[發明專利]基板保持架及鍍覆裝置

有效

• 申請號: 201780019492.0
• 申請日: 2017-03-07
• 公開（公告）號: CN109072475B
• 公開（公告）日: 2020-06-09
• 發明（設計）人: 向山佳孝;橫山俊夫;山川純逸;對馬拓也;平尾智則;田村翔;大橋弘尭
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: C25D17/08
• 分類號: C25D17/08;B65G49/02;C25D17/06;H01L21/683;H05K3/18
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 張麗穎

1.一種基板保持架，其特征在于，具有：

基板保持體，該基板保持體夾著基板的周緣部而保持所述基板；及

第一保持部件及第二保持部件，該第一保持部件及第二保持部件夾著所述基板保持體而保持所述基板保持體，

所述第一保持部件具有：

開口部，該開口部使所述基板的被鍍覆面露出；及

供電部件，該供電部件以與所述基板的被鍍覆面接觸的方式構成，

所述基板保持體具有：

基板支撐體，該基板支撐體支撐所述基板的周緣部；及

固定部件，該固定部件將支撐于所述基板支撐體的基板固定于所述基板支撐體。

2.如權利要求1所述的基板保持架，其特征在于，

所述基板支撐體具有：

支撐面，該支撐面支撐所述基板的周緣部；及

開口，該開口使所述基板的被鍍覆面露出，

所述固定部件具有：

固定部，該固定部將所述基板的周緣部固定于所述支撐面；及

移動部，該移動部使所述固定部沿著所述支撐面而移動。

3.如權利要求1所述的基板保持架，其特征在于，

所述第一保持部件具有引導部件，該引導部件引導所述基板保持體相對于所述第一保持部件的位置。

4.如權利要求1所述的基板保持架，其特征在于，

所述第二保持部件在與所述基板保持體相對的面具有突起部，

所述基板保持體具有用于插入所述突起部的孔。

5.如權利要求1所述的基板保持架，其特征在于，

所述第一保持部件具有外部接點部，該外部接點部以與外部的電源電連接的方式構成，

所述供電部件與所述外部接點部電連接。

6.如權利要求1所述的基板保持架，其特征在于，

所述第二保持部件具有：

外部接點部，該外部接點部以與外部的電源電連接的方式構成；及

中繼接點部，該中繼接點部與所述外部接點部電連接，并以與所述第一保持部件的所述供電部件接觸的方式構成。

7.如權利要求1所述的基板保持架，其特征在于，

所述基板保持體構成為能夠保持多邊形基板。

8.如權利要求7所述的基板保持架，其特征在于，

所述開口部具有對應于所述多邊形基板的多邊形狀，且以所述基板保持架被懸掛于鉛直方向時，該開口部的角部位于鉛直下方的方式形成于所述第一保持部件。

9.如權利要求1所述的基板保持架，其特征在于，具有：

第一密封部件，該第一密封部件對保持于所述基板保持體的所述基板的被鍍覆面與第一保持部件之間進行密封；及

第二密封部件，該第二密封部件對所述第一保持部件與所述第二保持部件之間進行密封，

所述供電部件構成為：至少在由所述第一密封部件及所述第二密封部件形成的密閉空間內與所述基板的被鍍覆面接觸。

10.一種鍍覆裝置，使用權利要求1所述的基板保持架進行鍍覆處理，該鍍覆裝置的特征在于，具有：

基板搬送裝置，該基板搬送裝置搬送所述基板至所述基板保持體；及

基板保持體裝卸部，該基板保持體裝卸部進行保持有所述基板的所述基板保持體相對于所述第一保持部件及所述第二保持部件的裝卸。

11.如權利要求10所述鍍覆裝置，其特征在于，具有：

第一暫存盒，該第一暫存盒收容所述基板保持體；及

第二暫存盒，該第二暫存盒收容所述第一保持部件及所述第二保持部件。

12.如權利要求10所述的鍍覆裝置，其特征在于，所述基板保持體裝卸部包含：

基板保持體安裝部，該基板保持體安裝部使所述基板保持體保持于所述第一保持部件及所述第二保持部件；及

基板保持體取出部，該基板保持體取出部從所述第一保持部件及所述第二保持部件取出所述基板保持體。