[發(fā)明專利]熱硬化性著色組合物及彩色濾光片的制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201780006978.0 | 申請日： | 2017-01-11 |
| 公開（公告）號： | CN108474880B | 公開（公告）日： | 2021-01-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 日岐憲司;井本知宏;高橋聡 | 申請（專利權(quán)）人： | 東洋油墨SC控股株式會社;東洋色材株式會社;凸版印刷株式會社 |
| 主分類號： | G02B5/20 | 分類號： | G02B5/20;C08L63/00;G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205 | 代理人： | 李艷;臧建明 |
| 地址： | 日本東京中央?yún)^(qū)京橋二丁目*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 化性 著色 組合 彩色 濾光 制造 方法 | ||
本發(fā)明提供一種對剝離液的耐性優(yōu)異的固體攝像元件用彩色濾光片熱硬化性著色組合物及彩色濾光片的制造方法。本發(fā)明的課題利用一種熱硬化性著色組合物來解決，其用于固體攝像元件用彩色濾光片的制造，所述固體攝像元件用彩色濾光片包括對著色層通過干式蝕刻進行圖案化而成的著色圖案，所述熱硬化性著色組合物包含：顏料(A)、分散劑(B)、熱硬化性化合物(C)及溶劑(D)，所述顏料(A)于所述熱硬化性著色組成物的總固體成分中所占的比例為50質(zhì)量％以上，且所述分散劑(B)包含具有酸性官能基的分散劑(b1)和/或具有堿性官能基的分散劑(b2)，且所述熱硬化性化合物(C)包含山梨糖醇的縮水甘油醚化環(huán)氧化合物。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種用于固體攝像元件的彩色濾光片用熱硬化性著色組合物，尤其涉及一種對薄膜、高精細而言有用的熱硬化性著色組合物。另外，本發(fā)明涉及一種使用所述彩色濾光片用熱硬化性著色組合物而形成的彩色濾光片的制造方法。
背景技術(shù)
在固體攝像元件中，設(shè)置有在半導(dǎo)體基板等基板上以2維排列了紅色像素、綠色像素、藍色像素等多種顏色的有機像素的彩色濾光片。在所述固體攝像裝置中，隨著近年來像素尺寸縮小，對顏色分離的性能要求變得嚴格，為了維持彩色深淺(color shading)特性、防止混色等裝置特性，在彩色濾光片所需求的性能中，對薄膜化、矩形化及在各有機像素之間消除顏色彼此重合的重疊(overlap)區(qū)域等的性能提出了要求。
具體而言，在固體攝像元件用的彩色濾光片中，有實現(xiàn)如下所述那樣的微小尺寸化的傾向：關(guān)于有機圖案的薄層化，例如厚度成為1μm以下，關(guān)于像素圖案尺寸，例如厚度成為2μm以下(例如0.5μm～2.0μm)。
尤其最近，因固體攝像元件用彩色濾光片的進一步高精細化的要求，開始對例如1.0μm圖案以下的形成能力進行調(diào)查，在現(xiàn)有的光刻法中，難以避免對彩色濾光片的薄膜與解析力的取舍(tradeoff)。
相對于此，提出了通過干式蝕刻(dry etching)對有機圖案進行加工。
然而，在通過干式蝕刻進行加工的情況下，需要利用剝離液來剝離在干式蝕刻處理之后所殘留的光致抗蝕劑(photoresist)，存在因所述剝離液而有機膜層受到損傷的問題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是有鑒于所述問題點而成，其目的在于提供一種能夠抑制剝離光致抗蝕劑時的有機膜層損傷的固體攝像元件用彩色濾光片熱硬化性著色組合物、及使用其的彩色濾光片的制造方法。
本發(fā)明人等人為解決所述諸問題而反復(fù)進行了努力研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過使用包含特定的熱硬化性化合物(C)的固體攝像元件用彩色濾光片熱硬化性著色組合物，可成為充分具備耐剝離液性者，并基于所述發(fā)現(xiàn)完成了本發(fā)明。
即，本發(fā)明涉及一種熱硬化性著色組合物，其用于固體攝像元件用彩色濾光片的制造，所述固體攝像元件用彩色濾光片包括對著色層通過干式蝕刻進行圖案化而成的著色圖案，所述熱硬化性著色組合物包含：顏料(A)、分散劑(B)、熱硬化性化合物(C)及溶劑(D)，所述顏料(A)在所述熱硬化性著色組合物的總固體成分中所占的比例為50質(zhì)量％以上，且所述分散劑(B)包含具有酸性官能基的分散劑(b1)和/或具有堿性官能基的分散劑(b2)，且所述熱硬化性化合物(C)包含山梨糖醇的縮水甘油醚化環(huán)氧化合物。
本發(fā)明涉及上述中所記載的熱硬化性著色組合物，所述顏料(A)含有綠色顏料(a1)。
本發(fā)明涉及上述中所記載的熱硬化性著色組合物，所述綠色顏料含有選自顏料綠(pigment green)7、顏料綠36及顏料綠58中的至少一種。
本發(fā)明涉及上述中所記載的熱硬化性著色組合物，所述溶劑(D)包含沸點為160℃以上的溶劑(d1)。
本發(fā)明涉及上述中所記載的熱硬化性著色組合物，所述沸點為160℃以上的溶劑(d1)為環(huán)己醇乙酸酯。
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