[發(fā)明專利]閉合裝置、具有閉合裝置的真空系統(tǒng)和操作閉合裝置的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201780015220.3
• 申請(qǐng)日: 2017-06-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109392303B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-09-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: U·奧爾登多夫;C·克萊森
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類號(hào): F16K37/00
• 分類號(hào): F16K37/00;F16K51/02;F16K3/18;F16K3/316
• 代理公司: 北京律誠(chéng)同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國(guó);趙靜

1.一種閉合裝置(100,200)，包括：

凸緣(110)，設(shè)于真空腔室(101)并包括開(kāi)口(112)；

阻擋裝置(120,220)，經(jīng)構(gòu)造以閉合所述開(kāi)口(112)；

第一磁性裝置(130)，經(jīng)構(gòu)造以在所述凸緣(110)與所述阻擋裝置(120)之間產(chǎn)生磁性閉合力，用于將所述阻擋裝置或所述阻擋裝置的一部分從打開(kāi)位置(I)傳送至閉合位置(II)；和

磁懸浮系統(tǒng)(150)，經(jīng)構(gòu)造以在平行于所述凸緣(110)的第一方向(T)中沿著引導(dǎo)結(jié)構(gòu)非接觸地傳送所述阻擋裝置(120)，其中所述磁懸浮系統(tǒng)包括第二磁性裝置(160)，經(jīng)構(gòu)造以在第二方向(X)中穩(wěn)定所述阻擋裝置(120)，所述第二方向(X)橫向于所述第一方向(T)，所述第二磁性裝置(160)經(jīng)構(gòu)造以將所述阻擋裝置從所述閉合位置(II)傳送至所述打開(kāi)位置(I)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閉合裝置，其中所述第二磁性裝置(160)包括被動(dòng)磁性穩(wěn)定裝置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閉合裝置，其中所述第二磁性裝置(160)包括第一多個(gè)永磁體(165)和第二多個(gè)永磁體(166)，所述第一多個(gè)永磁體(165)固定至所述阻擋裝置(120)的至少一側(cè)，所述第二多個(gè)永磁體(166)固定至所述引導(dǎo)結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閉合裝置，其中所述第二磁性裝置(160)包括上部磁性穩(wěn)定裝置(161)和下部磁性穩(wěn)定裝置(162)中的至少一者，所述上部磁性穩(wěn)定裝置(161)用于穩(wěn)定所述阻擋裝置的上部部分，所述下部磁性穩(wěn)定裝置(162)用于穩(wěn)定所述阻擋裝置的下部部分。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的閉合裝置，其中所述磁懸浮系統(tǒng)(150)包括第三磁性裝置(180)，經(jīng)構(gòu)造以非接觸地將所述阻擋裝置保持在所述引導(dǎo)結(jié)構(gòu)處，并且所述第三磁性裝置(180)包括多個(gè)主動(dòng)磁性軸承(184)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的閉合裝置，其中所述第三磁性裝置(180)包括磁性致動(dòng)器和距離傳感器，所述距離傳感器用于測(cè)量所述阻擋裝置(120)與所述引導(dǎo)結(jié)構(gòu)之間的距離，其中所述磁性致動(dòng)器在控制回路中被控制。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的閉合裝置，其中所述阻擋裝置(120)經(jīng)構(gòu)造以懸掛于所述引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的上部軌道(182)的下方，其中所述多個(gè)主動(dòng)磁性軸承(184)附接于所述上部軌道(182)。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的閉合裝置，其中所述多個(gè)主動(dòng)磁性軸承(184)整合在所述阻擋裝置(220)中。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的閉合裝置，其中所述多個(gè)主動(dòng)磁性軸承(184)整合在所述阻擋裝置的頭部部分(222)中。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的閉合裝置，其中所述磁懸浮系統(tǒng)還包括驅(qū)動(dòng)器(170)，用于在所述第一方向(T)中沿著所述引導(dǎo)結(jié)構(gòu)移動(dòng)所述阻擋裝置(120)。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的閉合裝置，其中所述驅(qū)動(dòng)器(170)是線性電機(jī)。

12.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的閉合裝置，其中所述第一磁性裝置(130)經(jīng)構(gòu)造以將整個(gè)所述阻擋裝置(120)從所述打開(kāi)位置(I)傳送至所述閉合位置(II)。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的閉合裝置，其中所述阻擋裝置(120)被形成為一個(gè)剛性部件。

14.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的閉合裝置，其中所述阻擋裝置(220)包括下部部分(221)和頭部部分(222)，所述下部部分(221)與所述頭部部分(222)相對(duì)于彼此是可移動(dòng)的，其中將所述阻擋裝置(220)從所述打開(kāi)位置(I)傳送至所述閉合位置(II)包括移動(dòng)所述下部部分(221)朝向所述凸緣(110)，而不移動(dòng)所述頭部部分(222)。