[發明專利]可低溫固化的負型感光性組合物

有效

• 申請號: 201780011950.6
• 申請日: 2017-01-20
• 公開（公告）號: CN108700814B
• 公開（公告）日: 2022-10-11
• 發明（設計）人: 三角元希;橫山大志;谷口克人;九澤昌祥
• 申請（專利權）人: AZ電子材料(盧森堡)有限公司
• 主分類號: G03F7/075
• 分類號: G03F7/075;G03F7/027;G03F7/038;G03F7/40
• 代理公司: 北京三幸商標專利事務所(普通合伙) 11216
• 代理人: 劉卓然

提供一種負型感光性組合物，所述負型感光性組合物可低溫固化，并且可獲得透明性、耐化學品性、耐環境性高的固化膜，還提供使用該組合物的圖案形成方法。本發明提供一種負型感光性組合物，其包含：堿可溶性樹脂、具有2個以上的(甲基)丙烯酰氧基的化合物、聚硅氧烷、聚合引發劑、以及溶劑，所述堿可溶性樹脂是含有包含羧基的聚合單元與包含烷氧基甲硅烷基的聚合單元的聚合物。

技術領域

本發明涉及負型感光性組合物。另外，本發明也涉及使用了該組合物的固化膜的制造方法、由該組合物形成的固化膜、以及具有該固化膜的元件。

背景技術

近年來，在顯示器、發光二極管、太陽能電池等的光學元件方面，以提高光利用效率和節能為目的，人們提出了各種各樣的提案。例如，在液晶顯示器方面，已知曉如下的方法：通過在薄膜晶體管(以下，有時會稱為TFT)元件上被覆形成透明的平整化膜，然后在該平整化膜上形成像素電極，從而提高顯示裝置的開口率(參照專利文獻1)。

另外，有人提出了在有機EL或液晶模塊之上制成觸摸面板的結構。進一步，使用了塑料基板來替代玻璃基板的柔性顯示器受人注目。在這些元件的制造方法中，都優選按照使得元件的構成材料不發生熱劣化的方式，以更低溫度進行元件上的涂膜形成。即使在被覆形成于其它有機半導體元件、有機太陽能電池等上的情況下，也要求考量環境并且要求涂膜可在更低溫度進行固化。但是，已知曉：例如在觸摸面板的領域，作為面板的可靠性試驗，在高溫高濕的條件下以一定時間持續施加一定電壓，將即使在這種試驗中也正常地發揮功能這一條件設為面板的合格條件。有鑒于此，通常的丙烯酸類聚合物雖然能在低溫進行固化，但是大多不具有顧客所要求的耐受性。

已知曉聚硅氧烷具有高溫耐受性，但是有時會根據元件的構成材料而不得不將涂膜的固化溫度設為例如200℃以下。一般而言，為了獲得高溫高濕耐受性的涂膜，需要將涂膜在120℃以上進行加熱，迅速地進行硅烷醇基的縮合反應并且完結。專利文獻2中公開了一種可低溫固化的負型感光性組合物，其包含聚硅氧烷、丙烯酸類聚合物和聚合引發劑。將由該組合物形成的涂膜進行曝光時，則可使得具有不飽和鍵的丙烯酸類聚合物進行光自由基聚合而獲得固化涂膜。但是將由此組合物形成的涂膜進行低溫固化時，則存在有如下的問題：有時會殘留下未反應的丙烯酰基，此丙烯酰基就會與在元件的制造工藝中使用的化學品進行反應。由此，人們期望著開發出一種可兼顧低溫固化的可能性與化學品耐受性的組合物。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特許第2933879號說明書

專利文獻2：日本特開2015-18226號公報

發明內容

發明想要解決的課題

本發明基于上述背景完成，其目的在于提供一種負型感光性組合物，其可在低溫形成透明性、耐化學品性、耐環境性優異的固化膜或者圖案。

用于解決課題的方案

本發明提供一種負型感光性組合物，其包含：堿可溶性樹脂、具有2個以上的(甲基)丙烯酰氧基的化合物、聚硅氧烷、聚合引發劑以及溶劑，所述堿可溶性樹脂是含有包含羧基的聚合單元與包含烷氧基甲硅烷基的聚合單元的聚合物。

本發明還提供一種固化膜的制造方法，其包含如下的工序：將前述的負型感光性組合物涂布于基板而形成涂膜，將涂膜進行曝光，然后將已曝光的涂膜顯影。

發明的效果