[發(fā)明專利]放射線敏感性樹脂組合物及抗蝕劑

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201780012824.2
• 申請日: 2017-03-16
• 公開（公告）號: CN108700812A
• 公開（公告）日: 2018-10-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 阿部信紀(jì);佐藤信寬
• 申請（專利權(quán)）人: 日本瑞翁株式會社
• 主分類號: G03F7/038
• 分類號: G03F7/038;G03F7/004;G03F7/20
• 代理公司: 北京柏杉松知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11413
• 代理人: 趙曦;劉繼富

1.一種放射線敏感性樹脂組合物，

含有堿溶性樹脂a、通過活性放射線的照射或者活性放射線的照射及其后的熱處理而交聯(lián)所述堿溶性樹脂的交聯(lián)成分b、以及吸收所述活性放射線的化合物c，

(1)所述交聯(lián)成分b是光酸產(chǎn)生劑b1和酸交聯(lián)劑b2的組合，所述光酸產(chǎn)生劑b1通過所述活性放射線的照射而產(chǎn)生酸，所述酸交聯(lián)劑b2將通過所述活性放射線而產(chǎn)生的酸作為催化劑從而交聯(lián)所述堿溶性樹脂a，

(2)所述堿溶性樹脂a含有超過70質(zhì)量％的酚醛清漆樹脂，

(3)包含堿性化合物d。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的放射線敏感性樹脂組合物，其中，

所述堿性化合物d的含量為所述光酸產(chǎn)生劑b1的含量的0.001倍以上且小于3.500倍。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的放射線敏感性樹脂組合物，其中，

所述堿性化合物為含氮堿性化合物。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的放射線敏感性樹脂組合物，其中，

相對于100質(zhì)量份的堿溶性樹脂a，所述酸交聯(lián)劑b2的含量小于32質(zhì)量份。

5.一種抗蝕劑，是使用權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的放射線敏感性樹脂組合物而形成的。