[發明專利]噴霧器噴嘴、成膜裝置、及成膜方法

在審

• 申請號: 201780014477.7
• 申請日: 2017-03-17
• 公開（公告）號: CN108698059A
• 公開（公告）日: 2018-10-23
• 發明（設計）人: 平野正樹
• 申請（專利權）人: 拓自達電線株式會社
• 主分類號: B05B7/16
• 分類號: B05B7/16;C23C4/12;C23C24/04
• 代理公司: 北京邦信陽專利商標代理有限公司 11012
• 代理人: 黃澤雄

1.一種噴霧器噴嘴，其中，該噴霧器噴嘴適用于通過向基材同時噴射載氣及膜材料從而在該基材上成膜的成膜裝置，該噴霧器噴嘴的特征在于，具備：

氣體入口部，該氣體入口部中，所述載氣的通道沿著該載氣的流向而縮小；

與所述氣體入口部相連的通路擴大部，該通路擴大部中，所述載氣的通道沿著該載氣的流向而擴大；

與所述通路擴大部相連的開口形成部，該開口形成部上形成有將所述載氣的通道與外部空間連通的一個或多個開口；以及

與所述開口形成部相連的氣體出口部，該氣體出口部中，所述載氣的通道沿著該載氣的流向而縮小。

2.根據權利要求1所述的噴霧器噴嘴，其特征在于：

所述一個或多個開口形成在所述開口形成部的靠所述氣體出口部側的末端部，或形成在該末端部附近。

3.根據權利要求1或2所述的噴霧器噴嘴，其特征在于：

所述氣體出口部及所述開口形成部相互形成為一體并且相對于所述通路擴大部可拆裝。

4.根據權利要求1或2所述的噴霧器噴嘴，其特征在于：

所述氣體出口部相對于所述開口形成部可拆裝。

5.一種噴霧器噴嘴，其中，該噴霧器噴嘴適用于通過向基材同時噴射載氣及膜材料從而在該基材上成膜的成膜裝置，該噴霧器噴嘴的特征在于，具備：

氣體入口部，該氣體入口部中，所述載氣的通道沿著該載氣的流向而縮小；

與所述氣體入口部相連的通路擴大部，該通路擴大部中，所述載氣的通道沿著該載氣的流向而擴大，并且該通路擴大部上形成有將所述載氣的通道與外部空間連通的一個或多個開口；以及

與所述通路擴大部相連的氣體出口部，該氣體出口部中，所述載氣的通道沿著該載氣的流向而縮小。

6.根據權利要求5所述的噴霧器噴嘴，其特征在于：

所述一個或多個開口形成在所述通路擴大部的靠所述氣體出口部側的末端部，或形成在該末端部附近。

7.根據權利要求5或6所述的噴霧器噴嘴，其特征在于：

所述氣體出口部相對于所述通路擴大部可拆裝。

8.根據權利要求4或7所述的噴霧器噴嘴，其特征在于：

所述氣體出口部具備外側筒部、以及收納在所述外側筒部的內部且對所述載氣的通道進行界定的通道界定部，

所述通道界定部相對于所述外側筒部可拆裝。

9.根據權利要求8所述的噴霧器噴嘴，其特征在于：

所述通道界定部由樹脂制成。

10.一種成膜裝置，其特征在于：

具備權利要求1～9中任一項所述的噴霧器噴嘴。

11.一種成膜方法，其特征在于：

使用權利要求1～9中任一項所述的噴霧器噴嘴，從所述噴霧器噴嘴同時噴射所述載氣及所述膜材料，從而在所述基材上成膜。

12.根據權利要求11所述的成膜方法，其特征在于：

所述成膜方法被用于噴涂法。