[發明專利]激光加工裝置及激光輸出裝置

有效

• 申請號: 201780008410.2
• 申請日: 2017-01-24
• 公開（公告）號: CN108602159B
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發明（設計）人: 奧間惇治;長尾光洋;伊崎泰則
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: B23K26/064
• 分類號: B23K26/064;H01L21/301;H01S3/00;H01S3/10;B23K26/53
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

1.一種激光加工裝置，其特征在于，

具備：

裝置框架；

支承部，被安裝于所述裝置框架，且支承加工對象物；

激光輸出部，被安裝于所述裝置框架；以及

激光聚光部，以相對于所述激光輸出部能夠移動的方式被安裝于所述裝置框架，

所述激光輸出部具有出射激光的激光光源，

所述激光聚光部具有：

反射型空間光調制器，調制并反射所述激光；

聚光光學系統，相對于所述加工對象物將所述激光聚光；以及

成像光學系統，構成所述反射型空間光調制器的反射面與所述聚光光學系統的入射瞳面處于成像關系的兩側遠心光學系統，

所述激光聚光部還具有：

第1鏡，將所述激光朝向所述反射型空間光調制器進行反射；以及

第2鏡，將通過了所述成像光學系統的所述激光朝向所述聚光光學系統進行反射，

來自所述激光輸出部的所述激光的出射方向與所述激光聚光部的移動方向一致，

所述支承部以能夠沿著與所述激光聚光部的移動方向垂直的平面移動的方式被安裝于所述裝置框架，

所述第1鏡將沿著所述激光聚光部的移動方向入射的所述激光沿著垂直于所述激光聚光部的移動方向的平面反射，

所述反射型空間光調制器將沿著所述平面入射的所述激光沿著所述平面反射，

所述第2鏡將沿著所述平面入射的所述激光沿著所述激光聚光部的移動方向反射。

2.如權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述激光輸出部進一步具有使所述激光平行化的激光平行化部。

3.如權利要求1或2所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述激光聚光部進一步具有：殼體，在內部設定有從所述第1鏡經由所述反射型空間光調制器、所述成像光學系統以及所述第2鏡而到達所述聚光光學系統的所述激光的光路，

在所述殼體，設置有使從所述激光輸出部出射的所述激光入射到所述殼體內的光入射部。

4.如權利要求3所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述第1鏡以在所述激光聚光部的移動方向與所述光入射部相對的方式配置于所述殼體內，

所述第1鏡將從所述光入射部入射到所述殼體內的所述激光朝向所述反射型空間光調制器進行反射。

5.如權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述支承部經由第1移動機構而被安裝于所述裝置框架，

所述激光聚光部經由第2移動機構而被安裝于所述裝置框架。