[發明專利]曝光裝置及曝光方法

有效

• 申請號: 201780008774.0
• 申請日: 2017-01-13
• 公開（公告）號: CN108885404B
• 公開（公告）日: 2021-04-27
• 發明（設計）人: 五十嵐晃
• 申請（專利權）人: 優志旺電機株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H05K3/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 樸勇

1.一種曝光裝置，其特征在于，具備：

光源，放出包含紫外線的光；

透射型的數字光掩模；

工件臺；

傳送系統，向工件臺上的、通過了數字光掩模的來自光源的光的照射位置傳送并載置工件；

移動機構，使被傳送到了光的照射位置的工件或數字光掩模移動而成為工件與數字光掩模接觸的狀態；

相機，拍攝被傳送到光的照射位置的工件的特定部位；以及

控制器，

數字光掩模具有通過控制器來控制的大量的像素，各像素能夠取透射紫外線的關閉狀態和遮斷紫外線的打開狀態，

控制器具備：存儲部，存儲有用于使數字光掩模進行掩模圖案的顯示的數據即圖案數據；和輸出部，對數字光掩模輸出圖案數據來使數字光掩模進行掩模圖案的顯示，并且，在控制器中安裝有修正程序，該修正程序基于相機的拍攝數據來修正圖案數據，并從輸出部輸出所修正的圖案數據，

修正程序包含顯示位置修正模塊，該顯示位置修正模塊根據由相機拍攝的工件的特定部位的拍攝數據，修正數字光掩模上的掩模圖案的顯示位置，

上述數字光掩模具有透射上述相機的拍攝波長的光的透射部，

上述相機被配置在能夠經上述數字光掩模的該透射部而看到上述特定部位的位置，

在上述工件臺上，作為向上述工件臺載置工件的基準點，設定有載置基準點，

上述相機被配置在面向上述工件臺上的載置基準點的位置，

上述顯示位置修正模塊根據上述拍攝數據，求出上述特定部位與上述工件臺上的載置基準點的偏離，并根據該偏離，修正數字光掩模上的掩模圖案的顯示位置，

上述相機的分辨率為上述數字光掩模的分辨率以上，

上述相機對上述工件的特定部位的拍攝、上述修正程序對上述圖案數據的修正、以及對上述工件的曝光是在通過上述移動機構保持上述工件與上述數字光掩模接觸的狀態下進行的。

2.根據權利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，

上述工件的特定部位是對位標記。

3.根據權利要求2所述的曝光裝置，其特征在于，

上述對位標記被設置有多個，上述相機拍攝各對位標記。

4.根據權利要求3所述的曝光裝置，其特征在于，

上述相機分別被設置在能夠拍攝各對位標記的位置。

5.根據權利要求3或4所述的曝光裝置，其特征在于，

上述修正程序包含縮放模塊，該縮放模塊根據由上述相機拍攝的上述對位標記的拍攝數據，決定數字光掩模中的掩模圖案的顯示倍率。

6.根據權利要求3或4所述的曝光裝置，其特征在于，

上述修正程序包含變形模塊，該變形模塊根據由上述相機拍攝的對位標記的拍攝數據，判斷工件的變形，并使得掩模圖案根據其判斷結果而變形顯示。

7.根據權利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，

上述工件的特定部位是通過已進行的光刻而形成的圖案的特定部位。