[發(fā)明專利]基板保持架及鍍覆裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201780019492.0
• 申請(qǐng)日: 2017-03-07
• 公開（公告）號(hào): CN109072475B
• 公開（公告）日: 2020-06-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 向山佳孝;橫山俊夫;山川純逸;對(duì)馬拓也;平尾智則;田村翔;大橋弘尭
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社荏原制作所
• 主分類號(hào): C25D17/08
• 分類號(hào): C25D17/08;B65G49/02;C25D17/06;H01L21/683;H05K3/18
• 代理公司: 上海華誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31300
• 代理人: 張麗穎

本發(fā)明提供一種可容易進(jìn)行基板定位的基板保持架及鍍覆裝置?；灞３旨芫哂校罕３只宓幕灞３煮w；及夾著所述基板保持體而保持的第一保持部件及第二保持部件；所述第一保持部件具有：使所述基板的被鍍覆面露出的開口部；及以與所述基板的被鍍覆面接觸的方式而構(gòu)成的供電部件。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種基板保持架及鍍覆裝置。

背景技術(shù)

過去進(jìn)行在半導(dǎo)體晶片或印刷基板等基板表面形成配線或凸塊(突起狀電極)等。形成該配線及凸塊等的方法公知有電解鍍覆法。

用于電解鍍覆法的鍍覆裝置具備密封圓形或多邊形基板的端面，并使表面(被鍍覆面)露出而保持的基板保持架。在這種鍍覆裝置中對(duì)基板表面進(jìn)行鍍覆處理時(shí)，使保持基板的基板保持架浸漬于鍍覆液中。

對(duì)基板保持架所保持的基板進(jìn)行鍍覆處理時(shí)，為了對(duì)基板表面施加負(fù)電壓，需要將基板電連接于電源的負(fù)電壓側(cè)。因而在基板保持架中設(shè)有用于電連接從電源延伸的外部配線與基板的電接點(diǎn)。電接點(diǎn)以與形成于基板表面的種層(導(dǎo)電層)接觸的方式而構(gòu)成，由此對(duì)基板施加負(fù)電壓。這種基板保持架例如揭示于專利文獻(xiàn)1。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2015-193935號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

(發(fā)明要解決的問題)

進(jìn)行種層及抗蝕層圖案的形成處理等各種處理的基板搬送至鍍覆裝置中。進(jìn)行這各種處理的基板基于各種原因而發(fā)生翹曲。例如以濺鍍等在基板上形成種層時(shí)，會(huì)對(duì)基板施加應(yīng)力而造成基板翹曲。此外，基板是比較薄的印刷基板等情況下，通過對(duì)印刷基板預(yù)先成膜等，不僅造成印刷基板翹曲，且印刷基板本身欠缺維持形狀的充分強(qiáng)度。

專利文獻(xiàn)1所揭示的基板保持架，通過密封基板的端面、及使電接點(diǎn)接觸于基板表面來保持基板。但是，以這種基板保持架保持翹曲的基板時(shí)，當(dāng)密封或電接點(diǎn)接觸于基板會(huì)使基板移動(dòng)，可能使基板從基板裝載面上的希望位置偏離。

此外，過去的基板保持架為了將基板配置于基板保持架的基板裝載面上的希望位置，沿著基板裝載面周圍配置引導(dǎo)基板的多個(gè)引導(dǎo)銷。將基板配置于基板裝載面時(shí)，通過該引導(dǎo)銷接觸于基板端部而將基板引導(dǎo)至基板裝載面的希望位置。但是，當(dāng)基板翹曲時(shí)，由于基板并非水平地存在于基板裝載面上，因此即使通過引導(dǎo)銷引導(dǎo)基板而配置于基板裝載面上，仍有可能從希望的位置偏離。

再者，如印刷基板的強(qiáng)度比較低的基板，即使不發(fā)生翹曲，當(dāng)引導(dǎo)銷與印刷基板接觸時(shí)，仍有可能造成印刷基板變形，而無法將印刷基板引導(dǎo)至希望的位置。此外，當(dāng)基板保持架保持印刷基板時(shí)，因密封或電接點(diǎn)接觸于印刷基板，也可能使基板變形，造成基板從基板裝載面上的希望位置偏離。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明鑒于上述問題而形成。其目的為提供一種可容易進(jìn)行基板的定位的基板保持架及鍍覆裝置。

(解決問題的手段)

本發(fā)明一種方式提供一種基板保持架。該基板保持架具有：基板保持體，該基板保持體夾著基板的周緣部而保持所述基板；及第一保持部件及第二保持部件，該第一保持部件及第二保持部件夾著所述基板保持體而保持所述基板保持體，所述第一保持部件具有：開口部，該開口部使所述基板的被鍍覆面露出；及供電部件，該供電部件以與所述基板的被鍍覆面接觸的方式構(gòu)成。

依這一方式，通過基板保持體保持基板時(shí)，可矯正基板翹曲等的變形，此外即使基板的強(qiáng)度不足仍可保持其形狀。因而可容易進(jìn)行在第一保持部件的供電部件及密封部與基板的定位。

本發(fā)明一種方式中，所述基板保持體具有：基板支撐體，該基板支撐體支撐所述基板的周緣部；及固定部件，該固定部件將支撐于所述基板支撐體的基板固定于所述基板支撐體。