[發明專利]激光加工裝置及激光輸出裝置

有效

• 申請號: 201780008410.2
• 申請日: 2017-01-24
• 公開（公告）號: CN108602159B
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發明（設計）人: 奧間惇治;長尾光洋;伊崎泰則
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: B23K26/064
• 分類號: B23K26/064;H01L21/301;H01S3/00;H01S3/10;B23K26/53
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

激光加工裝置(200)具備：裝置框架(210)、被安裝于裝置框架且支承加工對象物(1)的支承部(230)、被安裝于裝置框架的激光輸出部(300)、以及以可相對于激光輸出部移動的方式被安裝于裝置框架的激光聚光部(400)。激光輸出部具有出射激光的激光光源，激光聚光部具有：調制并反射激光的反射型空間光調制器、相對于加工對象物將激光聚光的聚光光學系統、以及構成反射型空間光調制器的反射面與聚光光學系統的入射瞳面處于成像關系的兩側遠心光學系統的成像光學系統。

技術領域

本發明涉及激光加工裝置及激光輸出裝置。

背景技術

在專利文獻1中記載有一種激光加工裝置，其具備保持工件的保持機構、及對保持機構所保持的工件照射激光的激光照射機構。在該激光加工裝置的激光照射機構中，被配置于從激光振蕩器到達聚光透鏡的激光的光路上的各結構被配置于1個殼體內，該殼體被固定在立設于激光加工裝置的基座的壁部。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利第5456510號公報

發明內容

發明所要解決的課題

在上述那樣的激光加工裝置中，有時使將激光聚光的聚光光學系統側的結構相對于加工對象物進行移動。另一方面，在這樣的情況下，抑制裝置的大型化也極為重要。

本發明的第1方式的目的在于，提供可抑制裝置的大型化且使聚光光學系統側的結構相對于加工對象物進行移動的激光加工裝置。

此外，在上述那樣的激光加工裝置中，有時適于加工的激光的波長對應于加工對象物的規格、加工條件等而不同。

本發明的第2方式的目的在于，提供可使用激光的波長彼此不同的多個激光光源的激光加工裝置。

此外，在上述那樣的激光加工裝置中，有時設置有將激光進行調制并進行反射的反射型空間光調制器。在這樣的情況下，將反射型空間光調制器的反射面上的激光的像(反射型空間光調制器中調制后的激光的像)精度良好地傳像(成像)于聚光光學系統的入射瞳面極為重要。

本發明的第3方式的目的在于，提供可將反射型空間光調制器的反射面上的激光的像容易且精度良好地傳像至聚光光學系統的入射瞳面的激光加工裝置。

此外，在上述那樣的激光加工裝置中，有時設置有將激光進行調制并進行反射的反射型空間光調制器。在這樣的情況下，將反射型空間光調制器的反射面上的激光的像(反射型空間光調制器中調制后的激光的像)精度良好地傳像(成像)至聚光光學系統的入射瞳面極為重要。

本發明的第4方式的目的在于，提供可將反射型空間光調制器的反射面上的激光的像精度良好地傳像至聚光光學系統的入射瞳面的激光加工裝置。

此外，在上述那樣的激光加工裝置中，有時使用傳感器來取得加工對象物的激光入射面的位移數據，該傳感器被設置于與將激光相對于加工對象物聚光的聚光光學系統不同軸。另一方面，在這樣的情況下，抑制裝置的大型化也極為重要。

本發明的第5方式的目的在于，提供可抑制裝置的大型化且取得加工對象物的激光入射面的位移數據的激光加工裝置。

此外，在上述那樣的激光加工裝置中，有時適于加工的激光的波長對應于加工對象物的規格、加工條件等而不同。在這樣的情況下，若可將包含激光光源的部分相對于激光加工裝置容易地進行裝卸，則極為有效。

本發明的一方式的目的在于，提供可相對于激光加工裝置容易地進行裝卸的激光輸出裝置。

解決課題的技術手段