡經(jīng)定位以將所述中間圖像的投影傳遞到固定圖像平面。所述三個(gè)球面鏡可均為基本上不遮光的反射鏡，且可經(jīng)配置以相對(duì)于彼此具有不同曲率。

應(yīng)了解，前文大體描述及下文詳細(xì)描述兩者皆僅為示范性及解釋性，且未必限制本發(fā)明。并入本說(shuō)明書(shū)中且構(gòu)成本說(shuō)明書(shū)的一部分的附圖說(shuō)明本發(fā)明的主題。這些描述及圖式一起用于解釋本發(fā)明的原理。

附圖說(shuō)明

所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員通過(guò)參考附圖可更好地理解本發(fā)明的眾多優(yōu)點(diǎn)，其中：

圖1是描繪根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例配置的檢查系統(tǒng)的框圖；

圖2是描繪根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例配置的示范性成像物鏡的光學(xué)布局的示意圖；

圖3是描繪圖2中展示的光學(xué)布局的一部分的示意圖；

圖4是描繪圖2中展示的光學(xué)布局的另一部分的示意圖；及

圖5是描繪展示用于圖2中展示的光學(xué)布局的各種放大率的多種變焦配置的重疊的光學(xué)布局的示意圖。

具體實(shí)施方式